SiC Полностью автоматическая распылительная связующая машина для высокоточных приложений для вафелей и графитовых плит

SiC полностью автоматическая машина для распылительного склеивания для высокоточных применений с пластинами и графитовыми пластинами

Обзор продукта

Полностью автоматическая машина для распылительного склеивания SiC представляет собой интегрированную систему, сочетающую ультразвуковое распылительное покрытие и автоматическое склеивание для пластин, SiC-затравок, графитовой бумаги и графитовых пластин.

Используя манипулятор и калибратор, система обеспечивает точное нанесение клея, центрирование, склеивание пластин, считывание ID и обнаружение пузырьков. Затем склеенные материалы обрабатываются в печи для спекания SiC, обеспечивая отсутствие пузырьков, равномерное спекание и карбонизацию.

Оптимизированная для технологии склеивания SiC-затравок, эта система обеспечивает высокую прочность и надежное склеивание, что делает ее идеальной для высокотемпературных, высокопрочных и коррозионных сред.

Основная технология: склеивание SiC-затравок

1. Принцип:

   • Частицы SiC-затравок постепенно наносятся на клей при высокой температуре.

   • Клей реагирует с поверхностями SiC под контролируемой температурой и давлением, образуя прочную химическую и механическую связь.

   • Ультразвуковое распыление обеспечивает равномерный поток и равномерное распределение давления.

   • Контролируемое охлаждение и нагрев завершают склеивание, создавая высокопрочные, стабильные интерфейсы SiC-SiC или SiC-подложка.

2. Преимущества:

   • Высокая прочность склеивания: Прочная адгезия между несколькими слоями и интерфейсами.

   • Совместимость материалов: Отличная химическая и структурная совместимость с SiC.

   • Низкий остаток клея: Минимальное количество оставшегося клея, обеспечивающее долгосрочную стабильность.

   • Высокая эффективность производства: Поддерживает крупногабаритную, высокоточную, быструю обработку SiC.

3. Оптимизация процесса:

   • Регулируемая толщина клея для соответствия характеристикам материала.

   • Контролируемая температура склеивания и время реакции для стабильных химических и физических свойств.

   • Регулярная проверка процесса и контроль качества для получения стабильных результатов.

Особенности системы

• Модульная конфигурация: Гибкая настройка для одной или нескольких пластин.

• Автоматизированный цикл процесса: Уменьшает ручные операции, обеспечивая повторяемость и высокий выход.

• Поддержка 12-дюймовых пластин: Обратная совместимость с пластинами меньшего размера.

• Высокая параллельность пластин: Обеспечивает равномерное склеивание и распределение напряжений.

• Малообъемное/среднеобъемное производство: Подходит для НИОКР, пилотного или мелкосерийного производства.

• Стандартные функции безопасности

• Многофункциональная автоматизация: Сбор данных, настройка рабочего процесса и автоматические режимы.

• Удобный сенсорный интерфейс

Основные преимущества

• Высокая точность: Поддерживает строгие спецификации по диаметру и толщине для склеенных пластин.

• Высокая надежность: Критические компоненты поставляются мировыми производителями.

• Высокая скорость: Быстрая обработка большого количества пластин.

• Высокая автоматизация: Минимизирует ручные операции и увеличивает пропускную способность.

• Склеивание без пузырьков: Встроенное склеивание с вакуумной поддержкой и обнаружение пузырьков обеспечивают отсутствие дефектов.

• Эффективность ультразвукового распыления: Капли с низкой скоростью уменьшают перераспыление и улучшают использование материала (более чем в 4 раза выше, чем при обычном двухжидкостном распылении).

Технические характеристики

Типичные области применения

• Полупроводники и выращивание кристаллов SiC: Склеивание затравок, подготовка пластин

• Высокотемпературные и коррозионные среды: Высокопрочные механические компоненты

• Гибкие или композитные подложки: Графитовая бумага, графитовые пластины

• Исследования и пилотное производство: НИОКР, пилотное склеивание SiC, тонкопленочные покрытия

FAQ – Часто задаваемые вопросы

В1: Какие материалы может обрабатывать машина для распылительного склеивания SiC?
А1: Пластины, SiC-затравки, графитовая бумага и графитовые пластины, включая жесткие и гибкие подложки. Совместим с клеями, содержащими твердые частицы.

В2: Насколько точна клеевая пленка?
А2: Ультразвуковое распыление обеспечивает высокооднородную и контролируемую толщину покрытия, избегая локального накопления или тонких мест.

В3: Как система обеспечивает склеивание без пузырьков?
А3: Встроенное склеивание с вакуумной поддержкой, центрирование и обнаружение пузырьков, в сочетании с обработкой в печи для спекания, обеспечивает склеивание без пузырьков, равномерное склеивание.

В4: Какой максимальный размер пластин поддерживается?
А4: До 12 дюймов, обратная совместимость с пластинами меньшего размера.

В5: Может ли система использоваться для пилотного и среднесерийного производства?
А5: Да. Программируемое управление по осям XYZ и склеивание нескольких пластин обеспечивают НИОКР, пилотное или мелкосерийное производство.