Кварцевая пластина 4 дюйма, диаметр 100 мм, из плавленого кварца для производства полупроводников
Кварцевая пластина 4 дюйма (100 мм) представляет собой крупноформатную подложку из плавленого кварца сверхвысокой чистоты, предназначенную для высокоточных и высокостабильных применений в полупроводниках, оптоэлектронике и передовой оптике. По сравнению с 3-дюймовыми пластинами, спецификация 4 дюйма предлагает значительно большую полезную площадь, повышая эффективность производства, в частности, для серийного производства фотошаблонов ИС, высокомощной лазерной оптики и датчиков MEMS.
ZMSH специализируется на исследованиях, разработках и производстве кварцевых пластин 4 дюйма и большего размера, предлагая:
- Полная настройка размера: Поддерживает пластины 4, 6 и 8 дюймов, доступны нестандартные размеры (например, квадратные, секторные).
- Высокоточная обработка: Включает в себя двустороннюю ультраполировку (Ra≤0,5 нм), лазерную резку (допуск ±0,01 мм) и сверление микроотверстий/специальных сквозных отверстий.
- Функциональная обработка: Антиотражающие (AR) покрытия, ИК-антиотражение, алмазоподобные углеродные (DLC) покрытия и многое другое.
- Решения промышленного уровня: Чистота на уровне полупроводников (класс 10), низкая плотность дефектов (≤0,1/см²), идеально подходит для EUV-литографии и квантовых вычислений.
Спецификация для Применение
| Технический термин |
Спецификация |
| Диаметр |
4 дюйма (100 мм) |
| Диапазон толщины |
0,5 мм ~ 1,5 мм |
| Шероховатость поверхности (полированная) |
≤0,5 нм |
| Коэффициент пропускания при 193 нм |
>93% |
| КТР (20-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Параллельность |
≤3μм |
| Вакуумная совместимость |
10⁻⁰ Торр |
Основные характеристики ОбластьПрименение
: TTV≤10μм при диаметре 100 мм обеспечивает однородность процесса.2. Сверхнизкий КТР
: 0,55×10⁻⁶/°C, подходит для высокотемпературных процессов (например, отжиг, ионная имплантация).3. Широкополосная прозрачность
: >93% пропускания при 193 нм (DUV), >90% при 3-5μм (ИК).4. Превосходное качество поверхности
: Двусторонняя полировка с Ra≤0,5 нм для наноразмерной литографии.5. Повышенная прочность
: Дополнительное химическое упрочнение увеличивает прочность на изгиб до 600 МПа; устойчивость к плазме.
кварцевой пластины 4 дюймаОбластьПрименение
| Полупроводники |
Оптика EUV-литографии, подложки фотошаблонов, межсоединения 3D NAND |
| Высокомощные лазеры |
Лазерные зеркала, решетки для сжатия импульсов, торцевые крышки волоконных лазеров |
| Квантовые технологии |
Носители кубитных чипов, смотровые окна ловушек холодных атомов, подложки однофотонных детекторов |
| Аэрокосмическая |
Спутниковые линзы, радиационно-стойкие сенсорные окна, детекторы частиц |
| Биомедицина |
Чипы для секвенирования ДНК, оптика эндоскопов, формы для микрофлюидных устройств |
| |
Услуги по настройке |
сквозную настройку для кварцевых пластин 4 дюйма
, включая:- Выбор материала: JGS1/JGS2 UV-класса или ИК-класса плавленый кварц.
- Прецизионная обработка: Наноразмерная полировка (λ/20), лазерное микроструктурирование (точность ±1μм).
- Функциональные покрытия: AR (193-1064 нм), лазерные покрытия с высоким порогом повреждения (LIDT) (>5 Дж/см²).
- Поддержка контроля качества: Полные отчеты об инспекциях (AOI, интерферометрия).
FAQ1. В: Каков типичный допуск по толщине для кварцевых пластин 4 дюйма?
О: Стандартные кварцевые пластины 4 дюйма (100 мм) поддерживают допуск по толщине ±0,02 мм в диапазоне 0,5-1,5 мм, обеспечивая однородность для процессов полупроводниковой литографии.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
