3inch 4inch 6Inch 900 общее тонкого фильма Y-42° LT LN Nm

Тонкие фильмы LiTaO3 были подготовлены покрытием закрутки полимеризованного решения прекурсора sol-геля. Фильмы были депозированы на одиночном кристаллическом субстрате кремния, Ti/Pt или SiO2 покрыло субстрат кремния. Фильмы были охарактеризованы измерениями дифракции рентгеновских лучей, диэлектрических и pyroelectric. Высокая температура Кюри (над °C 550) была принята для тонких фильмов LiTaO3 от зависимости температуры диэлектрической константы. Замена 35% из тантала атомами титана в решении прекурсора LiTaO3 приводила тонкие фильмы с температурой Кюри 330 °C. Более низкая температура Кюри водит к более большому pyroelectric коэффициенту на комнатной температуре, которая больше чем двойник это из undoped тонких фильмов LiTaO3. Диэлектрик, pyroelectric, и сегнетоэлектрические свойства были сравнены к одиночному кристаллическому LiTaO3 и керамическому Li0.91Ta0.73Ti0.36O3. Тонкие фильмы LiTaO3 доступны процессом sol-геля на низкой температуре, и их свойства могут по возможности быть проконтролированы путем менять состав решения прекурсора sol-геля.