| Наименование марки: | ZMSH |
| Номер модели: | 6 дюймовый кварцевый пластинка |
| MOQ: | 10 |
| цена: | by case |
| Время доставки: | 5-8weeks |
| Условия оплаты: | T/T |
6-дюймовая кварцевая пластина (диаметр 150 мм) изготавливается из кварцевого стекла высокой чистоты (чистота ≥99,999%) с толщиной от 50 до 500 мкм. Шероховатость поверхности контролируется до Ra ≤0,5 нм с помощью CMP (химико-механической полировки). Производственный процесс включает в себя:
· Очистка сырья:Извлечение кремния электронного класса из кварцевого песка путем хлорирования и восстановления, достижение чистоты 99,9999%.
· Выращивание монокристалла:Выращивание стержней из монокристаллического кремния методом Чохральского (CZ) с плотностью дефектов <1 дефект/см².
· Резка и обработка:Разрезание кремниевых стержней на пластины диаметром 150 мм с помощью многопроволочной пилы, с последующей двусторонней полировкой и лазерным травлением для обеспечения допуска по толщине ≤±15 мкм.
| Параметр | Спецификация |
| Диаметр | 6 дюймов (150 мм) |
| Диапазон толщины | 0,5 мм~3,0 мм |
| Допуск по толщине | ±0,02 мм |
| Общая вариация толщины | ≤10 мкм |
| Шероховатость поверхности (полированная) | ≤0,5 нм Ra |
| Параллельность | ≤3 мкм |
| КТР (20-300°C) | 0,55×10⁻⁶/°C |
| Коэффициент пропускания при 193 нм | >92% |
| Удельное сопротивление | >10¹⁶ Ω·см |
| Вакуумная совместимость | 10⁻¹⁰ Торр |
| Прочность при изгибе (усиленная) | 500-700 МПа |
· Высокая чистота и термостойкость:
Чистота кварцевого стекла ≥99,999%, температура размягчения ~1730°C, кратковременная устойчивость до 1450°C.
Коэффициент теплового расширения 0,5×10⁻⁶/°C (25-300°C), способна выдерживать тепловой удар (ΔT ≥800°C).· Химическая стойкость:
Устойчива к коррозии от всех кислот, кроме плавиковой кислоты, с коррозионной стойкостью в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали.· Оптические характеристики:
Высокое пропускание в спектре от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазона (видимый свет >93%, ближний инфракрасный >95%).
Твердость по шкале Мооса 7, прочность на сжатие выше, чем у стандартного стекла.Применение
3. Прецизионная оптика: Применяется в системах инфракрасной визуализации, лазерной оптике и линзах с высоким коэффициентом пропускания.
4. Датчики и приборы: Основные компоненты в MEMS-датчиках и медицинском диагностическом оборудовании.
5. Аэрокосмическая промышленность: Высокотемпературные оптические окна и термостойкие компоненты для космических аппаратов.
Введение в кварцевые трубки
· Технические преимущества: Работает при 1100°C в течение длительного времени, низкое содержание гидроксила (
<1 ppm) и высокая устойчивость к загрязнению, соответствие требованиям чистоты полупроводникового класса.
FAQ 6-дюймовой кварцевой пластины
2. В: Какие проблемы существуют при производстве 6-дюймовых кварцевых пластин?
О: Основные проблемы включают поддержание сверхвысокой чистоты (>99,999% SiO₂), минимизацию дефектов во время роста кристаллов и обеспечение однородности в процессах резки/полировки.
Теги: #6-дюймовая кварцевая подложка, #Индивидуальные, #Пластины из плавленого кремнезема, #Кристалл SiO₂, #Кварцевые пластины, #Класс JGS1/JGS2, #Высокая чистота, #Оптические компоненты из плавленого кремнезема, #Кварцевая стеклянная пластина, #Диаметр 150 мм, #Кварцевая кристаллическая стеклянная пластина, #Чистота 5N SiO₂, #Термостойкий, #Прозрачный, #Монокристаллическая кварцевая подложка, #SAW-устройства