Специализированный SiC керамический лодочный носитель для обработки вафелей

Специализированный SiC керамический лодочный носитель для обработки вафелей

Специализированный керамический кораблекруситель из карбида кремния (SiC) - это высокопроизводительное решение для обработки пластин, предназначенное для полупроводниковых, фотоэлектрических и светодиодных производственных процессов.Проектировано для высокотемпературной стабильности, устойчивость к химическим веществам и ультранизкое загрязнение, этот носитель обеспечивает безопасную и эффективную транспортировку пластинок в сложных условиях, таких как СВД, диффузионные печи и оксидационные камеры.

Ключевые преимущества керамической лодки SiC

Высокая тепловая устойчивость. Выдерживает температуру до 1600°C без деформации.

Химическая инертность ️ Сопротивляется эрозии кислот, щелочей и плазмы, обеспечивая долговечность.

Низкая генерация частиц минимизирует загрязнение в EUV и продвинутом производстве узлов.

Настраиваемая конструкция ️ Соответствующая размеру пластины, размерам слотов и требованиям обработки

Идеально подходит для заводов по производству полупроводников, производства MEMS и обработки полупроводников-соединений

Спецификация

Применение керамической лодки из SiC

1Производство полупроводников
✔ Диффузные и отжигательные печи
- Высокотемпературная стабильность Противостоит 1,600°C (окислительность) / 1,950°C (инертность) без деформации.
- Низкое тепловое расширение (4,3×10−6/K) ️ Предотвращает деформацию пластины при быстрой термической обработке (RTP).

✔ КВД и эпитаксия (рост SiC/GaN)
- Устойчивость к коррозии газов
- Площадь, свободная от твердых частиц, полированная (Ra < 0,2μm) для дефектного эпитаксиального отложения.

✔ Имплантация ионов
- Устойчивы к радиации. Не деградируют при ионной бомбардировке.

2Электроэлектроника (устройства SiC/GaN)
✔ Обработка SiC-вафры
- Сравнение CTE (4.3×10−6/K)
- Высокая теплопроводность (160 Вт/мкк)

✔ Устройства с GaN на SiC
- Не загрязняет без выбросов металлоионов по сравнению с лодками из графита.

3Производство фотоэлектрической энергии (солнечных батарей)
✔ Солнечные элементы PERC & TOPCon
- Противостойкость диффузии POCl3 Противостоит фосфорной допинговой среде.
- Длительный срок службы 5 - 10 лет по сравнению с 1-2 годами для кварцевых лодок.

✔ Тонкопленочные солнечные батареи (CIGS/CdTe)
- Устойчивость к коррозии

4. LED и оптоэлектроника
✔ Эпитаксии с мини/микро-ЛЭД
- Конструкция точного отверстия - держит хрупкие 2"-6" пластины без щелчков.
- Совместима с чистыми помещениями. Соответствует стандартам SEMI F57.

5Исследования и специальные приложения
✔ Синтез высокоскоростного материала
- Помощники для синтерации (например, B4C, AlN) Химически инертны в условиях 2000°C +.
- Кристаллический рост (например, Al2O3, ZnSe) Не реагируют с расплавленными материалами.

Частые вопросы

Вопрос 1:Какие размеры пластин поддерживаются?

Стандарт: 150 мм (6"), 200 мм (8"), 300 мм (12").

Q2: Каково время выполнения заказных проектов?

- Стандартные модели: 4-6 недель.
- Полностью на заказ: 8-12 недель (в зависимости от сложности).