Микроджетное лазерное оборудование - это своеобразная система точного обработки, которая сочетает в себе высокоэнергетический лазер и жидкий струй микроскопа, в основном используемый в высокопроизводительных областях, таких как полупроводники,оптоэлектроника и медицинская техникаОсновной принцип заключается в достижении точности обработки до микронов (до 0.5μm) и зоны, подверженной воздействию тепла (HAZ<1μm) путем соединения импульсирующего лазерного света (такого как ультрафиолетовый или зеленый свет) с высокоскоростным жидким струем (обычно деионизированной водой или инертной жидкостью), используя функции направления, охлаждения и удаления мусора жидкости.