Прецизионный многопроволочный станок для резки полупроводниковых пластин — это промышленная система резки, разработанная для применений, требующих контролируемого движения проволоки, стабильного натяжения, точной подачи, резки тонких секций и постоянной жесткости станка.

Оборудование объединяет подачу и прием проволоки, перемещение проволоки, контроль натяжения, направляющие ролики, главный приводной ролик, подачу заготовки, циркуляцию суспензии, теплообмен и электрическое управление в единой платформе станка. Документация на поставляемое оборудование определяет его предполагаемое промышленное применение как резку полупроводниковых пластин.

При максимальной скорости проволоки 2200 м/мин, поддерживаемом диапазоне диаметров проволоки от 0,014 до 0,10 мм, регулируемом натяжении от 0 до 15 Н и переменной скорости резки от 0,01 до 5 мм/мин система представляет собой гибкую платформу для процессов резки пластин с использованием тонкой проволоки.

Эта машина может быть рассмотрена для линий производства полупроводников, опытного производства, предприятий по переработке материалов и исследовательских лабораторий, где важны точность резки, стабильность проволоки и повторяемость оборудования.

Основные преимущества

Высокоскоростная работа проволоки

Станок поддерживает максимальную скорость проволоки:

2200 м/мин

Высокая скорость проволоки особенно важна при использовании более тонкой проволоки, поскольку сила резания и стабильность процесса должны сохраняться при уменьшении диаметра проволоки.

Доступный диапазон диаметров проволоки:

от 0,014 мм до 0,10 мм

Это позволяет пользователям выбирать спецификации проволоки в соответствии с целевым процессом резки.

Регулируемое натяжение проволоки

Натяжение проволоки может контролироваться в диапазоне:

0–15 Н

Натяжной рычаг используется для поддержания стальной проволоки под выбранным натяжением во время работы. В зависимости от конфигурации станка система контроля натяжения приводится в действие двигателем и может регулироваться в соответствии с требованиями процесса.

Стабильное натяжение является одним из ключевых механических условий для поддержания предсказуемого движения проволоки во время резки пластин.

Точное управление подачей

Станок использует управляемый блок подачи с максимальным ходом примерно:

220 мм

Скорость подачи при резке:

0,01–5 мм/мин

Скорость быстрой подачи:

200 мм/мин

Заготовка закрепляется на блоке подачи и перемещается через зону резки в соответствии с выбранными параметрами процесса.

Производительность

Стандартный рабочий диапазон, указанный для оборудования:

Система также поддерживает комбинированную загрузку заготовки в соответствии с исходной технической конфигурацией.

Технические характеристики

Эти параметры взяты из конфигурации поставляемого оборудования.

Интегрированная система управления проволокой

Станок включает несколько скоординированных подсистем, отвечающих за управление движением проволоки.

Узел намотки проволоки

Узел намотки содержит катушку с новой проволокой и приемную катушку. Он отвечает за подачу и хранение стальной проволоки во время работы станка.

Узел перемещения проволоки

Механизм перемещения обеспечивает плавное разматывание и равномерную намотку проволоки.

Натяжной рычаг

Узел натяжения поддерживает проволоку под контролируемым натяжением во время резки.

Направляющие ролики

Направляющие ролики используются для направления проволоки и обеспечения стабильного движения проволоки.

Узел главного шпинделя

Узел главного шпинделя выполняет фактическую операцию резки между роликами.

Узел подачи

Заготовка закрепляется на системе подачи и перемещается с запрограммированной скоростью во время резки.

Эти узлы описаны как основные компоненты общей системы станка.

Система подачи суспензии и охлаждения

Режущий станок оснащен системой циркуляции суспензии с объемом бака:

300 л

Бак для суспензии обеспечивает охлаждение и подачу режущей жидкости во время обработки.

Теплообменник используется для контроля температуры режущей жидкости посредством внешнего охлаждения водой. Указанные требования к охлаждающей воде включают:

Контур охлаждающей воды использует изоляцию для уменьшения конденсации.

Жесткая конструкция станка

Корпус станка выполнен из высокопрочной стальной конструкции, а основание — из цельнолитой конструкции для повышения общей жесткости.

Оборудование также оснащено поддоном под станком для снижения вероятности утечки режущей жидкости непосредственно на пол установки.

Пневматическое предохранительное устройство установлено в верхней части оборудования для повышения безопасности и устойчивости подъемной платформы.

Архитектура прямого привода

Система привода использует прямое соединение.

Согласно спецификации поставляемого оборудования, основные преимущества конструкции с прямым приводом включают:

• Низкий уровень рабочего шума
• Снижение расхода изнашиваемых деталей
• Более высокая точность привода

Главные ролики также приводятся в движение индивидуальными двигателями. Эта конструкция предназначена для снижения нагрузки, передаваемой от проволоки к роликам, и уменьшения износа канавок роликов и расхода проволоки.

Компактное расстояние между роликами

Задокументированное расстояние между осями роликов составляет примерно:

270 мм

Меньшее расстояние предназначено для уменьшения расстояния между главными роликами и, следовательно, улучшения условий резки.

Согласно исходной технической документации, эта конструкция предназначена для повышения выхода годных изделий при одновременном сокращении времени обработки и расхода проволоки.

Мониторинг обрыва проволоки

Обрыв проволоки является значительным производственным риском при резке пластин.

Оборудование включает детектор обрыва проволоки как часть своей стандартной технической конфигурации.

Станок также использует двусторонний мониторинг аварийного сигнала обрыва для повышения чувствительности обнаружения обрыва. Его система управления включает защиту, предназначенную для снижения обрыва проволоки при внезапном отключении питания.

Механическая точность

Спецификация приемки станка включает несколько важных параметров механического контроля:

Эти значения определяют задокументированные требования к приемке на уровне станка.

Возможность резки тонких пластин

Документация на оборудование гласит:

Точность резки: ±0,01 мм

и

Минимальная толщина резки: <0,05 мм

Точная достижимая толщина в производстве будет зависеть от заготовки, спецификации проволоки, рецепта процесса, режущей жидкости, метода обработки и требуемого выхода годных изделий.

Для проектов по производству очень тонких пластин заказчики должны предоставить целевую толщину и допуск до окончательного утверждения конфигурации оборудования.

Электрические требования и требования к объекту

Стандартное питание станка:

Трехфазное четырехпроводное переменного тока 380 В ±10%, 50/60 Гц

Техническая документация предусматривает установку медного кабеля сечением 16 мм² или выше.

Употребляемая мощность станка составляет примерно:

5 кВт·ч

Фактическое потребление может варьироваться в зависимости от условий эксплуатации и вспомогательных систем.

Рекомендуемая среда установки

Рекомендуемые условия окружающей среды включают:

Спецификация станка также подтверждает поддержку максимальной емкости хранения проволоки более 100 км при использовании проволоки Ø0,03 мм, шести направляющих роликов, бака для суспензии объемом 300 л и гидравлического зажима заготовки.

Применение

Задокументированное применение данного оборудования:

Резка полупроводниковых пластин.

Типичные проекты заказчиков могут включать различные диаметры пластин, целевые толщины и требования к производству.

Поскольку поведение при резке значительно варьируется в зависимости от материала, заказчики, планирующие обрабатывать различные полупроводниковые или твердые хрупкие материалы, должны предоставить информацию о материале ZMSH для оценки процесса перед подтверждением окончательной конфигурации станка.

Индивидуальная конфигурация оборудования

Различные проекты по производству полупроводниковых пластин могут требовать различных:

• Диаметр проволоки
• Натяжение проволоки
• Скорость подачи
• Крепление заготовки
• Условия охлаждения
• Конфигурация суспензии
• Интерфейс связи
• Производственная мощность

Дополнительные конфигурации, перечисленные в документации на оборудование, включают связь SECS II, холодильное оборудование и контроль температуры зажима заготовки.

Таким образом, ZMSH может оценить конфигурацию оборудования в соответствии с требованиями процесса заказчика.

Информация для запроса коммерческого предложения

Для получения коммерческого предложения или технической оценки, пожалуйста, предоставьте:

1. Материал
2. Размеры заготовки
3. Требуемые размеры пластин
4. Целевая толщина пластины
5. Допуск по толщине
6. Количество на партию
7. Месячная или дневная производительность
8. Спецификация проволоки, если уже определена
9. Требуемая точность резки
10. Условия охлаждающей воды
11. Электропитание объекта
12. Требуемые дополнительные функции

Предоставление этих деталей помогает определить соответствующую конфигурацию станка и процесса.

Часто задаваемые вопросы

Какова максимальная скорость режущей проволоки?

Максимальная указанная скорость проволоки составляет 2200 м/мин.

Какой диаметр проволоки может использовать станок?

Указанный диапазон диаметров проволоки составляет 0,014–0,10 мм.

Насколько тонкие пластины может резать станок?

Документация на оборудование гласит, что возможна резка толщиной менее 0,05 мм при соответствующих условиях эксплуатации.