Сапфировые аппликаторные трубки - это специализированные компоненты, используемые в полупроводниковой плазме и процессном оборудовании, где трубка может подвергаться воздействию микроволновой или радиочастотной энергии, реактивных процессных газов,повышенные температуры и генерируемые плазмой виды.

В удаленных плазменных системах процессный газ может проходить через трубку аппликатора, в то время как микроволновая энергия соединяется с областью аппликатора для генерации реактивных видов плазмы.Сапфир особенно подходит для этого типа применения из-за его сочетания теплостойкости, электрическая изоляция, химическая устойчивость и характеристики передачи микроволн/РЧ.

Наши сапфировые трубки-апликаторы могут поставляться как отдельные трубки или как полные комплекты, включающие металлические корпуса высокой точности, натянутые соединители,Склеивающие интерфейсы и другие механические компоненты на заказ.

Здесь показанный продукт сочетает в себе высокоточную сапфировую трубу с обработанной металлической монтажной конструкцией и предназначен для использования в качестве замены или индивидуального компонента для полупроводникового технологического оборудования.

Ключевые особенности

Высокочистный сапфирный материал

Трубка-апликатор изготовлена из синтетического сапфира, подходящего для требовательных условий на полупроводниковом оборудовании.

Сапфир обеспечивает отличную стойкость к высокой температуре, плазме и химически агрессивным условиям процесса при сохранении высокой механической прочности.

Подходит для применения в плазме

Сапфировые трубки широко используются в полупроводниковой обработке, включая плазменные аппликаторы, плазменные сдерживающие трубки,компоненты инжекторов процессуальных газов и связанные с ними системы генерации плазмы.

Совместимая с микроволновой и радиочастотной

Сапфир обладает отличными диэлектрическими характеристиками и возможностью передачи радиочастот / микроволн, что делает его подходящим для компонентов, расположенных в микроволновых или удаленных системах генерации плазмы.

Производство высокоточных труб

Размеры труб могут регулироваться в соответствии с требованиями клиента, включая:

• Внешний диаметр
• Внутренний диаметр
• Толщина стенки
• Общая длина
• Конечная геометрия
• Структура плеча
• Конструкция канавки
• Окончание поверхности
• Интерфейс сборки

Сапфир + металл

В дополнение к производству сапфировых труб, мы можем предоставить интегрированные сборы, включающие обработанные металлические компоненты.

Доступные услуги могут включать:

• Металлический корпус высокоточного качества
• Изделие из пряжи
• Внутренние крепежные конструкции
• Механические рукава
• Фланцы
• Печатные интерфейсы
• Сборка из сапфира в металл
• Производство запасной сборки

Запчасти на заказ

Мы поддерживаем персонализированные детали полупроводникового оборудования в соответствии с:

• Рисунки клиентов
• Оригинальные образцы
• Размеры оборудования
• Существующие спецификации компонентов
• Справочные номера OEM
• Требования реверсной инженерии

Это делает продукт подходящим для проектов по обслуживанию, замене и локализации полупроводникового оборудования.

Типичные применения

Сапфировые трубки-апликаторы могут использоваться в оборудовании и процессах, таких как:

• Системы удаленного плазменного источника
• Очистка плазменной камеры
• Производство микроволновой плазмы
• Полупроводниковое оборудование CVD
• Оборудование PECVD
• Оборудование HDP-CVD
• Оборудование для плазменного гравирования
• Системы сухого гравирования
• Доставка процессуального газа
• Системы активации плазменного газа
• Запчасти полупроводниковых оборудований

Сапфировые трубки уже используются в коммерческих целях для полупроводниковых плазменных аппликаторов, плазменных инвентаторов и процессовых газовых инжекторов.

Спецификации продукции

Примечание: Размеры и конструкции монтажа производятся в соответствии с оборудованием заказчика, чертежом или существующим образцом.

Зачем использовать сапфир в плазменных аппликаторах?

Трубка-апликатор расположена в одной из самых требовательных областей системы генерации плазмы.

В зависимости от конструкции оборудования, трубка может одновременно встречаться с реактивными газами, энергетическими видами плазмы, микроволновой энергией и повышенными температурами.

По сравнению с обычными стеклянными материалами сапфир обеспечивает сочетание:

• Устойчивость к высоким температурам
• Высокая механическая прочность
• Отличная химическая устойчивость
• Резистентность плазмы
• Хорошие диэлектрические свойства
• Микроволновая/РЧ передача
• Долгосрочный сервисный потенциал в требовательных процессовых средах

По этой причине сапфир стал важным инженерным материалом для плазменных аппликаторных труб и других компонентов оборудования полупроводникового процесса.

Производство специальных сапфировых аппликаторов

Мы производим сапфировые компоненты для полупроводникового оборудования с акцентом на пользовательские и заменные приложения.

Вместо того, чтобы ограничивать клиентов стандартными размерами труб, мы можем производить детали в соответствии с фактическими требованиями к оборудованию процесса.

Варианты настройки включают:

Сапфировая трубка

• ОД и ИД
• Длина трубы
• Толщина стенки
• Концы труб
• Шаги и плечи
• Слюны и канавки
• Грубость поверхности
• Требования к полировке

Металлические компоненты

• Размеры корпуса
• Спецификации нитей
• Монтажные интерфейсы
• Фланцы
• Рукава
• Конструкции соединителей

Собрание

Сапфировые трубки также могут поставляться с соответствующими металлическими компонентами в качестве сборной части полупроводникового оборудования.

Служба замены и обратной инженерии

Для выбывших из производства, труднодоступных или индивидуальных деталей полупроводникового оборудования, клиенты могут отправить нам:

1. Номер части оригинального оборудования
2. Технический чертеж
3. Фотография
4. Использованный или новый образец
5. Критические размеры
6. Модель оборудования
7. Информация о заявке

Наша инженерная команда может оценить конструкцию и производственную целесообразность до предложения.

Для деталей, изготовленных в качестве альтернативы существующим компонентам оборудования, окончательная совместимость должна всегда подтверждаться на основе конфигурации оборудования и технических спецификаций заказчика.

Контроль качества

В зависимости от требований клиента, инспекция может включать:

• Размерная проверка
• Проверка OD / ID
• Измерение толщины стены
• Проверка длины
• Проверка поверхности
• Проверка нитей
• Инспекция сборки
• Проверка визуальных дефектов
• Проверка упаковки

Отчеты об инспекции могут быть предоставлены в соответствии с требованиями проекта.

Какую информацию вы должны отправить, чтобы получить предложение?

Для более быстрого предложения, пожалуйста, укажите:

• Рисунок продукта
• ОД сапфировой трубы
• Идентификатор сапфировой трубы
• Длина трубы
• Толщина стенки
• Окончание поверхности
• Металлический корпус
• Спецификации нитей
• Марка/модель оборудования
• Номер части OEM, если он имеется
• Необходимое количество
• Окружающая среда применения или процесса

Если чертеж отсутствует, пожалуйста, отправьте четкие фотографии и физический образец для оценки.

Частые вопросы

Для чего используется сапфировая трубка-апликатор?

Сапфировая аппликаторная трубка обычно используется в полупроводниковом плазменном оборудовании, особенно в генерации плазмы, удаленной очистке плазмы и системах активации процесса газа.

Вы можете изготовить полную трубку для аппликатора?

Да, в дополнение к сапфировым трубам, можно изготовить металлические корпуса, натянутые компоненты и механические комплектующие по чертежам или образцам.

Вы можете изготовить замены для существующих деталей полупроводникового оборудования?

Да, мы поддерживаем изготовление на основе чертежей и образцов для замены компонентов полупроводникового оборудования.информация о образцах и оборудовании для оценки;.

Размеры сапфировых труб можно настроить?

Да, внешний диаметр, внутренний диаметр, длина, толщина стенки, геометрия конца трубы и отделка поверхности могут быть настроены на заказ.

Вы предлагаете небольшие количества?

Прототипы, техническое обслуживание и небольшие партии полупроводникового оборудования могут быть оценены в соответствии с необходимыми размерами и сложностью изготовления.