4 дюймовый кварцевый пластинка диаметр 100 мм расплавленный силиконовый пластинка для производства полупроводников

​

Кварцевая пластина 4 дюйма, диаметр 100 мм, из плавленого кварца для производства полупроводников

Кварцевая пластина 4 дюйма (100 мм) представляет собой крупноформатную подложку из плавленого кварца сверхвысокой чистоты, предназначенную для высокоточных и высокостабильных применений в полупроводниках, оптоэлектронике и передовой оптике. По сравнению с 3-дюймовыми пластинами, спецификация 4 дюйма предлагает значительно большую полезную площадь, повышая эффективность производства, в частности, для серийного производства фотошаблонов ИС, высокомощной лазерной оптики и датчиков MEMS.

ZMSH специализируется на исследованиях, разработках и производстве кварцевых пластин 4 дюйма и большего размера, предлагая:

- Полная настройка размера: Поддерживает пластины 4, 6 и 8 дюймов, доступны нестандартные размеры (например, квадратные, секторные).

- Высокоточная обработка: Включает в себя двустороннюю ультраполировку (Ra≤0,5 нм), лазерную резку (допуск ±0,01 мм) и сверление микроотверстий/специальных сквозных отверстий.

- Функциональная обработка: Антиотражающие (AR) покрытия, ИК-антиотражение, алмазоподобные углеродные (DLC) покрытия и многое другое.

- Решения промышленного уровня: Чистота на уровне полупроводников (класс 10), низкая плотность дефектов (≤0,1/см²), идеально подходит для EUV-литографии и квантовых вычислений.

Спецификация для Применение

​​Основные характеристики​​ ОбластьПрименение

: TTV≤10μм при диаметре 100 мм обеспечивает однородность процесса.2. Сверхнизкий КТР

: 0,55×10⁻⁶/°C, подходит для высокотемпературных процессов (например, отжиг, ионная имплантация).3. Широкополосная прозрачность

: >93% пропускания при 193 нм (DUV), >90% при 3-5μм (ИК).4. Превосходное качество поверхности

: Двусторонняя полировка с Ra≤0,5 нм для наноразмерной литографии.5. Повышенная прочность

: Дополнительное химическое упрочнение увеличивает прочность на изгиб до 600 МПа; устойчивость к плазме.​​

кварцевой пластины 4 дюймаОбластьПрименение

сквозную настройку для кварцевых пластин 4 дюйма

, включая:- Выбор материала: JGS1/JGS2 UV-класса или ИК-класса плавленый кварц.

- Прецизионная обработка: Наноразмерная полировка (λ/20), лазерное микроструктурирование (точность ±1μм).

- Функциональные покрытия: AR (193-1064 нм), лазерные покрытия с высоким порогом повреждения (LIDT) (>5 Дж/см²).

- Поддержка контроля качества: Полные отчеты об инспекциях (AOI, интерферометрия).

FAQ1. В: Каков типичный допуск по толщине для кварцевых пластин 4 дюйма?