3-дюймовая кварцевая подложка из высокочистого плавленого кремнезема, пластина диаметром 76,2 мм, JGS1/JGS2

3 дюймовый кварцевый субстрат высокой чистоты расплавленный кремниевый пластинка 76,2 мм диаметр JGS1/JGS2

- Что?3-дюймовый кварцевый пластинка (76,2 мм) является большого формата, высокой чистоты расплавленный кремниевой подложки специально разработан для передовых полупроводников, оптоэлектронных,и точных оптических приложений, требующих больших площадей обработки. По сравнению с 2-дюймовыми пластинами, 3-дюймовая спецификация повышает эффективность производства и уменьшает потерю края, что делает ее особенно подходящей для серийных устройств MEMS, передовых фотомасок,и лазерные оптические системы.

ZMSH специализируется на индивидуальном производстве крупногабаритных кварцевых пластин, предлагая:

· Покрытие полного размера:От 2-дюймовых до 12-дюймовых пластинок, поддерживающих нестандартные настройки размеров

· Обработка сложных форм:Круглые пластины, квадратные пластины и специальные формы (например, секторные, D-разрез)

· Многофункциональная обработка поверхности:Одностороннее/двустороннее полирование, покрытия (AR/IR/DLC), гравирование микроструктур

· Промышленные решения:Чистота полупроводников (класс 100), лазерное бурение, высокоточные маркировки

Спецификация для3-дюймовый кварцевый пластинка

Ключевые характеристики из3-дюймовый кварцевый пластинка

- Огромная однородность: TTV≤15μm при диаметре 76,2 мм обеспечивает однородность процесса на больших площадях

- Глубокая ультрафиолетовая оптимизация: >92% проницаемость на 193 нм, поддержка литографии ArF и применения лазера DUV

- Сопротивляемость тепловым ударам: Коэффициент теплового расширения 0,55×10−6/°C, выдерживает быстрые температурные циклы (1000°C/мин)

- Химическая инертность: устойчивы к эрозии плазмы, подходят для сухой гравировки и среды CMP

- Механическое укрепление: Необязательное химическое укрепление увеличивает прочность на 300% до 500 МПа

Основные приложения из3-дюймовый кварцевый пластинка

Кварцевые призмы

ZMSH предоставляет услуги по настройке кварцевых призмов для ультрафиолетовых и инфракрасных длин волн, включая призмы прямоугольных, пентапризмы и призмы разделители лучей, с:

· Точность поверхности на нанометровом уровне(λ/10@632.8nm)

· Специальные покрытия(покрытия, устойчивые к лазерным повреждениям, полярные покрытия для разделения лучей)

· Интегрированная обработка(гибридные конструкции призма-волаток, микроканальные конструкции охлаждения)

Идеально подходит для передовых приложений в области лазерного формирования лучей, спектрального анализа и экспериментов в области физики высоких энергий- Да, конечно.