Специализированные высокочистые кварцевые стеклянные пластины JGS1/JGS2/JGS3 с высокой проницаемостью

Специализированные высокочистые кварцевые стеклянные пластины JGS1/JGS2/JGS3 с высокой проницаемостью

Сплавленный кремний - это аморфный материал, образованный путем плавления высокочистого диоксида кремния при высоких температурах с последующим быстрым охлаждением.и химическая инертностьНа основе уровня чистоты и ультрафиолетовой проницаемости, он классифицируется на три класса:JGS1, JGS2 и JGS3.

Классификация по оптическим характеристикам:

1. JGS1 (дальнеультрафиолетовый оптический расплавленный кремний)

• Произведен с использованием SiCl4 в качестве сырья, расплавленный в высокочистом водородном-кислородном пламени. Содержит высокое содержание гидроксилов (≈2000 ppm) и демонстрирует исключительную ультрафиолетовую проницаемость.особенно в ультрафиолетовой области коротких волнПроницаемость превышает 90% при 185 нм. Синтетический расплавленный кремний имеет сильный пик поглощения при 2730 нм без гранулированной структуры. Это идеальный оптический материал для диапазона 185 ~ 2500 нм.

2. JGS2 (Ультрафиолетовый оптический расплавленный кремний)

• Изготовлен из кристаллического сырья с помощью газовой переработки. Содержит десятки ппм металлонечистий. Обладает пиком поглощения при 2730 нм (содержание гидроксила:100~200 ppm) с полосками и гранулированной структуройОн является подходящим материалом для диапазона волн 220 ~ 2500 нм.

3. JGS3 (инфракрасный оптический расплавленный кремний)

• Производится из кристаллического или высокочистого кварцевого песка с использованием вакуумной печи под давлением (метод электрического плавления). Содержит десятки ppm металлических примеси. Характеризуется минимальными пузырями,тонкая гранулированная структура, полоски и незначительное содержание ОГ. предлагает высокую инфракрасную проницаемость (>85%). применим в качестве оптического материала для диапазона 260 ~ 3500 нм.

Кварцевое стекло JGS1/JGS2/JGS3 Основные области применения

1Высокотехнологичные оптические системы

• JGS1: линзы для литографических аппаратов DUV, зеркала космических телескопов, компоненты для коллимации УФ-лазера.
• JGS2: потребительские оптические устройства, такие как объективы камер, призмы проекторов, объективы микроскопов.
• JGS3: Окна для инфракрасных термоизоляторов, зеркала фокусировки для лазеров СО2.

2Производство полупроводников

• Фотомаска субстраты: JGS1 является основным материалом для EUV литографии фотомаска субстраты из-за его сверхнизкий коэффициент теплового расширения (5,5 × 10−7 ° C) и высокая УФ-проницаемость.
• Переработчики пластин: JGS2 используется для высокотемпературных компонентов, таких как полупроводниковые трубки диффузионной печи и держатели лодок.

3Лазерные технологии

• Высокоэнергетические лазерные системы: JGS1 используется для изготовления резонаторных зеркал для лазеров Nd:YAG (порог повреждения, вызванного лазером: 15 J/cm2).
• Инфракрасная лазерная передача: JGS3 подходит для кабелей передачи лазерного CO2 на длине волны 10,6 мкм.

4Аэрокосмическая

• Окна космических аппаратов: JGS1 используется для радиационно-устойчивых окон в оптических дальних датчиках спутников (противостоит космическому излучению).
• Ракетные купола: JGS3 применяется в гиперзвуковых инфракрасных глазах искателей транспортных средств из-за его отличной термоупорности (ΔT > 1000 °C).

5Специальное освещение.

• УФ-лампы: УФ-лампы высокой чистоты, изготовленные из JGS1, используются для очистки воды и медицинской стерилизации.
• Жидкостные корпуса ламп: JGS2 используется для производства прозрачных корпусов для ртутных ламп высокого давления, устойчивых к высокотемпературным ударам.

5Научно-исследовательское оборудование

• Устройства синхротронного излучения: JGS1 используется для окон линии луча и компонентов монохромата.
• Детекторы частиц: JGS2 служит прозрачной средой для радиаторов Черенкова.

Кварцевое стекло JGS1/JGS2/JGS3 Характеристики обработки

• Точная отжига:Многоступенчатая гредиентная отжига (до 1300°C) устраняет внутреннее напряжение и предотвращает оптическое искажение.
• Обработка поверхности:Магнитореологическая полировка (MRF) обеспечивает поверхностную шероховатость Ra < 0,5 нм (подходит для литографии EUV).
• Технология покрытия:Применимые покрытия включают антиотражательные (AR), высокоотражательные (HR) и коррозионностойкие покрытия (например, фторид магния).

Оптические свойства кварцевого стекла JGS1/JGS2/JGS3

Стандартные спецификации кварцевого стекла JGS1/JGS2/JGS3

- Что?

Вопрос 1: Каковы основные различия между JGS1, JGS2 и JGS3 расплавленным кремниевым стеклом?
A1: JGS1 обеспечивает > 90% УФ-трансмиссии (185 нм) с содержанием 2000ppm OH, JGS2 обеспечивает 220-2500 нм-трансмиссии с содержанием 200ppm OH, в то время как JGS3 обеспечивает > 85% ИК-трансмиссии с содержанием OH почти нуля.

Вопрос 2: Какой вид расплавленного кремния лучше всего подходит для применения ультрафиолетового лазера?
A2: JGS1 идеально подходит для ультрафиолетовых лазеров из-за его 90% + проницаемости при 185nm и пороге повреждения лазера 15J / cm2.

Тег: # Оптические стекла из расплавленного кремния, # Настраиваемые, # JGS1/JGS2/JGS3, # Прозрачный УФ-качество, # Сплавленный кремний, # Радиозащитные окна, #Высокая чистота - Что?Кварц, #Кварцевые стеклянные пластины, #Высокая проницаемость