Подробная информация о продукции

Дом ПРОДУКТЫ

Высокоточное оборудование для односторонней полировки Si-пластин/SiC/сапфировых материалов

Высокоточное оборудование для односторонней полировки Si-пластин/SiC/сапфировых материалов

Наименование марки:	ZMSH
Номер модели:	High-Precision Single-Side Polishing Equipment
MOQ:	3
цена:	by case
Время доставки:	3-6 months
Условия оплаты:	T/T

Подробная информация

Характер продукции

Подробная информация

Place of Origin:

CHINA

Сертификация:

rohs

Ability:

50mm/100mm/150mm/200mm

Power voltage:

3×16+2*10 (㎜²)

Compressed air source:

0.5-0.6MPa

Optimum Machining Size:

50-100 (mm)/50-150 (mm)/150-200 (mm)/200 (mm)

Materials:

Si Wafers/SiC/Sapphire

Packaging Details:

package in 100-grade cleaning room

Выделить:

Оборудование для односторонней полировки Si-пластин

Полировальная машина для SiC-пластин

Оборудование для полировки сапфировых материалов

Характер продукции

Оборудование для односторонней полировки высокой точности

Оборудование для высокоточной односторонней полировки для Si-вофров/SiC/сапфировых материалов

Высокоточное одностороннее полировальное оборудование - это специализированный прецизионный инструмент обработки, предназначенный для твердых и хрупких материалов (например, полупроводниковые кремниевые пластины, карбид кремния, арсенид галлия,С помощью однонаправленной вращающейся шлифовки и химической синергии достигается сверхвысокая поверхность с плоскостью ≤0,01 мм и поверхностной шероховатостью Ra ≤0,4 нм.Это оборудование широко используется в полупроводниковых вафли разжижения, полировки оптических линз, обработки керамических уплотнительных компонентов и поддерживает обработку как на одном элементе, так и на базе, значительно повышая эффективность и консистенцию.

Высокоточное оборудование для односторонней полировки Si-пластин/SiC/сапфировых материалов 0

Технические параметры одностороннего высокоточного полирования

Категории	Положение
Загрязняющий диск	Диаметр	820 мм	914 мм	1282 (мм)	1504 (мм)
Керамические пластины	Диаметр	305 мм	360 мм	485 мм	576 мм
	Оптимальный размер обработки	50-100 мм	50-150 мм	150-200 мм	200 мм
Сила	Загрязняющий диск	11	11	18.5	30
	Инструмент загрязнения	/	0.75×4	2.2×4	2.2
Коэффициент ротации	Загрязняющий диск	80	65	65	50
	Инструмент загрязнения	/	65	65	50
Способность	50 мм	72	/	/	/
	100 мм	20	28	56	/
	150 мм	/	12	24	/
	200 мм	/	4	12	20
Напряжение питания	3×16+2*10 (мм2)
Источник сжатого воздуха	00,5-0,6 МПа
Размер	/	1920×1125×1680 (мм)	1360×1330×2798 (мм)	2234×1780×2759 (мм)	1900×1900×2700 (мм)
Вес	/	2000 кг	3500 кг	7500 кг	11826 кг

Рабочие принципы высокоточного одностороннего полирования

1. Механическое шлифование:

Верхний полирующий диск вращается на 0 ‰ 90 RPM (регулируемый), в сочетании с абразивами (алмаз, карбид кремния), чтобы полировать поверхность заготовки, удаляя слои окисления и микродефекты.

2Контроль давления:

Электро-пневматические пропорциональные клапаны и цилиндры позволяют точно регулировать давление (151500 кг), адаптируясь к различной твердости материала.

3Охлаждение и смазка:

Система циркулирующей охлаждающей воды (0,1 - 0,2 МПа) поддерживает постоянную температуру (10 - 25 °C) для подавления тепловой деформации при одновременной подаче полирующего отвода для улучшения удаления материала.

- Что?

4Управление движением:

Двигатель с переменной частотой управляет нижним вращением диска. ПЛК и HMI позволяют контролировать скорость, давление и параметры времени в замкнутом цикле с предварительно установленными рецептами процесса и переключением одним щелчком мыши.

Особенности высокоточного одностороннего полировки

- Что?Категория особенностей

Технические детали

Рама с высокой жесткостью

- Что?

Интегрированная структура литья-ковки, 50% более высокая антидеформационная способность; четырехточечная гидравлическая система поддержки обеспечивает вибрацию < 0,01 мм при высоких скоростях.

Международные компоненты

Основные детали (например, коробки передач, подшипники) используют Германию SEW, Японию THK, Швейцарию SKF, достигая точности передачи <0,005 мм; Siemens PLC + инвертор Schneider для регулирования скорости 0?? 180 оборотов в минуту.

Умный интерфейс

10-дюймовый промышленный сенсорный экран поддерживает предварительно установленные рецепты (грубое полирование, тонкое полирование, ремонт диска), мониторинг в режиме реального времени (давление/температура/скорость) и автоматические сигналы отключения (показатель дефектов < 0)..05%).

Гибкая конфигурация

Размеры дисков полировки от φ300 мм до φ1900 мм, вмещающие заготовки 3 ̊1850 мм; возможности питания от одного мотора (7,5 кВт) до многомотора (всего 30 кВт),поддерживающие вакуумный всасывание и механическое зажимание.

Использование высокоточного одностороннего полировального оборудования

Высокоточное оборудование для односторонней полировки Si-пластин/SiC/сапфировых материалов 3

1Промышленность полупроводников:

Разжигание вафли:Разредачивание пластинок карбида кремния с допустимым толщином ± 0,5 мкм для 8-дюймовых пластинок.
Полировка галлиевым арсенидом/синим сапфиром:Грубость поверхности Ra < 0,4 нм для светодиодов и лазерных устройств.

2. Оптики и прецизионные устройства:

- Что?Оптическое стекло/кварцевые линзы:Зеркальная отделка (λ/20 для λ=632,8 нм) для объективов камер и микроскопов.
Керамические уплотнительные кольца:Плоскость < 0,035 мм для гидравлических насосов высокого давления и ядерных клапанов.

- Что?

3Электроника и новая энергетика:

Керамические подложки/модули IGBT:Консистенция толщины < 3 μm для улучшения теплового рассеяния.
Электроды литийных батарей:Грубость Ra < 10 нм для уменьшения внутреннего сопротивления и генерации тепла.

- Что?

4Аэрокосмическая и оборонная промышленность:

Вольфрамовые подшипники/титановые уплотнители:Параллельность < 2 мкм для условий экстремальной температуры/давления.
Инфракрасное стекло:Невысокие свойства рассеивания для телескопов и систем наведения ракет.

Высокоточное оборудование для односторонней полировки Si-пластин/SiC/сапфировых материалов 4

Оборудование для односторонней полировки высокой точностиЧастые вопросы

- Что?1. Вопрос: Каковы основные преимущества вашего высокоточного одностороннего полировального оборудования?

A: достигает точности до микрона с высокой эффективностью, идеально подходит для кремниевых пластин, SiC и сапфира в производстве полупроводников.

2Вопрос: Какие полупроводниковые материалы может обработать эта односторонняя полировальная машина?

A: Специально разработан для кремниевых пластин, карбида кремния (SiC) и сапфировых субстратов.

Тэг:Оборудование для односторонней полировки высокой точности# На заказ, #Си вафры/Си Си/Сапфирные материалы

Бирки:

Вафля нитрида галлия

Вафля сапфира

Субстрат SiC

Сапфир оптически Виндовс

Кремниевая пластина ИК

Синтетический сапфир штанга

Плита плавленного кварца

Части сапфира

Синтетическая драгоценная камень

Оборудование полупроводника

Вафля LiNbO3

Вафля GaAs

Вафля фосфида индия

керамический субстрат

Оболочка лаборатории

Вафля нитрида галлия

Вафля сапфира

Субстрат SiC

Сапфир оптически Виндовс

Кремниевая пластина ИК

Синтетический сапфир штанга

Плита плавленного кварца

Части сапфира

Синтетическая драгоценная камень

Оборудование полупроводника

Вафля LiNbO3

Вафля GaAs

Вафля фосфида индия

керамический субстрат

Оболочка лаборатории

Подробная информация о продукции

Высокоточное оборудование для односторонней полировки Si-пластин/SiC/сапфировых материалов

Оборудование для односторонней полировки Si-пластин

Полировальная машина для SiC-пластин

Оборудование для полировки сапфировых материалов

Оборудование для односторонней полировки высокой точности

Технические параметры одностороннего высокоточного полирования

Рабочие принципы высокоточного одностороннего полирования

Особенности высокоточного одностороннего полировки

Использование высокоточного одностороннего полировального оборудования

Оборудование для односторонней полировки высокой точностиЧастые вопросы

4-дюймовая печь для выращивания слитков SiC

8-дюймовая печь для выращивания слитков SiC

6-дюймовая печь для выращивания слитков SiC

​Ceramic Cutting Equipment Single-Wire/Multi-Wire Diamond Wire Cutting

​​Marble Multi-Wire Cutting Machine Diamond Wire for High-Precision Slicing​​

Ceramic Cutting Equipment Single-Wire/Multi-Wire Diamond Wire Cutting

Marble Multi-Wire Cutting Machine Diamond Wire for High-Precision Slicing