Что такое кварцевое фокусное кольцо?

             
Кварцевое фокусное кольцо является критическим компонентом в полупроводниковых плазменных процессах офорта.Он обычно изготавливается из высокочистого расплавленного кварца и играет незаменимую роль в производстве чиповЕго основная функция заключается в том, чтобы ограничивать и направлять плазму, чтобы обеспечить высокоравномерную производительность гравировки по всей поверхности пластины.

 

Основные функции:
Почему он необходим для процессов гравюры?

Во время плазменного офорта кварцевые фокусные кольца выполняют следующие ключевые задачи:

• Плазма-фокусировка для однородного гравированияБлагодаря специальному дизайну, он поддерживает стабильность плазмы и равномерность даже на краю пластины.он устраняет "эффект края" и обеспечивает высокопостоянные скорости огранки и критические габариты (CD) на всей поверхности пластины.
   
• Защита дорогостоящего оборудования и продление срока службы компонентов: кольцо фокусировки действует как расходный защитный щит, который несет прямую плазменную бомбардировку, защищая основные точные компоненты, такие как электростатический цикл (ESC), от повреждения.
   
• Предотвращение загрязнения и сохранение урожайности пластин: Кварц сам по себе не содержит вредных примеси, таких как металлы, и медленно выделяет кислород при воздействии плазмы.Этот кислород вступает в реакцию с полимерами, полученными при гравировке, и образует легко накачиваемые газы, такие как СО и СО2, эффективно предотвращая загрязнение на задней стороне пластины.

       
Jingge Semiconductor Кварцевые фокусные кольца, кварцевые пластинки, оптические кварцевые листы и т.д.

Анализ материальных преимуществ

      Существует несколько вариантов материалов для фокусных колец, но кварц выделяется своей уникальной комбинацией свойств:

• Сверхвысокая чистотаКварц полупроводникового класса обычно достигает чистоты 99,998% или выше, минимизируя загрязнение металлическими примесями в пластинках, что является основой надежной производительности чипа.
• Высокая устойчивость к химической коррозии: Кварц выдерживает эрозию высоко коррозионными газами (например, CF4, SF6 и Cl2) и атакой плазмы.
• Отличная тепловая устойчивость: Кварц может выдерживать температуры свыше 1000°C и имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения, обеспечивающий точную размерную стабильность в процессах высокой температуры.
• Благоприятные диэлектрические свойства: Его диэлектрическая постоянная (около 3,8) поддерживает желаемую производительность фокусировки плазмы.

Производство и рынок:
Точная обработка и глобальное снабжение

• Металлическая обработка: Производство кварцевых фокусных колец требует чрезвычайно высокой точности, что требует передовых технологий обработки и полировки с помощью 5-осевой ЦНС.Ключевые допустимые размеры могут контролироваться в пределах ±00,02 мм или даже ±0,001 мм, с шероховатостью поверхности (Ra) менее 0,002 мкм.
• Основные производители: Ключевые игроки на мировом рынке включают международных лидеров, таких как Entegris, CoorsTek, Heraeus Quartz и Tosoh Quartz, а также китайские предприятия, такие как Dunyuan Juxin,Zhenbao Technology и Jingge SemiconductorПродукты, как правило, совместимы с основными платформами гравировки из прикладных материалов (AMAT), такими как серии MXP + и Centura.