Настраиваемые кувшины для кварцевых колоколов с опциями покрытия для полупроводниковых плазменных генераторов

Ниже приведен обзор основных параметров кварцевых колокольных банков в полупроводниковых плазменных генераторах, подчеркивая ключевые характеристики:

Роль кварцевого колокольчика в полупроводниковом плазменном генераторе может быть понята как "создание и охрана идеального пространства для плазменных реакций".

• Создание запечатанной среды: кварцевая колокольчица в сочетании с компонентами, такими как металлическая основополагающая плита через уплотнения (например, O-кольца), образует запечатанную реакционную камеру.вакуумная система эвакуирует внутреннюю часть колокольни в высокий вакуум (e.g., порядка 10−6 до 10−9 Торр), полностью удаляя из воздуха такие примеси, как влага и кислород, обеспечивая чистую "стадию" для плазменной реакции.

• Инъекция и возбуждение: высокочистые газообразные процессы (например, CF4 для гравирования, SiH4 для осаждения или вспомогательный газ Ar) точно контролируются и вводятся в колокольчик.источники энергии, такие как микроволновые или радиочастоты возбуждают эти газы, ионизируя их, образуя плазму, которая содержит высокоактивные ионы, электроны и радикалы.

• Поддержание реакции: Во время реакции высокая химическая стабильность и низкий выброс газов из кувшина с кварцевым колоколом имеют решающее значение.Он эффективно сопротивляется коррозии и эрозии стен камер плазмой., что предотвращает загрязнение самой колокольни, обеспечивая таким образом последовательность процесса и чистоту продукта.

Основные области применения кварцевых колокольников

Основываясь на вышеперечисленных свойствах, кварцевые колокольчики в основном используются в следующих ключевых процессах производства полупроводников:

• Улучшенное химическое отложение паров плазмы (PECVD):В процессах PECVD кварцевая колокольня обеспечивает стабильную реакционную среду для отложения пленок, таких как нитрид кремния и диоксид кремния.Его высокая чистота и температурная стойкость обеспечивают качество отложенных пленок..

• - Что?Сухое гравирование:В процессах гравировки, кварцевая колокольня может выдерживать высоко коррозионные плазмы на основе фтора, хлора,защита других компонентов реакционной камеры и поддержание однородности и повторяемости процесса гравирования.
• - Что?Химическое осаждение паров микроволновой плазмы (MPCVD): В передовых процессах, таких как MPCVD для производства высококачественных алмазных пленок больших размеров (используемых в полупроводниковой теплоотдаче и т.д.),Кварцевая колокольня является ключевым компонентом из-за ее способности создавать чистую плазменную среду.

О ZMSH

ZMSH специализируется на предоставлении высокопроизводительных материальных решений для полупроводников, оптоэлектроники и высокопроизводительных секторов.С развитыми возможностями в настройке ключевых компонентов для оборудования плазменного процесса, таких как кварцевые колокольчики, ZMSH использует высокочистые кварцевые материалы, адаптированные к требованиям клиента для уплотнения.Компания точно контролирует размеры, интерфейсы фланцев и оптическую передачу, чтобы обеспечить стабильную производительность в гравировке, CVD,и другие процессы.

Кроме того, ZMSH поставляет ряд индивидуальных продуктов, включая сапфировые оптические окна и подложки, подложки для силовых устройств из карбида кремния (SiC), кремниевые пластинки, кварцевые компоненты,и пластинки СОИДанное предложение охватывает цепочку услуг от подготовки материалов до точной обработки (например, резки, шлифования, полировки), отвечающих строгим требованиям к высокой твердости, теплопроводности,и изоляции в таких отраслях, как потребительская электроника, аэрокосмических и медицинских устройств.

Интегрируя исследования и разработки материалов с гибкой производственной системой, ZMSH позволяет быстро создавать прототипы и поставлять партии нестандартных продуктов,поддержка технологических инноваций и модернизации продуктов для клиентов.