Сик сопротивление рост кристаллической печи высокотемпературный нагревательный слиток 6 дюймов 8 дюймов 12 дюймов
Силиконовый карбид устойчивой кристаллической печи является своеобразным оборудованием, специально используемым для выращивания кристаллов карбида кремния (SiC).Кремниевый карбид обладает отличными свойствами, такими как высокая теплопроводность, высокое расщепление электрического поля и высокая скорость дрейфа насыщения электронов, и широко используется в силовой электронике, радиочастотных устройствах и высокотемпературных полупроводниках.Резистивная длинная кристаллическая печь обеспечивает высокотемпературную среду посредством резистивного нагрева, что является ключевым оборудованием для реализации роста кристаллов карбида кремния.
Характеристики длиннокристаллической печи с сопротивлением SIC
· Высокотемпературная способность: он может обеспечивать высокотемпературную среду выше 2000°C для удовлетворения потребностей в кристаллическом росте карбида кремния.
· Высокая точность контроля температуры: точность контроля температуры может достигать ± 1°C для обеспечения качества роста кристаллов.
· Высокая стабильность: метод нагрева сопротивлением стабилен и надежен, подходит для длительной непрерывной работы.
· Низкое загрязнение: используются материалы высокой чистоты и инертная атмосфера для уменьшения влияния примесей на качество кристаллов.
Технические спецификации
| Спецификация |
Подробная информация |
| Размеры (L × W × H) |
2500 × 2400 × 3456 мм или на заказ |
| Диаметр плавильного котла |
900 мм |
| Предельное вакуумное давление |
6 × 10−4 Pa (после 1,5 ч вакуума) |
| Уровень утечки |
≤5 Pa/12h (выпечка) |
| Диаметр вала вращения |
50 мм |
| Скорость вращения |
00,555 оборотов в минуту |
| Способ нагрева |
Электрическое сопротивление нагрева |
| Максимальная температура печи |
2500°C |
| Мощность отопления |
40 кВт × 2 × 20 кВт |
| Измерение температуры |
Двухцветный инфракрасный пирометр |
| Температурный диапазон |
900 ≈ 3000°C |
| Точность температуры |
± 1°C |
| Диапазон давления |
1 ‰ 700 mbar |
| Точность контроля давления |
1 ‰ 10 mbar: ± 0,5% F.S;
10 ‰ 100 mbar: ±0,5% F.S;
100-700 mbar: ±0,5% F.S. |
| Тип операции |
Дновая загрузка, варианты автоматической/ручной безопасности |
| Факультативные характеристики |
Двухмерное измерение температуры, несколько зон нагрева |
Результаты повышения сопротивления
Результат роста
Используя передовую физическую перемещение пара (PVT), SiC устойчивость рост печи может точно контролировать условия роста кристаллов при высоких температурах, чтобы обеспечить рост высококачественного,монокристаллы карбида кремния с низким дефектомОборудование обладает характеристиками высокой точности контроля температуры (± 1°C), высокой эффективности и энергосбережения, стабильности и надежности, пригодных для длительной непрерывной работы. The equipment provided by ZMSH is also equipped with an intelligent monitoring system that adjusts growth parameters in real time to further improve crystal consistency and yield to meet the semiconductor industry's demanding requirements for high-performance crystals.
Полупроводники стандартного производства
ZMSH имеет многолетнее технологическое накопление в области печей для увеличения сопротивления SiC, предоставляя единые услуги от проектирования и производства оборудования до послепродажной поддержки.Наши устройства не только соответствуют стандартам полупроводниковой промышленности, но также оптимизированы для таких приложений, как силовая электроника, радиочастотные устройства и новая энергия, чтобы обеспечить превосходную производительность кристаллов при высоких температурах, высокой частоте и высокой мощности.
Служба ZMSH
ZMSH фокусируется на предоставлении высокопроизводительных печей для роста устойчивости к SiC и вспомогательных услуг, включая настройку оборудования, оптимизацию процессов и техническую поддержку.С многолетним опытом работы в отрасли, мы обеспечиваем высокоточное управление температурой, стабильность и энергоэффективность оборудования, чтобы удовлетворить спрос полупроводниковой промышленности на высококачественные кристаллы карбида кремния.Сила ZMSH в быстрой доставке, индивидуальные решения и 24/7 послепродажное обслуживание, предоставляя клиентам комплексную поддержку от установки оборудования до оптимизации процесса роста кристаллов,Помощь клиентам стать лидерами в области электротехники, радиочастотные устройства и другие области.
Вопросы и ответы
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
