Трехстанционный однопроволочный отрезной станок с алмазной проволокой для обработки SiC/сапфира/кремния
Трехстанционный однопроволочный отрезной станок с алмазной проволокой - это полностью автоматизированная система прецизионной обработки, специально разработанная для обработки очень сложных твердых и хрупких материалов. Обладая модульной конструкцией, он объединяет три независимые рабочие станции для черновой резки, прецизионной чистовой обработки и полировки. Оснащенный высокожесткой портальной конструкцией и системой привода линейного двигателя нано-класса (точность повторного позиционирования ±0,5 мкм), станок использует одну алмазную проволоку (диаметр 0,1-0,3 мм) для последовательного выполнения многопроцессной обработки, обеспечивая одноэтапное прецизионное производство от заготовки до готового изделия. Он особенно подходит для высокотехнологичных технологических сценариев, требующих фигурной резки, обработки сверхтонких пластин и низкого повреждения поверхности, всесторонне поддерживая потребности прецизионной обработки полупроводниковых и оптоэлектронных материалов, включая кремний, карбид кремния (SiC), сапфир и кварц.
Технические характеристики трехстанционного однопроволочного отрезного станка с алмазной проволокой
| Модель |
Трехстанционный станок для резки алмазной проволокой |
| Максимальный размер заготовки |
600*600 мм |
| Скорость движения проволоки |
1000 (MIX) м/мин |
| Диаметр алмазной проволоки |
0,25-0,48 мм |
| Емкость для хранения проволоки подающего колеса |
20 км |
| Диапазон толщины резки |
0-600 мм |
| Точность резки |
0,01 мм |
| Вертикальный ход подъема рабочей станции |
800 мм |
| Метод резки |
Материал неподвижен, а алмазная проволока колеблется и опускается |
| Скорость подачи резки |
0,01-10 мм/мин (в зависимости от материала и толщины) |
| Бак для воды |
150 л |
| Режущая жидкость |
Высокоэффективная режущая жидкость против ржавчины |
| Угол качания |
±10° |
| Скорость качания |
25°/с |
| Максимальное натяжение при резке |
88,0 Н (установить минимальную единицу 0,1 Н) |
| Глубина резки |
200~600 мм |
| Изготовьте соответствующие соединительные пластины в соответствии с диапазоном резки заказчика |
- |
| Рабочая станция |
3 |
| Электропитание |
Трехфазный пятипроводной переменный ток 380 В/50 Гц |
| Общая мощность станка |
≤32 кВт |
| Главный двигатель |
1*2 кВт |
| Двигатель проводки |
1*2 кВт |
| Двигатель качания верстака |
0,4*6 кВт |
| Двигатель управления натяжением |
4,4*2 кВт |
| Двигатель размотки и сбора проволоки |
5,5*2 кВт |
| Внешние размеры (без коробки коромысла) |
4859*2190*2184 мм |
| Внешние размеры (включая коробку коромысла) |
4859*2190*2184 мм |
| Вес станка |
3600 кг |
Принцип работы трехстанционного однопроволочного отрезного станка с алмазной проволокой
1. Совместная работа трех станций:
- Станция А (черновая резка): Высокоскоростная резка (1-2 м/с) для быстрого формообразования, оставляя припуск 0,05 мм.
- Станция B (прецизионная чистовая обработка): Низкоскоростная прецизионная обрезка (0,5 м/с) с точностью до ±0,01 мм.
- Станция C (полировка): Химико-механическая полировка (CMP) или лазерная обработка обеспечивает шероховатость поверхности Ra<0,2 мкм.
2. Интеллектуальная система управления:
- Синхронизация на основе ПЛК обеспечивает плавные переходы процессов.
- Система машинного зрения (точность 5 мкм) автоматически калибрует траектории резки.
Особенности и совместимые материалы трехстанционного однопроволочного отрезного станка с алмазной проволокой
|
Особенность
|
Описание
|
Характеристики материала
|
|
Интеграция трех процессов
|
Уменьшает обработку заготовки, снижая скорость загрязнения на 90%
|
Кремний (сверхтонкие пластины <50 мкм), SiC (высокая твердость)
|
|
Высокоточная фигурная резка
|
Поддерживает сложные формы (дуги/фаски) с точностью профиля ±0,02 мм
|
Сапфир (оптический класс), кварц (низкое тепловое расширение)
|
|
Адаптивное управление натяжением
|
Регулировка натяжения проволоки в реальном времени (20-50 Н) предотвращает разрыв
|
Керамика (AlN/Al₂O₃), композитные подложки
|
|
Совместимость с несколькими материалами
|
Быстрое переключение параметров для разных материалов
|
Специальные кристаллы (LiNbO₃), CVD алмаз
|
Трехстанционный однопроволочный отрезной станок с алмазной проволокойТехнические преимущества
- Эффективность: Трехстанционная непрерывная обработка сокращает время цикла на 40%.
- Качество: Станция полировки обеспечивает слой повреждения поверхности <10 нм, улучшая производительность устройства на 20%.
- Гибкость: Независимая работа станции адаптируется к потребностям НИОКР и небольших партий.
- Интеллект: Отслеживание данных IoT с мониторингом силы резания и температуры в реальном времени.
Трехстанционный однопроволочный отрезной станок с алмазной проволокойОсновные области применения
1. Производство полупроводниковых силовых приборов:
- Обработка траншей SiC MOSFET: Трехстанционное сотрудничество сначала грубо вырезает профили траншей, затем прецизионно обрабатывает боковые стенки (допуск по углу ±0,1°), и, наконец, полирует для достижения шероховатости поверхности траншеи Ra<10 нм, значительно повышая коммутационную способность.
- Резка сверхтонких пластин IGBT: Для кремниевых пластин <50 мкм толщиной, технология композитной резки «опускание + колебание» контролирует сколы до 99,8% выхода.
2. Оптические компоненты для потребительской электроники:
- Обработка 3D изогнутых сапфировых крышек: Грубо вырезает основные контуры, прецизионно обрабатывает изогнутые поверхности (радиус R0,5 мм±0,01 мм) и полирует для достижения коэффициента пропускания >93% для модулей камер смартфонов и экранов умных часов.
- Изготовление микропризменных решеток: Обрабатывает призменные структуры микронного уровня (глубина 50-200 мкм) на кварцевом стекле, обеспечивая погрешность шага решетки <1 мкм.
3. Передовые исследования и специальное проектирование:
- Обработка оконного материала для устройств термоядерного синтеза: Фигурная резка CVD алмаза (толщина 0,3-1 мм) позволяет избежать графитизации, поддерживая теплопроводность >2000 Вт/м·К.
- Компоненты керамической тепловой защиты для аэрокосмической отрасли: Микроканальная резка (ширина 0,1 мм/глубина 1 мм) на подложках AlN обеспечивает шероховатость стенок канала Ra<0,1 мкм, снижая сопротивление жидкости.
FAQ по трехстанционному однопроволочному отрезному станку с алмазной проволокой
1. В: Каковы преимущества 3-станционной резки алмазной проволокой?
О: Он сочетает в себе черновую резку, прецизионную чистовую обработку и полировку в одной системе, сокращая время обработки на 40% и улучшая качество поверхности (Ra<0,2 мкм).
2. В: Какие материалы можно обрабатывать на этом станке?
О: Твердые/хрупкие материалы, такие как SiC, сапфир, кремний, кварц и керамика с точностью ±0,01 мм.
Теги: #Трехстанционный однопроволочный отрезной станок с алмазной проволокой, #Обработка SiC/сапфира/кремния
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
