Кассета для одной 1-дюймовой пластины для хранения пластин с защитой от электростатического разряда

1 дюймовая однолинейная вафельная кассета для хранения вафелей в безопасности ESD

1-дюймовая вафельная кассета - это специализированный контейнер, предназначенный для хранения, транспортировки и автоматизированной обработки 1-дюймовых (25,4 мм) вафель в производстве полупроводников, оптоэлектронных устройств,и микроэлектроникиИзготовленный из высокочистых полимеров (таких как PEEK или PVDF) или антистатических материалов, он обеспечивает защиту пластин от загрязнения, электростатического повреждения,и физическое воздействие в среде чистых помещенийСоответствующая стандартам SEMI, кассета подходит для автоматизированных систем передачи пластинок в процессах, включая MOCVD, PECVD, литографию и гравировку.

1 дюймовая вафельная кассетаКлючевые особенности

1Ультра-чистые характеристики:

• 1 дюймовая вафельная кассета, сертифицированная для чистых помещений класса 100 с чрезвычайно низкой генерацией частиц (<5 частиц/фт3 для > 0,1 мкм)

• Гладкая поверхность предотвращает царапины

2Защита от ESD:

• Углеродное волокно или антистатическое покрытие с поверхностным сопротивлением 106-109Ω/кв.

• 1 дюймовая вафровая кассета эффективно предотвращает притяжение частиц и повреждение электростатическим разрядом

3Механическая надежность:

• Устойчивость к высоким температурам (до 150°C) и химическим веществам (к кислотам, щелочам и органическим растворителям)

• 1 дюймовая вафельная кассета с вибрационно-проверенной конструкцией, соответствующей требованиям безопасности транспортировки

4Совместимость автоматизации:

• стандартизированные интерфейсы для роботизированной обработки (совместимые с SMIF/FOUP)

• Совместима с основным полупроводниковым оборудованием (ASML, прикладной материалы и т.д.)

5. Прецизная защита пластин:

• 1 дюймовый вафловый кассетный слот с точностью ± 0,1 мм с ошибкой позиционирования вафли ≤ 0,05 мм

• Факультативные слоты для RFID-тегов для отслеживания пластинок