BOROFLOAT 33 BF33 Пластина из боросиликатного стекла для полупроводниковых МЭМС и оптических приложений

BF33 (BOROFLOAT 33) — это высокопроизводительная пластина из боросиликатного стекла, изготовленная с использованием передовой технологии микрофлоатинга. Он широко используется в полупроводниковых, МЭМС, оптических и микрофлюидных приложениях благодаря своей превосходной термической стабильности, высокой оптической передаче и сильной химической стойкости.

Имея коэффициент теплового расширения примерно 3,3 × 10⁻⁶/K, BF33 близко соответствует кремнию, что делает его идеальной подложкой для соединения пластин, микрообработки и прецизионных оптических систем.

Он обеспечивает превосходную плоскостность, сверхнизкую шероховатость поверхности и высокую механическую прочность, что делает его подходящим для требовательных чистых помещений и условий точного машиностроения.

Свойства материала

Ключевые особенности

• Низкий коэффициент теплового расширения, соответствующий кремниевым подложкам
• Высокая оптическая передача от УФ до ближнего инфракрасного диапазона
• Отличная химическая стойкость к кислотам, щелочам и растворителям.
• Высокая термостабильность до 450°C (длительное использование)
• Кратковременная стойкость до 500°C
• Сверхгладкая поверхность (Ra < 1 нм, доступен DSP)
• Высокая механическая прочность и отличная устойчивость к царапинам.
• Низкая автофлуоресценция для биомедицинских применений.
• Отличная плоскостность и низкий TTV для прецизионных процессов.

Приложения

Приложения полупроводников и МЭМС

• МЭМС датчики и микроустройства
• Подложки для упаковки на уровне пластин
• Процессы анодного соединения кремния
• Микрофлюидные чипы и системы «лаборатория на чипе»
• Вафельный носитель и процессы утончения

Оптические и фотонные системы

• Лазерные окна и оптические компоненты
• Предметные стекла для микроскопов и системы визуализации
• Оптические фильтры и прецизионные подложки
• Высокостабильные оптические сборки

Биомедицинские и аналитические устройства

• Биочипы и диагностические платформы
• ПЦР и системы «лаборатория на чипе»
• Системы обнаружения с низкой автофлуоресценцией
• Микрофлюидные аналитические устройства

Промышленное и высокотемпературное применение

• Окна наблюдения за печью
• Смотровые стекла химического реактора
• Окна защиты датчиков
• Системы экологического мониторинга

Доступные характеристики

Преимущества

Пластина из боросиликатного стекла BF33 сочетает в себе тепловое расширение, соответствующее кремнию, отличные оптические характеристики, высокую химическую стойкость и качество поверхности, совместимое с МЭМС.

Он широко используется в качестве связующего материала между обработкой полупроводников, оптической инженерией и изготовлением микромасштабных устройств.

Часто задаваемые вопросы

Что такое пластина из боросиликатного стекла BF33?

BF33 — это пластина из боросиликатного стекла высокой чистоты, изготовленная по технологии микрофлоатинга, отличающаяся низким тепловым расширением, высокой оптической прозрачностью и сильной химической стойкостью.

Почему BF33 используется в приложениях MEMS?

Его тепловое расширение близко к кремнию, что снижает напряжение во время склеивания и повышает стабильность в процессах MEMS и на уровне пластин.

Можно ли полировать пластины BF33?

Да, пластины BF33 доступны в формах SSP и DSP. Пластины с двухсторонней полировкой позволяют добиться шероховатости поверхности менее 1 нм.

Подходит ли BF33 для оптических приложений?

Да, он обеспечивает высокую передачу волн от УФ до ближнего инфракрасного диапазона, что делает его идеальным для оптических и фотонных систем.

Сопутствующие товары

JGS1 JGS2 Вафли из плавленого кварца оптического класса, 2-12 дюймов