​​Что такое FOUP в производстве микросхем?​​

В производстве полупроводников ​​Front Opening Unified Pod (FOUP)​​ - это критически важный контейнер, используемый для защиты, транспортировки и хранения пластин. Предназначенный для удержания ​​25 штук пластин диаметром 300 мм​​, его основные компоненты включают камеру с передним открытием и специальную дверную раму. Являясь основным носителем в автоматизированных транспортных системах для 12-дюймовых пластин, FOUP остаются закрытыми во время транспортировки и открываются только при размещении в порту загрузки инструмента для передачи пластин.

FOUP разработаны в соответствии со строгими требованиями к микроокружению. Их задняя часть имеет слоты для пластин, совместимые с роботизированными манипуляторами, а дверь точно совмещается с захватными механизмами. Роботы для работы с пластинами работают в ​​чистых помещениях класса 1​​ (≤10 частиц ≥0,1 μm/м³), обеспечивая транспортировку без загрязнений. Современные заводы используют потолочные рельсовые системы для перемещения FOUP, хотя на более старых предприятиях могут использоваться наземные автоматизированные управляемые транспортные средства (AGV).

Помимо транспортировки, FOUP служат решениями для хранения. Из-за длительных производственных циклов (продолжительностью в несколько месяцев) и высокого ежемесячного объема производства, десятки тысяч пластин могут находиться в пути или во временном хранении в любой момент времени. FOUP подвергаются периодической продувке азотом для предотвращения воздействия загрязняющих веществ, поддерживая сверхвысокую чистоту во время хранения.

Основные функции и важность​​

FOUP защищают пластины от механических ударов и загрязнений во время транспортировки, напрямую влияя на выход годной продукции. В передовых FOUP используется ​​продувка газом​​ и ​​локализованный контроль атмосферы (LAC)​​ для смягчения воздействия влажности и летучих органических соединений (VOC). Их герметичные системы ограничивают воздействие внешних элементов — кислорода, влаги и загрязняющих веществ — до уровней <3 частиц/час внутри.
 

Полный FOUP весит ​​9 кг​​, что требует автоматизированных систем обработки материалов (AMHS) для транспортировки. FOUP интегрируют соединительные пластины, штифты и отверстия для совместимости с AMHS, а также ​​RFID-метки​​ для отслеживания и классификации в режиме реального времени. Эта автоматизация минимизирует человеческие ошибки и повышает безопасность/точность.​

Структурная и функциональная классификация​​

​1. Размеры​​: 420 мм (Ш) × 335 мм (Г) × 335 мм (В).

2. ​Основные компоненты​​:

• ​​Верхний OHT (Overhead Handling Transport)​​: Интерфейс для крановых систем.
• ​Передняя дверь​​: Порт загрузки/выгрузки пластин.
• ​​Боковая ручка​​: Цветовая кодировка для обозначения зон загрязнения (например, красный для зон высокого риска).
• ​RFID-метка​​: Уникальный идентификатор для распознавания инструмента/amhs.
• ​Отверстия для выравнивания​​: Четыре точки позиционирования для совместимости с инструментом.

​​3. Категории использования​​:

• ​​PRD (Производство)​​: Для пластин конечного продукта.
• ENG (Инженерия)​​: Для НИОКР/экспериментальных пластин.
• MON (Мониторинг)​​: Для мониторинга процесса (CMP, литография и т. д.).
• Примечание: FOUP PRD можно использовать для ENG/MON, ENG можно использовать для MON, но обратное использование рискует загрязнением.

4. ​​Классификация загрязнений​​:

•​FE FOUP​​: Передний конец (процессы без металла).

•​BE FOUP​​: Задний конец (процессы, содержащие металл).

•​Специализированные типы​​: NI (никель), CU (медь), CO (кобальт) для конкретных этапов металлизации.

•​Примечание: FOUP переднего конца совместимы с процессами заднего конца, но не наоборот.

​​Заключение​​

FOUP незаменимы на современных заводах, сочетая передовую автоматизацию, контроль загрязнений и долговечность для защиты пластин на протяжении сложных производственных циклов. Их конструкция напрямую поддерживает оптимизацию выхода годной продукции и масштабируемость массового производства.

Являясь ведущим отечественным производителем основных носителей для полупроводников, ZMSH стремится предоставлять ​​комплексные решения​​, ориентированные на жизненный цикл, включая индивидуальный дизайн, быструю доставку и послепродажную техническую поддержку. Используя ​​сеть цепочки поставок на основе искусственного интеллекта​​ и тесное сотрудничество с глобальными заводами первого уровня, мы обеспечиваем глобальное реагирование в течение 48 часов и услуги экстренной замены в течение 72 часов для поддержания непрерывности производства. В дальнейшем мы расширим нашу ​​локализованную сеть обслуживания​​, чтобы предоставлять более эффективные и безопасные решения для транспортировки пластин для мировой полупроводниковой промышленности посредством технологических итераций и синергии экосистемы.