Стойка для противней: Высокотемпературная стабильность, равномерная теплопроводность, отличная стойкость к термическому шоку

Обзор продукта
    Лоток из карбида кремния (SiC Tray) — это высокопроизводительный высокотемпературный опорный компонент, изготовленный из поликристаллической керамики на основе карбида кремния, производимый с использованием передовых процессов спекания, включая технологии реакционно-связанного (RBSiC), рекристаллизованного (RSiC) и нитрид-кремниевого связывания (N-SiC).Являясь модернизированной альтернативой традиционным лоткам из оксидной керамики и лоткам из плавленого кварца, он отличается выдающейся стойкостью к высоким температурам, превосходной стабильностью к термическому удару, равномерной теплопроводностью и длительным сроком службы. Он широко используется в качестве носителя и опорной плиты в процессах высокотемпературного спекания, отжига и термообработки в отраслях полупроводниковой, электронной керамики, новой энергетики и промышленных печей. Доступны индивидуальные формы, конструкции и классы точности для соответствия конкретным технологическим требованиям.

Основные технические характеристики

1. Сверхвысокая термостойкость и стойкость к термическому удару
       Доступны различные марки материала с рабочей температурой от 1400°C до 1700°C. Чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения обеспечивает отсутствие трещин при быстром изменении температуры и сильном термическом ударе, сохраняя структурную целостность после многократных циклов нагрева и охлаждения.
2. Равномерная и высокая теплопроводность
       Высокая теплопроводность (20–120 Вт/м·К в зависимости от марки) обеспечивает быструю и равномерную передачу тепла по всей поверхности лотка, гарантируя равномерное распределение температуры для заготовок, эффективно повышая однородность спекания и выход продукции.
3. Высокая механическая прочность и износостойкость
       Высокая прочность на изгиб (250–450 МПа в зависимости от марки) и превосходная износостойкость обеспечивают несущую способность при больших нагрузках и долговременную стойкость к эрозии. Конструкция остается стабильной по размерам при высоких температурах и штабелировании, без деформации или провисания.
4. Отличная химическая инертность и низкое загрязнение
       Высокая стойкость к большинству кислот, щелочей и агрессивных сред при высоких температурах. Плотная керамическая структура не выделяет частиц и не выделяет примесей при высоких температурах, избегая загрязнения обрабатываемых заготовок, что соответствует требованиям чистоты для процессов производства полупроводников и электронной керамики.
5. Легкая и штабелируемая конструкция
       Высокая удельная прочность позволяет создавать более тонкие и легкие конструкции при той же несущей способности. Штабелируемая конструкция уменьшает занимаемое пространство в печи, увеличивает производительность одной партии и снижает энергопотребление при производстве.
    

Настраиваемая конструкция и точность
    Поддерживаются круглые, квадратные, прямоугольные и специальные формы. Дополнительные конструкции включают плоскую пластину, с бортиком, с канавками, с установочными отверстиями/канавками и многоуровневые ступенчатые типы. Доступна прецизионная обработка для удовлетворения высоких требований к плоскостности для полупроводниковых процессов.

Стандартные спецификации

Типичные области применения
1.Производство полупроводников
    Используется в качестве держателей пластин для кремниевых пластин, сапфировых пластин и подложек из карбида кремния в высокотемпературных процессах, включая отжиг, окисление, диффузию и низкотемпературное химическое осаждение из паровой фазы (LPCVD), обеспечивая стабильное позиционирование пластин и равномерный нагрев.
2.Электронная керамическая промышленность
    Носитель для спекания многослойных керамических конденсаторов (MLCC), керамических подложек, пьезоэлектрической керамики, ферритовых магнитных материалов и диэлектрических компонентов, улучшающий однородность спекания и снижающий деформацию изделий.
3.Новая энергетика и литиевые батареи
    Лоток для термообработки и спекания катодных/анодных материалов литиевых батарей, твердых электролитов и материалов фотоэлектрических элементов, с превосходной стойкостью к щелочной коррозии для марки N-SiC.
4.Высокотемпературные промышленные печи
    Используется в спекании порошковой металлургии, термообработке металлов, экспериментах с высокотемпературными материалами и в качестве футеровочных компонентов печей, значительно продлевая срок службы по сравнению с традиционными лотками из оксида алюминия и муллита.
5.Фотоэлектрическая промышленность
    Носитель для монокристаллических кремниевых пластин и пластин солнечных элементов в процессах высокотемпературной диффузии, отжига и нанесения покрытий, поддерживающий крупномасштабное пакетное производство.

Контроль качества

    Реализована полнопроцессная система управления качеством от инспекции сырья до поставки готовой продукции, с строгими стандартами инспекции для каждой партии продукции.

1.Контроль сырья:
    Используется порошок карбида кремния высокой чистоты, с входным контролем размера частиц, чистоты и состава для обеспечения однородности материала.
2.Проверка размеров:
    Полная проверка внешних размеров, толщины и плоскостности с помощью высокоточных измерительных приборов для обеспечения соответствия требованиям допуска.
3.Проверка внешнего вида и дефектов:
    100% визуальный осмотр на наличие трещин, сколов кромок, пор и поверхностных дефектов для гарантии целостности внешнего вида и структуры.
4.Тестирование характеристик материала:
    Регулярные выборочные испытания плотности, прочности на изгиб и высокотемпературных характеристик для проверки марки материала и надежности.
5.Документация по качеству:
    Каждая партия поставки сопровождается Сертификатом анализа (COA), охватывающим ключевые размерные и эксплуатационные показатели, а отчеты сторонних испытаний предоставляются по запросу.

Часто задаваемые вопросы

В1: Как выбрать подходящую марку SiC для моего применения?
О1: ①Выбирайте RBSiC для экономически эффективного обычного спекания, сценариев механического износа и температур ≤1400°C
②Выбирайте RSiC для высокотемпературных печей выше 1500°C, интенсивных термических циклов и требований к длительному сроку службы
③Выбирайте N-SiC для материалов литиевых батарей, спекания керамики в щелочной среде и высоких требований к прочности
 

В2: Какой допуск плоскостности и обработку поверхности вы можете обеспечить?

О2:①Стандартная марка после обжига: плоскостность ±0,1 мм – ±0,2 мм, матовая поверхность

②Прецизионная обработка: плоскостность ±0,05 мм, мелкошлифованная поверхность

③Высокоточная полупроводниковая марка: более строгая плоскостность и полированная поверхность доступны по запросу
 

В3: Какова максимальная непрерывная рабочая температура лотков из SiC?

О3: Это зависит от марки материала:
①RBSiC: 1400°C длительное непрерывное использование

②RSiC: до 1650°C длительное использование, идеально подходит для сверхвысокотемпературных печей

③N-SiC: до 1550°C с превосходной стойкостью к щелочной коррозии. Кратковременная пиковая температура может быть немного выше, но длительное перегревание сократит срок службы.
 

В4: Можно ли штабелировать лотки из SiC в печи? Будут ли они деформироваться под нагрузкой?

О4: Да, доступны штабелируемые конструкции. Керамика из SiC обладает высокой прочностью на изгиб (250–450 МПа) и жесткостью при высоких температурах. При правильном расчете толщины они сохраняют стабильность размеров под штабелируемой нагрузкой при высоких температурах без провисания или деформации.
 

В5: Принимаете ли вы заказы на образцы? Каков минимальный объем заказа?

О5: Да, доступны заказы на образцы стандартных размеров лотков для проверки производительности. Для стандартных продуктов поддерживается низкий минимальный объем заказа. Для нестандартных размеров и специальных конструкций минимальный объем заказа зависит от сложности, пожалуйста, свяжитесь с нашим отделом продаж для получения подробной информации.
 

В6: Каково типичное время выполнения заказа на лотки из SiC?

О6: Стандартные складские позиции могут быть отгружены в течение 3–7 рабочих дней. Изготовление на заказ стандартных размеров занимает 10–20 рабочих дней. Специальные нестандартные формы и крупные оптовые заказы требуют 20–35 рабочих дней, в зависимости от количества заказа и сложности конструкции.

Сопутствующие товары

Индивидуальный лоток из SiC: CVD SiC SSiC Плоский с канавками Высокая теплопроводность Низкий коэффициент теплового расширения

Индивидуальная кварцевая лодочка для полупроводников, держатель для обработки пластин и загрузки в печь