Специальная расплавленная кварцевая вакуумная всасывающая плита для обработки полупроводниковых пластин

Специальная расплавленная кварцевая вакуумная всасывающая плита для обработки полупроводниковых пластин

Специально сплавленная кварцевая вакуумная всасывающая пластина, также известная как кварцевый вакуумный цинк, кварцевый всасывающий диск или кварцевый держатель пластинки, используется для поддержки, позиционирования,и удерживают пластинки или высокоточные подложки посредством контролируемой адсорбции вакуума.

Изготовленный из высокочистого расплавленного кварца, компонент сочетает в себе низкое тепловое расширение, отличную химическую устойчивость, высокую температурную стабильность и низкий потенциал загрязнения.Подходит для полупроводников, фотоэлектрические, оптические, лабораторные и другие высокочистые среды обработки.

Плита может быть изготовлена с индивидуальными вакуумными каналами, центральными отверстиями, кварцевыми трубками, портами, ступенчатыми интерфейсами и сварными соединительными структурами.Размеры и условия поверхности производятся в соответствии с требованиями клиента к проектированию оборудования и эксплуатации.

Ключевые особенности

Сплавленный кварц высокой чистоты

Изготовлен из высококачественного расплавленного кремния с низким уровнем металлических примесей, что помогает свести к минимуму загрязнение во время обработки пластинок и подложки.

Низкое тепловое расширение

Низкий коэффициент теплового расширения помогает пластине поддерживать размерную стабильность при воздействии температурных изменений.

Устойчивость к химическим веществам

Сплавленный кварц обеспечивает отличную устойчивость к многим кислотам и химическим веществам, используемым в полупроводниковых и лабораторных средах.и конкретные процессовые среды должны оцениваться отдельно.

Специализированная вакуумная структура

Вакуумные порты, центральные отверстия, газовые соединения, порты для передачи жидкости, канавки и сварные кварцевые трубки могут быть спроектированы в соответствии с расположением оборудования.

Точная обработка поверхности

Для удовлетворения различных требований к плоскости, уплотнению, чистоте и состоянию поверхности доступны варианты шлифования, механической полировки, огневой полировки, лапирования и очистки.

Производство на основе чертежей

Каждая кварцевая вакуумная всасывающая плита может быть изготовлена по техническому чертежу, физическому образцу, габаритам оборудования или спецификациям применения.

Спецификации продукции

Максимальные размеры, достижимые допустимые допустимые отклонения, термические условия, уровень вакуума и ограничения давления должны оцениваться в соответствии с окончательной конструкцией и рабочей средой.

Типичные применения

• Оборудование для обработки полупроводниковых пластин
• Вакуумная адсорбция и позиционирование пластин
• Системы точного выравнивания подложки
• Кварцевые процессовые камеры и реакционные системы
• Мокрые скамейки и оборудование для химической обработки
• Переработка солнечных элементов и фотоэлектрических пластин
• Обработка стекла и оптического подложки
• Вакуумные лаборатории
• Химическое оборудование высокой чистоты
• Конструкции полупроводниковых кварцевых агрегатов

Варианты пользовательского дизайна

Вакуумная кварцевая плита может быть настроена на:

• Центральные проходные отверстия или углубленные отверстия
• Многочисленные вакуумные всасывающие порты
• Вакуумные каналы и каналы распределения
• Сварные трубки и соединители из кварца
• Прямые, угловые или ступенчатые порты
• Кварцевые фланцевые соединения
• Настройки отверстий по заказу
• Местные полированные или матовые участки
• Изделие из металлов или изделие из металлов или изделие из металлов
• Пробоины для позиционирования или элементы выравнивания
• Прозрачная, полупрозрачная или матовая поверхность

Геометрия вакуумного канала и распределение всасывающих отверстий должны быть спроектированы в соответствии с размером пластины, толщиной подложки, необходимой силой удержания и допустимой зоной контакта.

Производственные мощности

Мы предоставляем комплексные услуги по производству кварца, в том числе:

• Изготовление пластин из расплавленного кварца большого диаметра
• Металлическая обработка с помощью CNC
• Сверление отверстий и резка профилей
• Вакуумные каналы и каналы
• Сварка кварцевых труб и портов
• Изготовление кварцевых фланцев
• Смельчение поверхности, лапирование и полировка
• Окрашивание и округление краев
• Тепловое отжигание
• Ультразвуковая и высокочистая очистка
• Размерная и визуальная проверка

Сложные схемы открытий, сварные порты и индивидуальные соединительные конструкции могут быть изготовлены в соответствии с подробными техническими чертежами.

Преимущества вакуумных пластин из расплавленного кварца

По сравнению с обычными металлическими, пластиковыми или стандартными стеклянными компонентами расплавленный кварц имеет несколько преимуществ для обработки высокой чистоты:

• Низкий риск загрязнения металлами
• Отличная тепловая устойчивость
• Низкий коэффициент теплового расширения
• Хорошая устойчивость ко многим химическим веществам
• Подходит для чистых помещений и высокой чистоты
• Прозрачная или полупрозрачная конструкция для наблюдения за процессом
• Высокая размерная стабильность в контролируемых условиях работы
• Настраиваемые порты, отверстия, канавки и структуры соединения

Пригодность расплавленного кварца должна быть подтверждена в зависимости от требуемой механической нагрузки, уровня вакуума, условий теплового цикла и химической среды.

Информация, необходимая для цитирования

Пожалуйста, предоставьте следующую информацию для технической оценки и котировки:

1. Общий диаметр или внешние габариты
2. Толщина плиты
3. Размеры центрального отверстия
4. Количество, диаметр и положение вакуумных портов
5. Вакуумная канализация
6. Размеры соединения порта, трубы или фланца
7. Требования к поверхностному отделению
8. Плоскость и допустимые габариты
9. Рабочая температура и условия теплового цикла
10. Уровень вакуума или рабочее давление
11. Процессуальные химические вещества или газы, контактирующие с компонентом
12. Необходимое количество
13. Технический чертеж, физический образец или фотография оборудования

Для компонентов, требующих точного расположения портов, геометрии вакуумного канала или строгих допустимых допустимых отклонений, рекомендуется размеры чертежа.

Инспекция качества

В зависимости от чертежа и применения каждая кварцевая всасывающая плита может быть проверена на наличие:

• Общий диаметр и толщина
• Размеры отверстия и порта
• Точность положения порта
• Плоскость и параллельность
• Состояние поверхности
• Геометрия вакуумной канавки
• Целостность сварки
• Качество края
• Чипы, трещины, царапины и другие дефекты зрения
• Чистота
• Защита упаковки

Каждый компонент индивидуально защищен пеной, пленкой или индивидуальной упаковкой, чтобы уменьшить риск царапин, ударов и повреждений во время транспортировки.

Частые вопросы

1Можно ли настроить диаметр пластины и положение вакуумного порта?

Да, диаметр, толщина, размеры отверстий, количество портов, размеры портов, расположение канав и положения портов могут быть изготовлены в соответствии с вашим чертежом.

2Вы можете изготовить кварцевую всасывающую пластину из физического образца?

Да. Мы можем оценить и воспроизвести компонент из физического образца. Однако рекомендуется размещенный технический чертеж, когда требуются точные допуски или положения портов.

3Могут ли вакуумные каналы или каналы быть обработаны в кварцевой пластине?

Да, можно изготовить специальные каналы, каналы, углубленные зоны и всасывающие отверстия в соответствии с требуемым распределением вакуума и конструкцией контакта подложки.

4Какие поверхностные отделки доступны?

Доступные отделки включают измельченные, матовые, лаппированные, механически полированные и огнеполированные поверхности.и чистоту.

5Подходит ли расплавленный кварц для полупроводникового оборудования?

Да, расплавленный кварц широко используется в полупроводниковом оборудовании из-за его высокой чистоты, тепловой устойчивости, химической долговечности и низкого потенциала загрязнения металлами.

6Могут ли кварцевые трубки или соединительные порты быть сварными на пластину?

Кварцевые трубки, вакуумные порты, соединения и фланцевые конструкции могут быть сварены на пластину в соответствии с необходимым газом, вакуумом или жидкостью.

7Вы можете гарантировать толерантность к плоскости?

Способность плоскости зависит от диаметра плиты, толщины, расположения отверстия, сварных конструкций и отделки поверхности.

8Можно ли использовать пластину под положительным давлением?

Продукт предназначен в первую очередь для адсорбции и позиционирования под вакуумом. Приложения под положительным давлением требуют отдельной оценки геометрии, толщины стенки, сварных соединений, температуры,и условия безопасности.