Кассета для пластин 1 дюйм, диаметр 16 мм, вместимость 25 пластин для транспортировки пластин
Кассета для пластин 1 дюйм — это специализированный контейнер, предназначенный для безопасного обращения, транспортировки и хранения полупроводниковых пластин малого диаметра (1 дюйм). Его основная роль заключается в обеспечении физической защиты, изоляции от окружающей среды и совместимости с автоматизированными системами, обеспечивая целостность пластин и эффективность процесса на протяжении всего технологического процесса производства полупроводников.
Основные компоненты и конструкция кассеты для пластин 1 дюйм
1. Конструкция
- Кассета для пластин 1 дюйм изготовлена из высокопрочных металлов (например, нержавеющей стали) или коррозионностойких инженерных пластиков (например, PEEK, PTFE).
- Имеет прецизионные прорези или фиксированные канавки, адаптированные для пластин 1 дюйм, минимизируя механическое напряжение и предотвращая соскальзывание или истирание пластин во время транспортировки.
2. Стандартизированная совместимость
- Кассета для пластин 1 дюйм соответствует отраслевым стандартам полупроводников по размерам (например, стандартам SEMI), обеспечивая бесшовную интеграцию с автоматизированным оборудованием, таким как роботизированные манипуляторы, конвейерные системы и модули переднего плана оборудования (EFEM).
- Оптимизирована для совместимости с AMHS (автоматизированными системами обработки материалов) и интерфейсами для пластин.
3. Функциональная интеграция
- Передовые модели включают в себя метки или датчики для отслеживания партий пластин, статуса процесса и данных о местоположении в режиме реального времени.
Основные характеристики кассеты для пластин 1 дюйм
1. Улучшенная физическая защита
- Снижение электростатического разряда (ESD): кассета для пластин 1 дюйм использует безопасные для ESD материалы (например, проводящие покрытия, фторполимеры) для защиты пластин от электростатических повреждений.
- Амортизация: силиконовые прокладки или резиновые вставки в канавках гасят вибрации и поглощают удары, что критически важно для хрупких пластин 1 дюйм.
2. Контроль окружающей среды
- Герметичная конструкция: кассета для пластин 1 дюйм предотвращает загрязнение пылью, влажностью и химическими парами. Некоторые варианты поддерживают вакуумную среду или среду инертного газа (например, продувку азотом) для чувствительных процессов, таких как литография или травление.
- Термостойкость: кассета для пластин 1 дюйм надежно работает в широком диапазоне температур (-20°C to 150°C), удовлетворяя требованиям высокотемпературного отжига или низкотемпературного хранения.
3. Функции, готовые к автоматизации
- Стандартизированные интерфейсы: верхние механические захваты или установочные штифты обеспечивают точную стыковку с роботизированными манипуляторами и системами EFEM.
- Фиксаторы позиционирования: магнитные или механические защелки обеспечивают надежное выравнивание пластин во время автоматизированных передач, избегая сбоев оборудования, вызванных несовпадением.
4. Экономическая эффективность
- Легкая конструкция, оптимизированная для пластин 1 дюйм, снижает затраты на материалы при сохранении долговечности, что идеально подходит для исследований и разработок и мелкосерийного производства.
Основные области применения кассеты для пластин 1 дюйм
1. Исследования и разработки полупроводников и прототипирование
- Кассета для пластин 1 дюйм облегчает проверку процессов в лабораториях или пилотных линиях для передовых технологий, таких как MEMS (микроэлектромеханические системы) и датчики.
- Кассета для пластин 1 дюйм поддерживает критические этапы, такие как фотолитография, ионная имплантация и сухое травление.
2. Специализированная интеграция процессов
- Процессы влажной очистки: кассета для пластин 1 дюйм устойчива к химической коррозии во время обработки SC1 (стандартная очистка 1) или SC2 (стандартная очистка 2).
- Высокотемпературные процессы: варианты металлических кассет выдерживают термическое напряжение в печах отжига или диффузии.
3. Автоматизированные производственные линии
- Кассеты упрощают отслеживание партий и синхронизацию оборудования, оптимизируя планирование производства.
4. Образование и контроль качества
- Кассета для пластин 1 дюйм используется в учебных заведениях для демонстрации протоколов резки, упаковки и обработки пластин.
- Кассета для пластин 1 дюйм служит прецизионным носителем для автоматизированных систем контроля пластин, обеспечивая точность позиционирования при анализе дефектов.
Рекомендации по кассетам для пластин
1. Кассета для одной пластины 1 дюйм, 2 дюйма, 3 дюйма, 4 дюйма, 6 дюймов
Вопросы и ответы по кассете для пластин 1 дюйм
1. Вопрос: Каковы основные преимущества конструкции кассет для пластин 1 дюйм?
Ответ: Стандартизированные размеры (например, 25 пластин на кассету) оптимизируют совместимость оборудования и эффективность автоматизированной обработки, сводя к минимуму риски повреждения пластин.
2. Вопрос: Каковы типичные сценарии применения кассет для пластин 1 дюйм в производстве полупроводников?
Ответ: Они используются для хранения пластин на полупроводниковых фабриках, передачи между оборудованием и стандартизированной обработки материалов на этапах процесса.
Теги: #Кассета для пластин 1 дюйм, #Держатель кассеты для пластин, #Диаметр 16 мм, #Вместимость 25 штук, #Совместимость с чистым помещением класса 100, #Транспортировка пластин
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
