Детали продукта
Place of Origin: CHINA
Фирменное наименование: ZMSH
Сертификация: rohs
Model Number: 2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 12inch Quartz Wafers
Условия оплаты и доставки
Minimum Order Quantity: 10
Цена: by case
Packaging Details: Package in 100-grade cleaning room
Delivery Time: 5-8weeks
Payment Terms: T/T
Supply Ability: 1000pcs per month
Size: |
2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 12inch |
LTV: |
< 0.5µm |
TTV: |
< 2µm/3µm/5µm |
Surface Type: |
SSP/DSP |
Surface Roughness: |
≤1nm |
Applications: |
Semiconductor Lithography Masks, UV Optical Devices |
Size: |
2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 12inch |
LTV: |
< 0.5µm |
TTV: |
< 2µm/3µm/5µm |
Surface Type: |
SSP/DSP |
Surface Roughness: |
≤1nm |
Applications: |
Semiconductor Lithography Masks, UV Optical Devices |
Кварцевые пластинки - это точные субстраты, изготовленные из высокочистых синтетических кварцевых материалов, широко используемых в полупроводниках, оптоэлектронике, оптике и микроэлектромеханических системах (MEMS). ZMSH специализируется на НИОКР и производстве кварцевых полупроводниковых материалов, предлагая такие продукты, как кварцевые пластинки, кварцевые оптические окна, кварцевые трубки и кварцевые лодки,с кварцевыми пластинками в качестве нашей основной линии продукции. Мы предоставляем настраиваемые решения для двухдюймовых до 12-дюймовых пластин, отвечающие конкретным требованиям в размерах, толщине и обработке поверхности (полировка, покрытие и т. Д.).
ZMSH предлагает доступность на складе и услуги по специальной обработке, обеспечивающие высокую точность (например, TTV ≤5μm), превосходную плоскость (Ra ≤1nm),и отличная высокотемпературная стойкость (точка смягчения до 1730°C). Наши продукты широко применяются в производстве полупроводников, технологии фотомасок, датчиков и лазерных систем.
Размер | Дюйм | 2 дюйма. | Три дюйма. | 4 дюйма | 6 дюймов | 8 дюймов | 12 дюймов |
Диаметр |
мм | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 300 |
Толерантность (±) | мм | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
Толщина | мм | 100 и выше | 100 и выше | 100 и выше | 300 и выше | 400 и выше | 500 и выше |
Первичная эталонная плоскость | мм | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | Полузаготовки | Полузаготовки |
LTV (5ммx5мм) | мм | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
TTV | мм | < 2 | < 2 | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 |
Поклонитесь. | мм | ± 20 | ± 20 | ± 20 | ± 30 | ±40 | ±40 |
Варп | мм | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 |
PLTV ((5 мм*5 мм) < 0,4 мм | % | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% |
Окружение края | мм | СИМИ СТД. | СИМИ СТД. | СИМИ СТД. | СИМИ СТД. | СИМИ СТД. | СИМИ СТД. |
Тип поверхности | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | |
Грубость поверхности | nm | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 |
К основным свойствам кварцевых пластин относятся:
1Материал высокой чистоты: Синтетический кварц (например, Супрасил или Корнинг 7980) с чистотой SiO2 ≥99,99%, минимизируя примеси в полупроводниковых процессах.
2Тепловая стабильность: Низкий коэффициент теплового расширения (5,5×10−7/°C), выдерживающий температуры более 1000°C в экстремальных условиях.
3. Оптические характеристики: высокая проницаемость от УФ до инфракрасного (например, > 90% в глубоком УФ), идеально подходит для литографии и лазерных приложений.
4- Точность поверхности.: Ультраточное полирование с шероховатостью поверхности (Ra) ≤ 0,5 нм и общим изменением толщины (TTV) ≤ 5 мкм.
5. Размер диапазон: Стандартные размеры2-дюймовый, 4-дюймовый, 6-дюймовый, 8-дюймовый до 12-дюймового, с поддержкой спецификаций на заказ.
6Химическая инертность: устойчивы к сильным кислотам (кроме HF), щелочам и плазменному гравированию, подходят для полупроводниковых процессов.
Кварцевые пластинки играют решающую роль в секторах передовых технологий, как описано ниже:
Область применения | Специфические применения | Преимущества кварцевых пластин |
Производство полупроводников | - фотомаски - носители процесса гравирования - Полирующие подушки CMP - Временные пластины для склеивания |
Высокая плоскость, низкое тепловое расширение, устойчивость к коррозии плазмы |
Оптоэлектронные устройства | - Лазерные окна. - субстраты оптических фильтров - субстраты инфракрасных датчиков - упаковка фотодетектора |
Высокая ультрафиолетовая проницаемость, низкая потеря поглощения |
MEMS/NEMS | - структурные слои MEMS - Прецизные датчики диафрагмы - Шаблоны наноотпечатков |
Сверхгладкая поверхность, высокая жесткость, химическая стабильность |
Устройства 5G и RF | - субстраты фильтров SAW/BAW - Базы высокочастотных антен - микроволновые диэлектрические резонаторы |
Низкая диэлектрическая потеря, стабильная высокочастотная производительность сигнала |
Исследования и оптика | - Синхротронная оптика излучения - Рентгеновские окна дифракции - высокомощные лазерные зеркала |
Сопротивление радиации, высокий порог повреждения лазером |
Новая энергия | - субстраты покрытия фотоэлектрических элементов - слои электролитов топливных элементов - Исследования литийных батарей |
Устойчивость к высоким температурам, предотвращение миграции ионов |
Комплексные решения для кварцевых пластин: ZMSH предоставляет индивидуальное производство кварцевых пластин (2 "-12" стандартных / нестандартных размеров) с точной обработкой (полировкой, покрытием и т. Д.).) с использованием высокочистых материалов (ультрафиолетовый расплавленный кремний), кварц с низким содержанием OH). Наши услуги включают запасные 4"/6"/8" пластинки, вспомогательные продукты (оптические окна, кварцевые трубки), полную сертификацию испытаний и техническую поддержку для выбора материалов и оптимизации процессов.
1. Вопрос: Какие размеры кварцевых пластин доступны для применения в полупроводниках?
О: Мы предоставляем стандартные 2 дюймовые до 12-дюймовые кварцевые пластинки с индивидуальными размерами и спецификациями, доступными по запросу.
2Вопрос: Каковы основные преимущества использования кварцевых пластин в производстве полупроводников?
Ответ: Кварцевые пластинки обладают исключительной теплостойкостью, высокой чистотой и превосходной химической стойкостью, что делает их идеальными для требовательных полупроводниковых процессов.
Тэги: 2-дюймовый кварцевый субстрат, 2-дюймовый, 3-дюймовый, 4-дюймовый, 6-дюймовый, 8-дюймовый, 12-дюймовый, #Customized, #Fused Silica Plates, #SiO2 Crystal, #Quartz wafers, #JGS1/JGS2 Grade, # High-Purity,#Оптические компоненты из расплавленного кремния, #Кварцевая стеклянная пластина, #Диаметр 200 мм, #Кварцевая кристаллическая стеклянная пластина, ##N Чистота SiO2, #Heat-Resistant, #Transparent, #Monocrystalline Quartz Crystal Substrate, #TTV ≤10μm, #Ra ≤1,0 nm,#Высокоточные датчики