Вафли DSP особой чистоты HPSI 4H-SEMI 4H-N 10X10mm 5x5mm sic
ZMSH предлагает вафлю и эпитаксию SiC: Вафля SiC материал полупроводника bandgap третьего поколения широкий с превосходным представлением. Она имеет преимущества широкого bandgap, высокой термальной проводимости, высокого электрического поля нервного расстройства, высокой внутреннеприсущей температуры, сопротивления радиации, хорошей химической стойкости и высокого тарифа смещения сатурации электрона. Вафля SiC имеет также большие перспективы применения в воздушно-космическом пространстве, переходе рельса, фотовольтайческом производстве электроэнергии, передаче энергии, новых кораблях энергии и других полях, и принесет революционные изменения к технологии производительности электроники. Сторона Si или сторона c CMP как epi-готовая ранг, упакованная газом азота, каждая вафля в одном контейнере вафли, вниз чистой комнате класса 100.
Epi-готовые вафли SiC имеют тип n или Полу-изолирующ, свое polytype 4H или 6H в различных качественных рангах, плотность Micropipe (MPD): Свободный, <5>
2. субстраты определяют размер стандарта
спецификация субстрата кремниевого карбида 4 дюймов диаметра (SiC) |
|||||||||
Ранг | Нул рангов MPD | Ранг продукции | Ранг исследования | Фиктивная ранг | |||||
Диаметр | 76,2 mm±0.3 mm или 100±0.5mm; | ||||||||
Толщина | 500±25um | ||||||||
Ориентация вафли | 0° с (0001) оси | ||||||||
Плотность Micropipe | см-2 ≤1 | см-2 ≤5 | см-2 ≤15 | см-2 ≤50 | |||||
Резистивность | 4H-N | 0.015~0.028 Ω•см | |||||||
6H-N | 0.02~0.1 Ω•см | ||||||||
4/6H-SI | ≥1E7 Ω·см | ||||||||
Основная квартира и длина | {10-10} ±5.0°, 32,5 mm±2.0 mm | ||||||||
Вторичная плоская длина | 18.0mm±2.0 mm | ||||||||
Вторичная плоская ориентация | Кремний лицевой: 90° CW. от основного плоского ±5.0° | ||||||||
Исключение края | 3 mm | ||||||||
TTV/Bow /Warp | ≤15μm/≤25μm/≤40μm | ||||||||
Шершавость | Польское Ra≤1 nm, CMP Ra≤0.5 nm | ||||||||
Отказы светом высокой интенсивности | Никакие | 1 позволенный, ≤2 mm | Кумулятивное ≤ 10mm длины, одиночное length≤2mm | ||||||
Плиты наговора светом высокой интенсивности | Кумулятивная область ≤1% | Кумулятивная область ≤1% | Кумулятивная область ≤3% | ||||||
Зоны Polytype светом высокой интенсивности | Никакие | Кумулятивная область ≤2% | Кумулятивная область ≤5% | ||||||
Вафля Sic & слитки 2-6inch и другой подгонянный размер также смогите быть обеспечено.
дисплей детали 3.Products
Доставка & пакет