Услуги по индивидуальному производству
6-дюймовая кварцевая стеклянная пластина диаметром 150 мм, чистота 5N, SiO₂
ZMSH специализируется на производстве 6-дюймовых кварцевых пластин, предлагая:
Настройка нескольких размеров: стандартные 6-дюймовые пластины, а также варианты 4", 8" и 12"
Обработка краев: варианты скошенных краев, выемок и ориентационных плоскостей
Обработка поверхности: услуги по индивидуальной полировке, нанесению покрытий и нанесению рисунка
Параметр для 61. В: Каковы преимущества 6-дюймовых кварцевых пластин по сравнению с меньшими размерами в производстве полупроводников?
| ПараметрСпецификация |
Диаметр |
| 6 дюймов (150 мм) |
Диапазон толщины |
| 0,5 мм ~ 3,0 мм |
Допуск по толщине |
| ±0,02 мм |
Общее изменение толщины |
| ≤10μм |
Шероховатость поверхности (полированная) |
| ≤0,5 нм Ra |
Параллельность |
| ≤3μм |
КТР (20-300°C) |
| 0,55×10⁻⁶/°C (сверхнизкое тепловое расширение) |
Пропускание @193nm |
| >92% |
Удельное сопротивление |
| >10¹⁶ Ω·см |
Совместимость с вакуумом |
| 10⁻¹⁰ Торр |
Прочность при изгибе (усиленная) |
| 500-700 МПа |
|
Стратегические применения 6дюймовой кварцевой пластины1. В: Каковы преимущества 6-дюймовых кварцевых пластин по сравнению с меньшими размерами в производстве полупроводников?
| Техническая спецификация |
Высокая чистота |
| ≥99,999% содержание SiO₂ |
КТР (20-300°C) |
| 0,55×10⁻⁶/°C (сверхнизкое тепловое расширение) |
Прочность на растяжение |
| 50-70 МПа (доступны варианты химического упрочнения) |
Оптическое пропускание |
| >92% @190-3500 нм (спектр от УФ до ближнего ИК) |
Электрические свойства |
| Удельное сопротивление >10¹⁶ Ω·см, пьезоэлектрические коэффициенты |
|
Стратегические применения 6дюймовой кварцевой пластины1. В: Каковы преимущества 6-дюймовых кварцевых пластин по сравнению с меньшими размерами в производстве полупроводников?
6-дюймовые кварцевые пластины широко используются в
упаковке полупроводников, изготовлении чипов, и смежных областях, в частности, при производстве:- Микросхемы памяти
(DRAM, NAND Flash)- Аналоговые/силовые устройства
(IGBT, MOSFET)- Передовые датчики
(MEMS, CMOS датчики изображения)2. Оптические компоненты
Благодаря их
высокому оптическому пропусканию и механической прочности, кварцевые пластины идеально подходят для:- Прецизионные линзы
(асферические, массивы микролинз)- Оптические фильтры
(полосно-пропускающие, дихроичные)- Волноводы
(фотонные интегральные схемы, элементы связи волокон)3. MEMS (микроэлектромеханические системы)
Кварцевые пластины служат премиальными подложками для устройств MEMS благодаря их
стабильности размеров и механической прочности, включая:- Микросенсоры
(давления, инерционные, биосенсоры)- Микроприводы
(РЧ-переключатели, пьезоэлектрические преобразователи)- Резонаторы
(5G фильтры, устройства синхронизации)4. Высокотемпературные поли-Si TFT-LCD
Кварцевые пластины критически важны при производстве
высокопроизводительных дисплеев, в частности:- HTPS (High-Temperature Poly-Si) TFT-задние панели
- Микродисплеи
(AR/VR, LCoS)- Усовершенствованные ЖК-панели
(подложки для инкапсуляции OLED)
Услуги по индивидуальному производству
6дюймовой кварцевой пластины1. В: Каковы преимущества 6-дюймовых кварцевых пластин по сравнению с меньшими размерами в производстве полупроводников?
1. Выбор материала: кварц JGS1/JGS2, синтетический плавленый кремнезем
2. Прецизионная обработка:
- Лазерная резка (±5 мкм допуск)
- Ультразвуковое сверление (соотношение сторон 10:1)
3. Обработка поверхности:
- Нанополировка (Ra
<0,3 нм)- DUV/IR антиотражающие покрытия
4. Обеспечение качества:
- Обработка в чистом помещении класса 10
- Полные отчеты по метрологии (TTV, коробление, прогиб)
FAQ
6дюймовой кварцевой пластины1. В: Каковы преимущества 6-дюймовых кварцевых пластин по сравнению с меньшими размерами в производстве полупроводников?
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
