Машина для нанесения покрытия SiC

Машина для нанесения покрытия SiC

Обзор продукции

Машина покрытия SiC - это полностью автоматизированная, программируемая автономная система, предназначенная для точного отложения клея между пластинами, семьями SiC, графитной бумагой и графитовыми пластинами.

Он обеспечивает контролируемую и равномерную толщину покрытия, предотвращая локальное накопление или тонкие пятна, и обеспечивает стабильную основу для последующего вакуумного дегазирования и высокотемпературного спекания.

Система идеально подходит для пилотного производства или производства средних и больших партий, поддерживает высокую повторяемость и постоянное качество покрытия.

Ключевые особенности

• Прямая покрытие:Контролируемая толщина клея обеспечивает равномерное отложение между пластинами, графитной бумагой и графитовыми пластинами.

• Широкая совместимость:Работает с клеями, содержащими твердые частицы, поддерживающими широкий спектр препаратов.

• Автоматическая работа:Программируемое самостоятельное управление с скоординированным движением XYZ; подходит для серийного или пилотного производства.

• Стабильная предварительная обработка:Предоставляет надежную основу для последующего вакуумного разгасания и высокотемпературного спекания.

• Высокая повторяемостьОбеспечивает последовательное покрытие всех партий, улучшая урожайность и стабильность процесса.

Спецификации

Типичные применения

• Полупроводники и рост кристаллов SiC:Соединение семян, приготовление пластин

• Проводящие и функциональные покрытия:SiC, flux, фоторезистентные покрытия

• Гибкие подложки и сепараторы батарей:Ручки с твердыми клеевыми растворами

• Стекло и фотоэлектрические материалы:Однородное покрытие между графитовыми пластинами и бумагой

Часто задаваемые вопросы

Q1: Может ли машина обрабатывать клеи, содержащие твердые вещества?
А1:Машина использует высокоточную постоянную подачу с дисперсией в режиме онлайн, обеспечивая равномерное распыление твердосодержащих клеев без засорения сопла.

Вопрос 2: Насколько точен контроль толщины покрытия?
А2:Толщина покрытия варьируется от 20 нм до десятков микронов, с точным контролем для однородности и повторяемости.

Вопрос 3: Какие типы подложки поддерживаются?
А3:Вафры, семена SiC, графитовая бумага и графитовые пластины, включая гибкие подложки с вакуумным нагревом.

Q4: Может ли машина использоваться для серийного производства?
А4:Да, программируемое управление по оси XYZ поддерживает пилотную до средне-большую серию производства, с параллельной работой с несколькими соплами.

Q5: Как обеспечивается однородность покрытия?
A5:Лазерное выравнивание, подача постоянного потока, синхронизация с несколькими сосудами и ультразвуковая технология сосудов обеспечивают > 95% однородности.

Вопрос 6: Сложно ли обслуживать машину?
A6:Нет, машина оснащена самоочищающимися насадками, утилизацией отходов и выхлопными системами, что минимизирует необходимость в обслуживании.