Наименование марки: | ZMSH |
Номер модели: | Fully Automatic Precision Dicing Saw equipment |
MOQ: | 2 |
цена: | by case |
Время доставки: | 5-10months |
Условия оплаты: | T/T |
Резюме
Полностью автоматическое оборудование для резки вафли 8 дюймов 12 дюймов
Полностью автоматическая высокоточная пила для резки - это передовая полупроводниковая система резки, предназначенная для высокоточного отделения пластинок (8"/12") и хрупких материалов.Использование технологии бриллиантового лезвия (30,000-60,000 RPM), он достигает точности резки на уровне микронов (± 2 мкм) с минимальным измельчением (< 5 мкм), превосходя альтернативные методы в полупроводниковых и передовых упаковочных приложениях.Система включает высокожесткие шпиндели, нанометрические этапы позиционирования и интеллектуальное выравнивание зрения для беспилотных операций, отвечающие строгим требованиям современного производства чипов и обработки полупроводников третьего поколения.
Технические параметры
Параметр | Спецификация |
Рабочий размер | Φ8", Φ12" |
Свинцовый | Двойная ось 1.2/1.8/2.4/3.0Максимально 60000 оборотов в минуту |
Размер лезвия | "2" ~ 3" |
Ось Y1 / Y2 | Одноступенчатый инкремент: 0,0001 мм |
Точность позиционирования: < 0,002 мм | |
Диапазон резки: 310 мм | |
Ось X | Диапазон скорости подачи: 0,1 ‰ 600 мм/с |
Ось Z1 / Z2 | Одноступенчатый инкремент: 0,0001 мм |
Точность позиционирования: ≤ 0,001 мм | |
θ Ось | Точность позиционирования: ±15" |
Очистная станция | Скорость вращения: 100-3000 оборотов в минуту |
Способ очистки: Автомобильное промывание и сушка | |
Рабочее напряжение | 3-фазные 380В 50Гц |
Размеры (W×D×H) | 1550×1255×1880 мм |
Вес | 2100 кг |
Преимущества
1Высокоскоростное сканирование кассетных кадров с системой предупреждения о столкновении позволяет быстро определить точное положение и улучшить способность коррекции ошибок;
2Инновационный режим синхронной резки с двумя шпинделями повышает эффективность обработки на 80% по сравнению с системами с одним шпинделем;
3Премиальные импортированные шаровые винты, линейные проводники и замкнутый цикл управления решеткой Y-оси обеспечивают долгосрочную стабильность обработки;
4Полностью автоматизированная работа (погрузка/постановка/резание/инспекция) значительно сокращает ручное вмешательство;
5Уникальный дизайн с двумя шпинделями в стиле порта с минимальным расстоянием между лезвиями 24 мм удовлетворяет различным требованиям к резке;
Особенности
1Высокоточная бесконтактная система измерения высоты;
2. Возможность одновременного резки с двумя лезвиями с несколькими пластинами;
3. Интеллектуальные системы обнаружения (автокалибровка/инспекция отрезков/мониторинг разрыва лезвия);
4- многорежимные алгоритмы выравнивания, адаптируемые к различным требованиям процесса;
5Мониторинг позиции в реальном времени с автоматической коррекцией ошибок;
6Механизм проверки качества первичного отбора;
7Интеграция модуля автоматизации завода;
Материалы и приложения для адаптации
Материал | Типичные применения | Требования к обработке |
Нитрид алюминия (AlN) | Высокопроизводительные тепловые субстраты, светодиодные упаковки | Низкое напряжение нарезки, предотвращение деламинации |
PZT Керамика | Фильтры 5G, устройства SAW | Высокочастотная стабильная резка |
Теллурид бизмута (Bi2Te3) | Термоэлектрические модули | Процесс низкотемпературной обработки |
Монокристаллический кремний (Si) | Чипы IC | Подмикронная точность нарезки |
Соединение эпоксидной формовки | Субстраты BGA | Совместимость многослойного материала |
Диэлектрические колонки Cu/PI | WLCSP | Обработка сверхтонких пластин |
Эффект обработки
Вопросы и ответы
1Вопрос: Для чего используется полностью автоматическая высокоточная пила?
Ответ: Это для высокоточной резки полупроводников (кремний, SiC), керамики и хрупких материалов, таких как стеклянные пластинки, достигая точности на микроновом уровне с минимальными повреждениями.
2Вопрос: Как автоматическое вырезка улучшает производство полупроводников?
А: Ключевые преимущества:990,9% урожая с точностью ± 2 мкм, на 50% быстрее, чем вручную, режет сверхтонкие пластины (< 50 мкм), нулевое загрязнение инструмента.
Тег: #Полностью автоматическое оборудование для резки с точностью, #8inch12inch, #Wafer Cutting