Точные сапфировые подъемные булавы с однокристаллическим Al2O3 стойкие к износу для высокоточного позиционирования пластинок
Сапфировые подъемники - это высокоточные механические компоненты, изготовленные из высокочистого однокристаллического сапфира, предназначенные для высокоточного позиционирования, высокотемпературной стойкости,и изнашивающие приложения . ZMSH предоставляет услуги по настройке полных параметров (включая диаметр, длину, шероховатость поверхности и оптимизацию кристаллографической ориентации),поддержка быстрой поставки небольших партий для удовлетворения крайних требований к производительности полупроводников, медицинского, аэрокосмического и промышленного секторов.
Ключевые характеристики
1Ультравысокая механическая прочность: с прочностью на сжатие, превышающей 300 000 psi, эти штифты выдерживают высокочастотные подъемные нагрузки (например,12-дюймовые системы обработки пластин в производстве полупроводников).
Стабильность при высоких температурах: работает непрерывно при температуре 1500°С и переносит кратковременное воздействие до 2050°С (идеально подходит для лазерной сварки или установки в камере сгорания).
3Низкий коэффициент трения: коэффициенты трения после полировки <0,15 минимизируют потери энергии во время точного движения (например, корректировка стадии литографии).
4. Химическая инертность: устойчива к сильным кислотам, щелочам и органическим растворителям, подходит для чистых помещений и среды офорта полупроводников.
Технические параметры
| Химический состав |
Монокристаллический Al2O3 |
| Твердость |
9Mohs |
| Оптическая природа |
Одноосновный |
| Индекс преломления |
1.762-1.770 |
| Нарушение |
0.008-0.010 |
| Дисперсия |
Низкий, 0.018 |
| Лампочка |
Стеклянные |
| Плеохроизм |
Умеренный до сильного |
| Диаметр |
0.4mm-30mm |
| Толерантность диаметра |
00,004 мм-0,05 мм |
| длина |
2 мм-150 мм |
| допустимость длины |
00,03 мм-0,25 мм |
| Качество поверхности |
40/20 |
| Круглость поверхности |
РЗ0.05 |
| Специальный формат |
оба конца плоские, радиус одного конца, радиус обоих концов,
штыки седла и специальные формы |
Основные применения
(1) Производство полупроводников - Что?
- Что?· Системы обработки пластин : достижение точности позиционирования ± 1 мкм в 12-дюймовых вафровых фабриках, выдерживающих 200 циклов/час.
- Что?· Фотолитография Калибровка стадии : Компенсируйте тепловое расширение кремниевых пластин (коэффициент теплового расширения: 5,3×10−7/°C) с помощью нанометровых регулировок.
- Что?(2) Медицинские изделия. - Что?
- Что?· Катетеры хирургических роботов : Ультратонкостенные трубки (< 50 мкм) позволяют минимально инвазивные сосудистые вмешательства без повреждения тканей.
- Что?· Калибровка радиотерапевтического оборудования : регулировать очаги излучения с точностью ± 0,01 мм в системах протонотерапии.
- Что?(3) Аэрокосмическая промышленность и оборона - Что?
- Что?· Контроль векторов ракет : используется в механизмах регулировки положения, выдерживающих тепловой цикл от -196°C до 1200°C.
· Спутниковые оптические системы : Защищает внешние полезные нагрузки во время глубоких космических миссий, сохраняя функциональность под вакуумом и радиацией.
- Что?(4) Промышленность и исследования - Что?
- Что?· Стадии электронной микроскопии : Позиционирование на ±5 нм в вакуумной среде 10−10 мбар.
· Ядерные термоядерные реакторы : Выдерживает нейтронное облучение (>1015 н/см2) и эрозию плазмы в течение >100 000 циклов.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
