Кварцевые лодки специального дизайна для обработки полупроводников

Обзор продукта:

Эти контейнеры, изготовленные из расплавленного кварца (SiO2), имеют высокую чистоту, а также высокую производительность.предназначены для безопасного хранения и транспортировки кремниевых пластин, субстраты или другие материалы через высокотемпературные процессы, такие как диффузия, окисление и химическое осаждение паров (CVD).и низкая тепловая расширение делают его идеальным материалом для высокопроизводительных приложений в чистых помещениях.

Мы предлагаем более 50 типов и вариаций кварцевых лодок, в том числе индивидуальные конструкции для удовлетворения конкретных требований процесса.наши кварцевые лодки изготовлены для долговечности и производительностиКроме того, мы предоставляем услуги по ремонту, включая пожарный ремонт, чтобы продлить срок службы ваших кварцевых компонентов.

Спецификации кварцевого материала:

Ключевые особенности:

• Материал: Кварц высокой чистоты (SiO2)

• Чистота: 99,99% для минимального загрязнения

• Термостойкость: выдерживает экстремальные температуры до 1200°C без деформации или деградации

• Устойчивость к химическим веществам: инертный к большинству химических веществ, обеспечивающий отсутствие загрязнения при высокотемпературных процессах

• Низкое тепловое расширение: обеспечивает стабильность измерений при быстрых колебаниях температуры

• Конфигурация: Доступно в стандартных или индивидуальных размерах (например, 4" пластины, или индивидуальные размеры)

• Характеристика крюка: Доступно с крюками на одном конце для легкого вставления и вывода пластин из печей

Применение:

1. Производство полупроводников: Содержит и транспортирует кремниевые пластины во время критических процессов, таких как диффузия, окисление и химическое отложение паров (CVD).

2. Производство солнечных элементов: Необходимо в производстве фотоэлектрических элементов для обработки кремниевых пластин, включая допинг и окисление.

3. Исследования и разработки: Идеально подходит для академических и промышленных лабораторий, где требуются высокочистые, высокотемпературные приложения.

4. Химическая обработка: Подходит для использования в химической промышленности, где необходима высокая тепловая и химическая стабильность.

Разновидности конструкции:

• Рыбные ролики: Различные размеры слотов для размещения пластинок различной толщины, с доступными конфигурациями слотов.

• Геометрия: U-тип, V-тип, или другие формы на заказ, соответствующие вашим потребностям процесса.

• Конструкция крюка: оборудован крюками для легкого вставления и вывода пластин в печи.

• Размеры: Стандартные размеры для 100 мм, 150 мм, 200 мм и 300 мм пластинок.

Преимущества кварцевых лодок:

• Исключительная тепловая устойчивость: Выдерживает температуры более 1000°C, идеально подходит для высокотемпературных процессов, таких как диффузия и отжигание.

• Сверхвысокая чистота: Низкий уровень примесей кварца обеспечивает минимальное загрязнение, особенно важное для передового производства полупроводников.

• Точность измерений: Низкое тепловое расширение кварца обеспечивает сохранение формы и выравнивания лодки при колебаниях температуры.

• Многогранность: Совместима с различными полупроводниковыми процессами, включая LPCVD, окисление и отжигание.

• Автоматизация готова: Проектировано с точностью для бесшовной интеграции с роботизированными системами обработки пластинок, минимизируя риски ручной обработки.

Часто задаваемые вопросы о кварцевых лодках:

Вопрос 1: Можно ли повторно использовать кварцевые лодки?
Да, при надлежащей очистке и обслуживании кварцевые лодки можно многократно использовать без ущерба для их производительности.

Вопрос 2: Как следует чистить кварцевые лодки?
Кварцевые лодки следует чистить кислотными ваннами или ультразвуковыми методами очистки в соответствии со стандартами чистых помещений.

Вопрос 3: Совместимы ли кварцевые лодки со всеми типами печей?
Да, кварцевые лодки совместимы с большинством горизонтальных и вертикальных систем печей, используемых в полупроводниковой и фотоэлектрической обработке.

Q4: Какие размеры доступны для заказов на заказ?
Кварцевые лодки доступны в стандартных размерах для пластин размером 100 мм, 150 мм, 200 мм и 300 мм, с дополнительной настройкой для специализированных приложений.

Сопутствующие продукты:

Кварцевые камеры Сплавленный кремний камеры SiO2≥99.99% Поверхностная шероховатость Ra≤0.1μm Wafer Carrier

Запросите цитату:

Для получения дополнительной информации или запроса на предложение, пожалуйста, свяжитесь с нами.