Наименование марки: | zmkj |
Номер модели: | особая чистота ООН-дала допинг 4h-semi |
MOQ: | 3ПКС |
цена: | by required |
Время доставки: | 10-20дайс |
основные 2" 3" 4" 6" 4h-Semi 4H-N изолируя вафлю sic кремниевого карбида субстрата Sic
Карборунд вафли субстрата SiC кремниевого карбида кристаллический
СВОЙСТВА МАТЕРИАЛА КРЕМНИЕВОГО КАРБИДА
Название продукта: | Субстрат кремниевого карбида (SiC) кристаллический | ||||||||||||||||||||||||
Характер продукции: | 2-6inch | ||||||||||||||||||||||||
Технические параметры: |
|
||||||||||||||||||||||||
Спецификации: | 6H N типа 4H N типа полу-изолируя dia2 «x0.33mm, dia2» x0.43mm, dia2 '' x1mmt, ход 10x10mm, 10x5mm одиночный или двойной ход, Ра <10a> | ||||||||||||||||||||||||
Стандартная упаковка: | чистая сумка 1000 чистая комната, 100 или одиночная упаковка коробки |
2. субстраты определяют размер стандарта
спецификация субстрата кремниевого карбида 4 дюймов диаметра (SiC) |
|||||||||
Ранг | Нул рангов MPD | Ранг продукции | Ранг исследования | Фиктивная ранг | |||||
Диаметр | 76,2 mm±0.3 mm или 100±0.5mm; | ||||||||
Толщина | 500±25um | ||||||||
Ориентация вафли | 0° с (0001) оси | ||||||||
Плотность Micropipe | см-2 ≤1 | см-2 ≤5 | см-2 ≤15 | см-2 ≤50 | |||||
Резистивность | 4H-N | 0.015~0.028 Ω•см | |||||||
6H-N | 0.02~0.1 Ω•см | ||||||||
4/6H-SI | ≥1E7 Ω·см | ||||||||
Основная квартира и длина | {10-10} ±5.0°, 32,5 mm±2.0 mm | ||||||||
Вторичная плоская длина | 18.0mm±2.0 mm | ||||||||
Вторичная плоская ориентация | Кремний лицевой: 90° CW. от основного плоского ±5.0° | ||||||||
Исключение края | 3 mm | ||||||||
TTV/Bow /Warp | ≤15μm/≤25μm/≤40μm | ||||||||
Шершавость | Польское Ra≤1 nm, CMP Ra≤0.5 nm | ||||||||
Отказы светом высокой интенсивности | Никакие | 1 позволенный, ≤2 mm | Кумулятивное ≤ 10mm длины, одиночное length≤2mm | ||||||
Плиты наговора светом высокой интенсивности | Кумулятивная область ≤1% | Кумулятивная область ≤1% | Кумулятивная область ≤3% | ||||||
Зоны Polytype светом высокой интенсивности | Никакие | Кумулятивная область ≤2% | Кумулятивная область ≤5% | ||||||
Вафля Sic & слитки 2-6inch и другой подгонянный размер также смогите быть обеспечено.
дисплей детали 3.Products
Доставка & пакет