3-дюймовая кварцевая пластина оптического класса. Коэффициент пропускания >92%. Подложки из полупроводникового стекла
ZMSH специализируется на изготовлении на заказ 3-дюймовых кварцевых пластин, предлагая индивидуальные решения для передовых оптоэлектронных, MEMS и полупроводниковых применений. В отличие от стандартных 2-дюймовых пластин, 3-дюймовые кварцевые пластины обеспечивают увеличенную площадь поверхности для многокомпонентной интеграции, что позволяет создавать высокоточные устройства с улучшенными характеристиками. Основные характеристики:
· Материал: Высокочистый плавленый кварц (SiO₂) с <50 ppm содержанием гидроксила, обеспечивающим ультранизкие оптические потери.
· Размеры: Индивидуальные диаметры (3,00" ±0,02") и толщины (0,525–1,200 мм, TTV ≤10 μм).
· Формы: Круглые, квадратные или неправильные геометрии с нестандартными отверстиями, ступенчатыми краями или градиентной толщиной.
· Обработка поверхности: Ультрагладкие поверхности (Ra ≤1,0 нм) для минимального рассеяния света.
Спецификация для - Датчики давления, гироскопы и струйные печатающие головки, использующие 3-дюймовые пластины для многослойной интеграции и термической стабильности.
| Параметр |
Спецификация |
| Диаметр |
3 дюйма (76,2 мм) |
| Допуск по толщине |
±0,02 мм |
| Шероховатость поверхности |
≤1 нм (полированный класс) |
| Коэффициент пропускания при 193 нм |
>92% |
| КТР (RT-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Параллельность |
≤5μм |
| Вакуумная совместимость |
10⁻⁹ Торр |
Основные характеристики 1. Передовые MEMS-устройства- Датчики давления, гироскопы и струйные печатающие головки, использующие 3-дюймовые пластины для многослойной интеграции и термической стабильности.
- Широкий спектральный диапазон пропускания: >92% пропускания от 185 нм (УФ) до 3500 нм (ИК), идеально подходит для УФ-литографии и квантового зондирования.
- Низкое тепловое расширение: КТР 0,52×10⁻⁶/°C, поддержание стабильности размеров до 1100°C.
2. Механическая и химическая стойкость
- Высокая твердость: 7 по шкале Мооса, устойчивость к истиранию и механическим ударам.
- Химическая стойкость: в 30 раз выше, чем у керамики, подходит для агрессивных химических сред.
3. Электрические характеристики
- Изоляция: Удельное сопротивление >10¹⁸ Ω·см, минимизация паразитной емкости в высокочастотных цепях.
- Совместимость с SAW: Оптимизировано для фильтров на поверхностных акустических волнах (SAW) с точными углами резки (например, 34,33° для FC-cut).
3-дюймовой кварцевой пластины1. Передовые MEMS-устройства- Датчики давления, гироскопы и струйные печатающие головки, использующие 3-дюймовые пластины для многослойной интеграции и термической стабильности.
2. Оптоэлектронные системы
- УФ-лазерные диоды, волоконно-оптические коллиматоры и компоненты LiDAR, требующие оптических путей с низкими потерями.
3. Полупроводниковая упаковка
- Подложки для упаковки на уровне пластин (WLP) для CMOS-датчиков изображения и RFIC, поддерживающие технологию TSV (сквозные кремниевые переходы).
4. Квантовые технологии
- Подложки для центров азот-вакансия (NV) в алмазе и сверхпроводящих кубитов, выигрывающие от сверхнизкой плотности дефектов.
Кварцевые капиллярные трубки: краткий обзор
Кварцевые капилляры ZMSH разработаны для микрофлюидных и оптических применений, отличаясь:
- Индивидуальные размеры:
Внутренние диаметры от 50 мкм до 5 мм, длина до 300 мм.
- Сверхвысокая чистота:
- Обработка:
FAQ1. В: Почему стоит выбрать 3-дюймовые кварцевые пластины?
О: 3-дюймовые кварцевые пластины обеспечивают баланс между экономической эффективностью и производительностью, поддерживая многослойную интеграцию для MEMS-датчиков, оптических фильтров и полупроводниковой упаковки с использованием высокочистого плавленого кварца (OH⁻
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
