6-дюймовая термостойкая прозрачная монокристаллическая кварцевая подложка для SAW-устройств
6-дюймовая кварцевая пластина (диаметр 150 мм) изготавливается из кварцевого стекла высокой чистоты (чистота ≥99,999%) с толщиной от 50 до 500 мкм. Шероховатость поверхности контролируется до Ra ≤0,5 нм с помощью CMP (химико-механической полировки). Производственный процесс включает в себя:
· Очистка сырья:Извлечение кремния электронного класса из кварцевого песка путем хлорирования и восстановления, достижение чистоты 99,9999%.
· Выращивание монокристалла:Выращивание стержней из монокристаллического кремния методом Чохральского (CZ) с плотностью дефектов <1 дефект/см².
· Резка и обработка:Разрезание кремниевых стержней на пластины диаметром 150 мм с помощью многопроволочной пилы, с последующей двусторонней полировкой и лазерным травлением для обеспечения допуска по толщине ≤±15 мкм.
Параметр для 6О: 6-дюймовые кварцевые пластины широко используются в производстве полупроводников (например, диоды, MOSFET), оптоэлектронике (оптоволокно, лазеры) и прецизионных датчиках благодаря их высокой термической стабильности и оптической прозрачности.
| Параметр |
Спецификация |
| Диаметр |
6 дюймов (150 мм) |
| Диапазон толщины |
0,5 мм~3,0 мм |
| Допуск по толщине |
±0,02 мм |
| Общая вариация толщины |
≤10 мкм |
| Шероховатость поверхности (полированная) |
≤0,5 нм Ra |
| Параллельность |
≤3 мкм |
| КТР (20-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Коэффициент пропускания при 193 нм |
>92% |
| Удельное сопротивление |
>10¹⁶ Ω·см |
| Вакуумная совместимость |
10⁻¹⁰ Торр |
| Прочность при изгибе (усиленная) |
500-700 МПа |
Основные характеристики и преимущества 6-дюймовой кварцевой пластиныО: 6-дюймовые кварцевые пластины широко используются в производстве полупроводников (например, диоды, MOSFET), оптоэлектронике (оптоволокно, лазеры) и прецизионных датчиках благодаря их высокой термической стабильности и оптической прозрачности.
· Высокая чистота и термостойкость:
Чистота кварцевого стекла ≥99,999%, температура размягчения ~1730°C, кратковременная устойчивость до 1450°C.
Коэффициент теплового расширения 0,5×10⁻⁶/°C (25-300°C), способна выдерживать тепловой удар (ΔT ≥800°C).· Химическая стойкость:
Устойчива к коррозии от всех кислот, кроме плавиковой кислоты, с коррозионной стойкостью в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали.· Оптические характеристики:
Высокое пропускание в спектре от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазона (видимый свет >93%, ближний инфракрасный >95%).
Твердость по шкале Мооса 7, прочность на сжатие выше, чем у стандартного стекла.Применение
6-дюймовой кварцевой пластиныО: 6-дюймовые кварцевые пластины широко используются в производстве полупроводников (например, диоды, MOSFET), оптоэлектронике (оптоволокно, лазеры) и прецизионных датчиках благодаря их высокой термической стабильности и оптической прозрачности.
3. Прецизионная оптика: Применяется в системах инфракрасной визуализации, лазерной оптике и линзах с высоким коэффициентом пропускания.
4. Датчики и приборы: Основные компоненты в MEMS-датчиках и медицинском диагностическом оборудовании.
5. Аэрокосмическая промышленность: Высокотемпературные оптические окна и термостойкие компоненты для космических аппаратов.
Введение в кварцевые трубки
Кварцевые трубки - это кварцевое стекло высокой чистоты, изготовленное в виде трубчатых структур, широко используемых в процессах диффузии/окисления полупроводников и фотоэлектрическом оборудовании. Наши услуги включают в себя:
· Индивидуальная обработка: Внутренние диаметры (5-50 мм), длины (100-1000 мм) и толщины стенок (0,5-3 мм). Поддерживаются сложные геометрии (изогнутые, многокамерные трубки).
· Технические преимущества: Работает при 1100°C в течение длительного времени, низкое содержание гидроксила (
<1 ppm) и высокая устойчивость к загрязнению, соответствие требованиям чистоты полупроводникового класса.
FAQ 6-дюймовой кварцевой пластины
1. В: Каковы основные области применения 6-дюймовых кварцевых пластин?О: 6-дюймовые кварцевые пластины широко используются в производстве полупроводников (например, диоды, MOSFET), оптоэлектронике (оптоволокно, лазеры) и прецизионных датчиках благодаря их высокой термической стабильности и оптической прозрачности.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
