Высокочистая пластина-носитель, покрытая SiC, для обработки и переноса пластинок

Высокочистая пластина-носитель, покрытая SiC, для обработки и переноса пластинок

SiC Carrier Plate (SiC Carrier Plate) - это высокопроизводительный керамический компонент, широко используемый в передовых секторах производства, таких как полупроводники, светодиоды и электроника мощности.Известный своей исключительной теплостойкостью, высокая теплопроводность, низкое тепловое расширение и превосходная механическая прочность, это идеальное решение для высокотемпературных процессов.включая дизайн, производство, тестирование и послепродажная поддержка, обеспечивая оптимальную производительность и надежность для обработки пластинок, эпитаксиального роста и других критических приложений.

Техническая спецификация:

Основные особенностиПлита-носитель SiC

1.Устойчивость к сверхвысоким температурамСтабильная работа до 1650°C, идеально подходит для CVD, MOCVD и других процессов высокой температуры.

2.Высшее тепловое управлениеТеплопроводность 120-200 Вт/м·К обеспечивает быстрое рассеивание тепла и минимизирует тепловое напряжение.

3.Низкое тепловое расширение(4.3×10−6/K) Высокая размерная устойчивость при высоких температурах, предотвращающая неправильное выравнивание или трещины пластины.

4.Высокая твердость и износостойкостьСкромность Моха 9.2, значительно превосходящий кварц и графит, продлевает срок службы.

5.Химическая инертность- Устойчив к кислотам, щелочам и эрозии плазмы, подходит для суровой среды.

6.Высокая чистота и без загрязненияУровень примесей металлов < 1 ppm, соответствующий стандартам чистоты полупроводников.

Основные примененияПлита-носитель SiC

- Что?

· Производство полупроводниковЭпитаксии вафли (GaN/SiC), носители реакционной камеры СВД.

· Производство светодиодовПоддерживает сапфировые субстраты для равномерного роста MOCVD.

· Электротехника

· Усовершенствованная упаковка√ Прецизное размещение и лазерная обработка подложки.

Совместимость процессов, материалов и применений

ПродуктыПлита-носитель SiC

ZMSH предлагает комплексные решения для карбидных пластин (SiC), предлагая индивидуальные услуги по проектированию с индивидуальными размерами, диафрагмой,и поверхностные обработки, включая зеркальное полирование и специализированные покрытия, точное изготовление с использованием процессов CVD/RBSiC, которые поддерживают строгую консистенцию партии в пределах ± 0,05 мм, строгие протоколы контроля качества,ускоренная доставка прототипа с 72-часовым сроком обработки, и глобальная техническая поддержка с 24/7 отзывчивостью, обеспечивая клиентам высокопроизводительные продукты с исключительной однородностью и надежностью для их критических приложений.