| Наименование марки: | ZMSH |
Пластины полуизолирующего карбида кремния высокой чистоты (HPSI) представляют собой современные полупроводниковые материалы подложки, разработанные для высокочастотных, мощных и высокотемпературных рабочих сред. Эти подложки, выпускаемые в конфигурациях диаметром от 2 до 8 дюймов, доступны в нескольких уровнях качества: Prime Grade (для производства), Dummy Grade (для проверки процесса) и Research Grade (для экспериментальных целей), что соответствует разнообразным требованиям промышленного производства и научных исследований.
![]()
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Тип кристалла | 4H-Полуизоляционный |
| Электрическое сопротивление | >10^5 Ом·см |
| Стандартная толщина | 500 ± 25 мкм |
| Кристаллографическая ориентация | <0001> ± 0,25° |
| Изменение толщины (TTV) | ≤ 5 мкм |
| Поверхностный лук | от -25 до +25 мкм |
| Вафельная деформация | ≤ 35 мкм |
| Шероховатость поверхности (Si-face) | Ra ≤ 0,2 нм |
Этот материал обладает чрезвычайно высоким удельным электрическим сопротивлением, что эффективно минимизирует паразитные утечки тока в высокочастотных и высоковольтных приложениях.
Да, мы поддерживаем индивидуальные спецификации, включая концентрацию легирующих добавок, размерные параметры и характеристики поверхности для продуктов Prime и Research Grade.
Пластины Prime Grade имеют минимальную плотность дефектов, подходящую для изготовления активных устройств, а Dummy Grade обеспечивает экономичные решения для технологических испытаний и калибровки оборудования.
Каждая пластина подвергается индивидуальной вакуумной запечатке с использованием материалов, совместимых с чистыми помещениями, для обеспечения целостности поверхности во время транспортировки.
Заказы со стандартной спецификацией обычно доставляются в течение 2–4 недель, тогда как выполнение индивидуальных требований обычно занимает 4–6 недель.
Полная производственная цепочка от резки до окончательной очистки и упаковки.
Возможность переработки пластин диаметром 4–12 дюймов.
20-летний опыт изготовления и восстановления монокристаллических электронных материалов.
ZMSH Technology может поставлять клиентам импортные и отечественные высококачественные проводящие, 2-6-дюймовые полуизолирующие и HPSI (полуизоляционные) подложки SiC партиями; Кроме того, он может поставлять клиентам однородные и гетерогенные эпитаксиальные листы карбида кремния, а также может быть настроен в соответствии с конкретными потребностями клиентов без минимального количества заказа.