Печь для синтеза SiC Высокотемпературная карбонизация и однородное соединительное раствор

Печь для спекания SiC – решение для высокотемпературной карбонизации и равномерного соединения

Обзор продукта

Печь для спекания SiC предназначена для высокотемпературного спекания и карбонизации пластин, SiC-затравок, графитовой бумаги и графитовых пластин. В сочетании с полностью автоматической машиной для распылительного соединения SiC она обеспечивает получение безпузырьковых, равномерно прессованных, высокоточных SiC-связанных продуктов.

Печь позволяет регулировать температуру, давление и время спекания, гарантируя полную карбонизацию клея и стабильное химическое соединение. Она идеально подходит для высокотемпературных, высокопрочных и коррозионно-активных сред, обеспечивая стабильный, высокопроизводительный (>90%) производственный процесс для соединения SiC-затравок, подготовки полупроводниковых пластин и высокоточного соединения материалов.

Основные технологии

1. Высокотемпературное спекание и карбонизация

   • Связанные пластины, SiC-затравки, графитовая бумага и графитовые пластины подвергаются контролируемой высокотемпературной обработке.

   • Клеевые слои полностью карбонизируются и отверждаются, образуя стабильную химическую связь.

2. Равномерное прессование

   • Регулируемое давление обеспечивает равномерное соединение по всей поверхности раздела, предотвращая локальное коробление или пустоты.

   • Вакуумная поддержка и функции обнаружения пузырьков обеспечивают спекание без пузырьков.

3. Программируемые параметры процесса

   • Температура, давление, профили подъема/спуска и время выдержки полностью программируются.

   • Адаптируется к различным характеристикам материала и требованиям процесса, обеспечивая стабильную прочность соединения и надежность.

Особенности системы

• Высокоточный контроль температуры: Равномерная температура печи для стабильных результатов соединения.

• Регулируемая система давления: Обеспечивает равномерное сжатие интерфейса.

• Вакуумная поддержка: Удаляет пузырьки воздуха для безупречного соединения.

• Программируемое управление процессом: Автоматические циклы подъема, выдержки и охлаждения с несколькими сохраненными рецептами.

• Модульная конструкция: Простота обслуживания и возможность расширения в будущем.

• Функции безопасности: Защита от перегрева и избыточного давления, блокировки работы.

Технические характеристики

Типичные области применения

• Соединение SiC-затравок: Высокотемпературное спекание и карбонизация для прочного и равномерного соединения.

• Подготовка полупроводниковых пластин: Спекание монокристаллических или мультикристаллических SiC-пластин.

• Высокотемпературные, коррозионностойкие материалы: Высокопроизводительная керамика и композиты на основе графита.

• НИОКР и пилотное производство: Мелкосерийное, высокоточное спекание материалов.

Ключевые преимущества

• Высокий выход: В сочетании с автоматической машиной для распылительного соединения выход соединения превышает 90%.

• Высокая стабильность: Регулируемая температура, давление и вакуум обеспечивают стабильные результаты спекания.

• Высокая надежность: Ключевые компоненты соответствуют международным стандартам для длительной стабильной работы.

• Расширяемость: Модульная конструкция позволяет использовать несколько пластин или пластины большего размера.

• Удобство эксплуатации: Программируемый интерфейс автоматизирует весь цикл спекания.

FAQ – Часто задаваемые вопросы

В1: Какие материалы может обрабатывать печь для спекания SiC?
О1: Пластины, SiC-затравки, графитовая бумага, графитовые пластины и другие высокотемпературные, коррозионностойкие материалы.

В2: Регулируются ли температура и давление?
О2: Да. Температура варьируется от 100–1600 °C, а давление от 0–5 МПа. Оба параметра полностью регулируются в соответствии с требованиями к материалу и процессу.

В3: Как обеспечивается спекание без пузырьков?
О3: Печь интегрирует вакуумную эвакуацию и равномерное прессование, гарантируя безпузырьковое и полное соединение.

В4: Можно ли обрабатывать несколько пластин одновременно?
О4: Да. Камера может быть настроена для одной или нескольких пластин.

В5: Каково типичное время цикла спекания?
О5: Регулируется, обычно 30–180 минут, в зависимости от толщины материала и настроек процесса.