Керамическая палитра из карбида кремния для обработки полупроводниковых пластин

Керамическая палитра из карбида кремния для обработки полупроводниковых пластин

Обзор продукции

Керамическая палитра из карбида кремния (SiC) представляет собой высокопроизводительную палитру, предназначенную для поддержки полупроводниковых пластин и других материалов в высокотемпературных и химически агрессивных средах.Известна своей превосходной коррозионной стойкостью, высокая тепловая устойчивость и механическая прочность, SiC поднос обеспечивает постоянную производительность и надежную поддержку критических процессов, таких как эпитаксии, диффузии, окисления,и высокотемпературное спекание.

SiC-подносы широко используются в производстве полупроводников, продвинутой керамике, химической обработке, электронике, оптических компонентах, аэрокосмической, автомобильной и медицинской промышленности.

Спецификации

Методы изготовления:Беснагнетательное спекание, горячее прессование, CVD покрытие, реакционно-связанное.

Ключевые особенности

1. Высокая тепловая устойчивость: поддерживает производительность при экстремальных температурах, подходит для синтерации и обработки полупроводников.

2. Механическая прочность: высокая твердость и несущая способность предотвращают деформацию или трещины.

3. Устойчивость к химическим веществам: выдерживает сильные кислоты, щелочи и коррозионные химические вещества.

4. Теплопроводность: эффективная теплопередача при равномерных температурах обработки.

5. Низкое тепловое расширение: обеспечивает размерную стабильность при тепловом цикле.

6. Электрическая изоляция: обеспечивает надежную изоляцию для электронных приложений.

7. Опции покрытия СВД: доступны для повышения износостойкости и защиты от тепловых ударов.

8. Настраиваемые размеры и формы: поддерживает конкретные требования процесса.

Заявления

• Производство полупроводников:Поддерживает светодиодные и пластиновые чипы в эпитаксических, диффузионных и окислительных процессах.

• Высокотемпературный синтер:Обеспечивает устойчивую поддержку керамики и металлов во время синтерации.

• Химическая обработка:Безопасно обрабатывает агрессивные химикаты в промышленных или лабораторных условиях.

• Производство электроники и оптикиПоддерживает субстраты и оптические компоненты, требующие точного теплового управления.

• Аэрокосмическая и автомобильная промышленность:Легкие, прочные поддоны, подходящие для компонентов, требующих теплового управления и коррозионной стойкости.

• Производство медицинских изделий:Подходит для химически устойчивых и стерилизуемых подносов.

• Производство батарей и солнечная промышленность:Поддерживает высокотемпературные процессы для литий-ионных батарей и фотоэлектрических элементов.

• Лаборатория и исследования:Идеально подходит для экспериментов с высокой температурой или коррозионными материалами.

• Промышленность металлургии порошка и стекла/керамики:Обеспечивает равномерное нагревание и надежное управление процессом.

Преимущества

• Высокая чистота и химическая инертность снижают риск загрязнения.

• Устойчивые механические свойства в экстремальных условиях.

• Отличная износостойкость для длительного использования.

• Легкий, но прочный для легкой обработки.

• Многофункциональный для нескольких промышленных применений.

Опаковка

Все керамические подносы из карбида кремния тщательно упакованы, чтобы минимизировать повреждения во время хранения и транспортировки, гарантируя, что продукты прибывают в идеальном состоянии.

Частые вопросы

1 Могут ли керамические подносы SiC выдерживать экстремальные температуры при производстве полупроводников?

Да, SiC керамические подносы предназначены для непрерывной работы при температуре до 1650°C, что делает их идеальными для высокотемпературных процессов, таких как эпитаксия, диффузия,и окисление при производстве полупроводников и светодиодов.

2 Насколько устойчивы к коррозии и воздействию химических веществ SiC-пакеты?

SiC-подносы обладают исключительной химической устойчивостью к сильным кислотам, щелочам, плазме и другим коррозионным средам, что делает их очень надежными для использования в обработке полупроводников,сосуды химической реакции, и других суровых промышленных условиях, где целостность материала является критической.

3 Можно ли настраивать керамические подносы из SiC по размеру, форме и покрытию?

Да, SiC керамические подносы могут быть настроены на конкретные требования, включая размеры, толщину и поверхность.Мы предлагаем покрытия СВД для повышения износостойкости и повышения устойчивости к тепловым ударам, в зависимости от ваших потребностей.

Резюме

Керамические подносы из карбида кремния ZMSH сочетают в себе тепловое, химическое и механическое превосходство, чтобы обеспечить надежную платформу для полупроводниковых пластин и передовых производственных процессов.Их высокая точность, коррозионная стойкость и тепловая устойчивость делают их важными компонентами в современной высокотехнологичной промышленности.

Сопутствующие продукты