Подложки из монокристаллического сапфира 2", 3", 4" и 6" для светодиодных, оптических и полупроводниковых применений

Подложки из монокристаллического сапфира (2", 3", 4" и 6") для светодиодных, оптических и полупроводниковых применений

Обзор продукции

ZMSH предлагает высококачественные подложки из монокристаллического сапфира диаметром 2, 3, 4 и 6 дюймов, изготовленные из Al₂O₃ (оксид алюминия) чистотой 99,99% с использованием передовых технологий выращивания кристаллов и полировки.
Эти сапфировые пластины обладают превосходной твердостью, химической стабильностью, теплопроводностью и оптической прозрачностью, что делает их предпочтительным материалом для светодиодов, эпитаксии GaN, оптических окон, тонкопленочных полупроводников и микроэлектронных устройств.

Сапфировые подложки ZMSH доступны как с односторонней полировкой (SSP), так и с двусторонней полировкой (DSP), с шероховатостью поверхности до Ra ≤ 0,3 нм и общим изменением толщины (TTV) менее 3 мкм. Каждая пластина точно вырезается с ориентацией по плоскости A, плоскости C, плоскости M или плоскости R в соответствии с требованиями заказчика, обеспечивая оптимальное соответствие решетки для высокопроизводительного эпитаксиального роста и превосходных характеристик устройства.

Основные характеристики

• Материал высокой чистоты:>99,99% монокристаллический Al₂O₃ с низким содержанием дефектов и примесей.

• Отличное качество поверхности: Царапины/вмятины 20/10, Ra ≤ 0,3 нм, идеально подходит для эпитаксиального осаждения.

• Точность размеров: Жесткие допуски по диаметру и толщине; настраиваемые размеры.

• Термическая и химическая стабильность: Выдерживает температуру до 2000°C и обладает высокой устойчивостью к кислотам и щелочам.

• Оптическая прозрачность: Широкий диапазон пропускания от УФ до ИК (190 нм–5 мкм).

• Пользовательские опции: Доступны размеры 2", 3", 4", 6" и пользовательская толщина или ориентация.

Применение

• Светодиоды и оптоэлектроника: Эпитаксиальный рост GaN, AlN и InGaN для светодиодов и LD высокой яркости.

• Полупроводники: Тонкопленочные устройства, интегральные схемы и компоненты MEMS.

• Оптические системы: Окна, линзы и лазерные компоненты, требующие прочности и четкости.

• Аэрокосмическая и оборонная промышленность: Инфракрасные датчики и высокотемпературные оптические окна.

• Исследования и разработки: Оптические покрытия, эпитаксиальные испытания и исследования передовых материалов.

Технические характеристики

FAQ

1. Что такое сапфировая подложка?
Сапфировая подложка — это монокристаллическая пластина из оксида алюминия (Al₂O₃), используемая в качестве основного материала для эпитаксиального роста в светодиодах, лазерных диодах и полупроводниковых устройствах.

2. Какие ориентации кристаллов доступны?
ZMSH предлагает ориентации по плоскости C (0001), плоскости A (11-20), плоскости R (1-102) и плоскости M (10-10) в зависимости от требуемого соответствия решетки для конкретных материалов, таких как GaN или AlN.

3. Какие варианты полировки вы предоставляете?
Мы предоставляем подложки с односторонней полировкой (SSP) и двусторонней полировкой (DSP). Каждая поверхность подвергается прецизионной притирке и химико-механической полировке для обеспечения ультрагладких и бездефектных поверхностей.

4. Могу ли я запросить нестандартные размеры или толщину?
Да. ZMSH поддерживает полную настройку диаметра, толщины, ориентации и формы края в соответствии с вашими техническими чертежами или требованиями к применению.