Сапфировые подъемные булавки Сапфировые стержни Точное производство Промышленное применение Обработка пластин

Сапфировые подъемные булавки Сапфировые стержни Точное производство Промышленное применение Обработка пластин

ZMSH специализируется на производстве сапфировых подъемных булав, с акцентом на исследования и разработки, производство и продажу сапфировых кристаллических материалов.Сапфировые подъемники известны своей исключительной прочностью, высокая твердость, коррозионная устойчивость и превосходные оптические свойства, что делает их идеальными для производства высококлассного оборудования и прецизионного обработки.ZMSH предлагает услуги по индивидуальной обработке, способный проектировать и производить сапфировые подъемные булавки различных спецификаций для удовлетворения различных промышленных требований.

Техническая спецификация

Основные функциииз сапфировых подъемных булав

Сапфировые подъемные булавки являются критическими компонентами в полупроводниковом и светодиодном оборудовании, в основном используемых для переноса и позиционирования пластинок.

1Поддержка вафеля и вертикальное движение

В тонкопленочных отложениях (например, MOCVD), гравировке или литографических процессах роботизированные руки запускают сапфировые подъемные булавки, чтобы поднять их с пола камеры, точно поддерживая пластины (например,2/4/6-дюймовые подложки) при сохранении равномерного положения для облегчения операций по загрузке и разгрузке.

2. Стабильная производительность в условиях высокой температуры

Сапфир (однокристаллический Al2O3) имеет сверхвысокую температуру плавления 2050°C, что позволяет длительное время работать над 1000°C (например,ГаН эпитаксиальный рост) без риска термической деформации или загрязнения пластины, типичного для металлических булавок.

3. Химическая инертность для целостности процесса

С исключительной устойчивостью к кислотам, щелочам и плазме, сапфир предотвращает высвобождение примесей во время процессов гравировки или КВД,обеспечение чистоты производства (особенно важно для полупроводников с широким диапазоном, таких как SiC/GaN).

Ключевые преимущества
 

1Ультранизкое загрязнение: по сравнению с металлическими (например, молибденом) или керамическими (например, AlN) альтернативами, сапфир генерирует минимальную выброс частиц, отвечая стандартам класса 10.

2Исключительная твердость (Mohs 9): Устойчивость к царапинам на поверхности увеличивает срок службы более чем на 100 000 циклов в 5-8 раз дольше, чем у кварцевых булавок.

3. Совпадающий коэффициент теплового расширения: тесное выравнивание с пластинами SiC/GaN (~ 7,5×10−6/°C) минимизирует деформацию или трещины, вызванные тепловым напряжением.

Типичные примененияиз сапфировых подъемных булав

1. Производство эпитаксиальных вафль LED: поддерживает сапфировые субстраты во время эпитаксиального роста GaN в реакторах MOCVD.

2Производство полупроводников мощности: позволяет высокотемпературную имплантацию ионов или процессы отжига для пластин SiC.

3. Усовершенствованная упаковка: обеспечивает точное расположение на микроном уровне для сверхтонких пластинок (толщина < 100 мкм) в упаковке на уровне пластинок (WLP).

Сопутствующие продукты

ZMSH специализируется на высококачественных сапфировых стержнях, разработанных для превосходной прочности, тепловой устойчивости и коррозионной устойчивости.Мы предлагаем высокоточную обработку, чтобы соответствовать точным требованиям..