Детали продукта
Место происхождения: Китай
Фирменное наименование: zmsh
Условия оплаты и доставки
материалы: |
Кристалл SIC |
Тип: |
N |
Размер: |
2/3/4/6/8/12 |
Толщина: |
500 мм±50 мм |
Ориентация: |
40,0 градуса от оси + 0,5 градуса в сторону <11-20> |
Грубость поверхности (углеродная поверхность): |
Ra < 0,5nm с углеродным лицом, готовым к эпилициду |
Сопротивляемость: |
< 0,25 ом.см |
Грубость поверхности (силиконовая поверхность): |
Оптически отполированные |
TTV: |
<10um> |
Поклонитесь.: |
<30um> |
обруч: |
<30um> |
материалы: |
Кристалл SIC |
Тип: |
N |
Размер: |
2/3/4/6/8/12 |
Толщина: |
500 мм±50 мм |
Ориентация: |
40,0 градуса от оси + 0,5 градуса в сторону <11-20> |
Грубость поверхности (углеродная поверхность): |
Ra < 0,5nm с углеродным лицом, готовым к эпилициду |
Сопротивляемость: |
< 0,25 ом.см |
Грубость поверхности (силиконовая поверхность): |
Оптически отполированные |
TTV: |
<10um> |
Поклонитесь.: |
<30um> |
обруч: |
<30um> |
4H-N 2/3/4/6/8/12-дюймовые подложки из карбида кремния (SiC) – Prime/Dummy/Research Grade
Эта серия продуктов предлагает высокочистые подложки из карбида кремния (SiC) различных диаметров (2", 3", 4", 6", 8" и 12"), предназначенные для передовых применений в полупроводниковой промышленности, силовой электронике и оптоэлектронике. Доступны в классах Prime (для устройств), Dummy (для тестирования процессов) и Research (экспериментальные), эти подложки обладают отличной теплопроводностью (> 400 Вт/м·K для SiC), высоким напряжением пробоя и превосходной химической стабильностью.
Класс Prime обеспечивает сверхнизкую плотность дефектов, что делает его идеальным для высокопроизводительных устройств, таких как MOSFET, диоды Шоттки и радиочастотные компоненты. Класс Dummy предлагает экономичные решения для оптимизации процессов, в то время как класс Research поддерживает академические и промышленные исследования и разработки в области технологий широкозонных полупроводников.
Благодаря настраиваемым спецификациям (легирование, толщина, полировка), эти подложки отвечают строгим требованиям силовой электроники, связи 5G и применений в электромобилях (EV).
Таблица спецификаций
Свойства | Спецификации |
Материал | 4H SiC |
Упаковка | Упаковка для одной пластины |
Тип | N-тип |
Диаметр | 150 мм ±0,25 мм (4 дюйма) |
Толщина | 500μм ±50 μм |
Шероховатость поверхности (углеродная сторона) | Ra ≤0,5 нм с готовой к эпитаксии углеродной стороной |
Шероховатость поверхности (кремниевая сторона) | Оптически полированная |
Ориентации | 4,0 градуса вне оси ±0,5 градуса в направлении<11-20> |
MPD | ≤0,5/см² или меньше |
TTV/BOW/Warp | <10μм /<30μм /<30μм |
FWHM | ≤30 угловых секунд или меньше |
Основная и вторичная плоскость | НЕ ТРЕБУЕТСЯ (Нет шлифовки плоскостей) |
Удельное сопротивление | <0,25 Ом.см |
Применение SiC пластин
Наши подложки 4H-N разработаны для передовых технологий в различных отраслях:
1. Силовая электроника
- Электромобили (EV): Высоковольтные SiC MOSFET и инверторы для эффективного преобразования энергии.
- Системы быстрой зарядки: Обеспечивает компактные, высокоэффективные зарядные устройства для электромобилей и бытовой электроники.
- Приводы промышленных двигателей: Надежная работа в условиях высоких температур.
2. РЧ и беспроводная связь
- Базовые станции 5G: Высокочастотные транзисторы с низкими потерями сигнала.
- Радарные и спутниковые системы: Улучшенная мощность для аэрокосмических и оборонных применений.
3. Оптоэлектроника
- УФ-светодиоды и лазеры: Превосходное управление тепловым режимом для применений с высокой яркостью.
4. Исследовательские технологии
- Исследования широкозонных полупроводников: Фундаментальные исследования свойств материалов.
Часто задаваемые вопросы (FAQ)
1. Можно ли настроить эти подложки с точки зрения легирования и толщины?
Да, мы предлагаем варианты N-типа (легированные азотом) и P-типа (легированные алюминием) с регулируемым удельным сопротивлением. Толщина также может быть настроена.
2. Каково время выполнения заказа?
- Стандартные размеры (2"-6"): 2-4 недели.
- Большие размеры (8"-12"): 4-6 недель (в зависимости от наличия).
3. Как следует хранить и обращаться с подложками?
- Хранить в условиях чистой комнаты (класс 1000 или лучше).
- Обращаться в нитриловых перчатках, чтобы избежать загрязнения.
- Избегать механического напряжения на краях.