Держатель кассеты для 2-дюймовых пластин 30*30 мм, 25 слотов, чистота класса 100
Держатель кассеты для 2-дюймовых пластин - это прецизионное устройство для переноса, специально разработанное для полупроводниковой, оптоэлектронной промышленности и микро/нанопроизводства. Он в основном используется для надежного удержания, хранения и транспортировки 2-дюймовых пластин или тонкопленочных материалов. Изготовленный из материалов высокой чистоты, он обеспечивает отсутствие загрязнений и механических повреждений во время изготовления, инспекции или экспериментальных процессов. Его стандартизированная конструкция обеспечивает совместимость с различным полупроводниковым оборудованием (например, литографическими машинами, системами травления и устройствами осаждения) и делает его широко применимым как в исследовательских лабораториях, так и на промышленных производственных линиях.
Кассета для 2-дюймовых пластинОсновные характеристики
(1) Высокая чистота и предотвращение загрязнений
- Кассета для 2-дюймовых пластин изготовлена из полимеров высокой чистоты (например, PEEK, PTFE) или анодированных алюминиевых сплавов для минимизации адсорбции частиц, что соответствует стандартам чистоты класса 100 или даже класса 10.
- Некоторые модели имеют антистатические покрытия для предотвращения электростатического притяжения частиц, которые могут повлиять на поверхность пластин.
(2) Высокоточное позиционирование и надежное крепление
- Кассета для 2-дюймовых пластин использует V-образные канавки или механизмы эластичных защелок для обеспечения центрированной фиксации пластин, предотвращая смещение или проскальзывание с точностью позиционирования до ±0,05 мм.
- Высококлассные модели могут поддерживать вакуумное всасывание или магнитную фиксацию, что подходит для условий высокой вибрации или высокоскоростной передачи.
(3) Модульность и совместимость
- Кассета для 2-дюймовых пластин настраивается с многослотовыми конструкциями (например, 5-слотовыми, 25-слотовыми) для удовлетворения требований серийного производства или экспериментальных задач.
- Совместима с автоматизированными роботизированными манипуляторами (Robot Arm), что обеспечивает бесшовную интеграцию в системы автоматизации полупроводниковых производственных линий.
(4) Химическая стойкость и устойчивость к высоким температурам
- Кассета для 2-дюймовых пластин использует кислотостойкую/щелочестойкую керамику или специальные пластмассы, что делает их подходящими для процессов влажного травления или химического осаждения из паровой фазы (CVD).
- Высокотемпературные варианты могут выдерживать температуру выше 200°C, что идеально подходит для отжига или нанесения при высоких температурах.
Кассета для 2-дюймовых пластинОсновные области применения
(1) Производство полупроводников
- Обработка пластин: кассета для 2-дюймовых пластин используется для фиксации и переноса пластин в таких процессах, как литография, травление и ионная имплантация.
- Нанесение тонких пленок: кассета для 2-дюймовых пластин служит держателем пластин в оборудовании физического осаждения из паровой фазы (PVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD).
(2) Оптоэлектроника и изготовление MEMS
- Производство светодиодных/лазерных чипов: кассета для 2-дюймовых пластин удерживает пластины из полупроводниковых соединений (например, GaAs, GaN) во время производства.
- Изготовление MEMS-датчиков: поддерживает обработку и инспекцию микроэлектромеханических систем на основе кремния.
(3) Исследования и лабораторное использование
- Исследования в области материаловедения: закрепляет образцы в аналитических приборах, таких как рентгеновская дифракция (XRD) и сканирующая электронная микроскопия (SEM).
- Разработка новых полупроводников: облегчает экспериментальные процессы для перовскитов и 2D-материалов (например, графена).
(4) Промышленное тестирование и упаковка
- Зондирование пластин: кассета для 2-дюймовых пластин обеспечивает стабильную поддержку во время тестирования электрических характеристик (например, измерения IV/CV).
- Упаковка чипов: кассета для 2-дюймовых пластин временно удерживает пластины для процессов резки или соединения кристаллов.
Рекомендации по сопутствующим товарам
1. Кассета для 6-дюймовых и 8-дюймовых пластин SEMI Standard Wafer Carrier Container 25 шт.
Кассета для 2-дюймовых пластин Вопросы и ответы
1. В: Для чего используется держатель кассеты для 2-дюймовых пластин?
О: Держатель кассеты для 2-дюймовых пластин надежно хранит и транспортирует 25 небольших пластин во время обработки полупроводников, обеспечивая чистоту и отсутствие повреждений при работе в среде класса 100.
2. В: Из каких материалов изготавливаются кассеты для 2-дюймовых пластин?
О: Они обычно изготавливаются из высокочистого PEEK, PTFE или анодированного алюминия для контроля загрязнений, а некоторые модели имеют антистатические покрытия для чувствительных процессов.
Теги: #2 дюйма, #Держатель кассеты для пластин, #Диаметр 30*30 мм, #Вместимость 25 слотов, #Совместимость с чистым помещением класса 100
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
