logo
ПРОДУКТЫ
Новости
Дом >

Китай SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD новости компании

Микро светодиоды на основе самоподдерживающегося GaN

микросветодиоды на основе самоподдерживающегося GaN   Китайские исследователи изучают преимущества использования самоподдерживающегося (FS) нитрида галлия (GaN) в качестве субстрата для миниатюрных светодиодов (LED) [Guobin Wang et al, Optics Express,v32В частности,команда разработала оптимизированную многоквантовую структуру (MQW) нитрида индия и галлия (InGaN), которая лучше работает при более низкой плотности тока впрыска (около 10A / см2) и более низких напряжениях привода, подходящий для передовых микродисплеев, используемых в установках дополненной реальности (AR) и виртуальной реальности (VR), в этом случаеБолее высокие затраты на самообеспечение ГАН можно компенсировать повышением эффективности.   Исследователи связаны с Университетом науки и технологии Китая, Сучжоуским институтом нанотехнологий и нанобионики, Институтом исследований полупроводников третьего поколения Цзянсу,Нанкинский университет, Университет Сучжоу и Suzhou Nawei Technology Co., LTD.Исследовательская группа полагает, что этот микро-LED, как ожидается, будет использоваться в дисплеях с сверхвысокой плотностью пикселей (PPI) субмикрон или нанометровой конфигурации LED.   Исследователи сравнили производительность микродиодных ламп, изготовленных на самоподдерживающейся модели GaN и модели GaN / сапфир (рисунок 1).     Рисунок 1: а) эпитаксиальная схема микро-LED; б) эпитаксиальная пленка микро-LED; в) структура микро-LED; г) изображения поперечного сечения электронного микроскопа передачи (TEM).     Эпитаксиальная структура металоорганического химического отложения паров (MOCVD) включает диффузионный/расширительный слой носителя галлиевого нитрида алюминия (n-AlGaN) N-типа 100nm, контактный слой n-GaN 2μm,Непреднамеренный допинг (u-) GaN с высокой мобильностью электронов на 100 нм с низким уровнем силана, 20x(2.5nm/2.5nm) In0.05Ga0.95/GaN слой высвобождения деформации (SRL), 6x(2.5nm/10nm) синий InGaN/GaN многоквантовый колодец, 8x(1.5nm/1.5nm) p-AlGaN/GaN электронный барьерный слой (EBL),80 нм слой инъекции P-гана в отверстие и 2 нм сильно допированный контактный слой p+-GaN.   Эти материалы были изготовлены из светодиодов диаметром 10 мкм и с прозрачным контактом оксида индия и олова (ITO) и пассивацией боковой стенки диоксида кремния (SiO2). Чипы, изготовленные на гетероэпитаксиальном GaN/сапфировом шаблоне, показывают большую разницу в производительности.интенсивность и пиковая длина волны сильно варьируются в зависимости от местоположения в чипеПри плотности тока 10 А/см2 чип на сапфире показал смещение длины волны 6,8 нм между центром и краем.одна только на 76% сильнее другой..   Для чипов, изготовленных на самоподдерживающемся GaN, изменение длины волны уменьшается до 2,6 нм, а прочность двух различных чипов более схожа.Исследователи объясняют изменение однородности длины волны различными состояниями напряжения в однородных и гетерогенных структурах: Спектроскопия Рамана показывает остаточные напряжения 0,023 и 0,535 ГПа соответственно.   Катодная люминесценция показывает, что плотность вывихов гетероэпитаксиальных плит составляет около 108/см2, в то время как гомеоэпитаксиальных плит - около 105/см2."Низкая плотность дислокации может минимизировать путь утечки и улучшить световую эффективность, - прокомментировали исследователи. По сравнению с гетероэпитаксиальными чипами, хотя обратный ток утечки гомеоэпитаксиального светодиода уменьшается, точный отклик под предварительным уклоном также уменьшается.Чипы на самоподдерживающихся ГАН имеют более высокую внешнюю квантовую эффективность (EQE) При сравнении фотолюминесценции при 10K и 300K (комнатная температура),Внутренняя квантовая эффективность (IQE) двух чипов оценивается в 730,2% и 60,8% соответственно.   Исходя из работы по моделированию, the researchers designed and implemented an optimized epitaxial structure on a self-supporting GaN that improves the external quantum efficiency and voltage performance of the microdisplay at lower injection current densities (Figure 2)В частности, гомоэпитаксии достигается более тонкий барьер и четкий интерфейс, тогда как те же структуры, достигнутые в гетероэпитаксии показывают более размытый профиль при исследовании TEM.       Рисунок 2: Изображения электронного микроскопа передачи области многоквантовой скважины: а) оригинальные и оптимизированные структуры гомоэпитаксии и б) оптимизированные структуры, реализованные в гетерогенной эпитаксии.c) Внешняя квантовая эффективность однородного эпитаксиального микро-LED-чипа, d) кривая тока и напряжения однородного эпитаксиального микро-LED-чипа.     В гетероэпитаксиальных светодиодах обнаружено, что V-образные ямы оказывают благотворное влияние на производительность.как улучшенное впрыск отверстия в световой области, отчасти из-за барьера истончения в многоквантовой структуре скважины вокруг V-образных ям.   Когда плотность впрыска 10 А/см2, внешняя квантовая эффективность однородного эпитаксиального светодиода увеличивается с 7,9% до 14,8%.Напряжение, необходимое для привода тока 10μA, было уменьшено с 2.78 В до 2.55 В.   ZMSH Раствор для вафли GaN Растущий спрос на высокоскоростные, высокотемпературные и высокомощные возможности обработки заставил полупроводниковую промышленность пересмотреть выбор материалов, используемых в качестве полупроводников. Поскольку появляются различные более быстрые и меньшие вычислительные устройства, использование кремния затрудняет поддержание закона Мура.Так что полупроводниковый вафля GaN выращивается для нужд. Из-за его уникальных характеристик (высокий максимальный ток, высокое разрывное напряжение и высокая частота переключения), галлиевой нитрид GaN- Да.Системы на основе GaN обладают более высокой энергоэффективностью, тем самым уменьшая потери энергии, переключают на более высокой частоте, тем самым уменьшая размер и вес.

2024

10/14

Си Си Новая Возможность!

Си Си Новая Возможность!   В последнее время карбид кремния открыл новый сценарий применения на автомобильном рынке -экстрактор электрической силы (ePTO), которые могут широко использоваться на рынках грузовиков, коммерческих транспортных средств, строительных машин, сельскохозяйственных машин и строительного оборудования.   Зачем использовать карбид кремния для электроэкстрактора? Какие автомобильные компании приняли его?     Карбид кремния в электрический силовой экстрактор Mercedes-Benz, Hydro Leduc, и т. д. был принят   Как мы все знаем,новые энергетические транспортные средстваявляются наибольшим направлением применения полупроводников карбида кремния, сценарии применения включают электронное управление основным приводом, OBC/DC-DC, компрессоры кондиционирования воздуха,компрессоры воздуха для топливных транспортных средств, PTC, реле и т.д., а также сценарии применения транспортных средств все еще расширяются.   Карбид кремния использовался во многих автомобильных компаниях для сбора электрической силы (ePTO).   Согласно пресс-релизу 7 октября от CISSOID, их модуль управления двигателем SiC используется производителем гидравлических компонентовHydro LeducМодульный ePTO, который будет использоваться для управления гидравлическими системами новых энергетических грузовиков и других внедорожных транспортных средств.     Новый ePTO Hydro Leduc использует76 кВтДвигатель без щетки, ME230, и 9-поршневый пистоновый гидравлический насос серии XRe. Управляющий двигателем использует трехфазный силовой модуль 1200V/340-550A Кремниевого карбида CISSOID.Подходит для применения до 650 Vdc.   Этот кремниево-углеродный ePTO представляет собой высокопроизводительное, эффективное электрогидравлическое решение с преимуществами, включающими низкий уровень шума, высокую эффективность, низкую пульсацию и высокую скорость в режиме самозагрузки.   Фактически, уже в мае 2022 года ZF объединила усилия с Mercedes-Benz Trucks, чтобы предоставить электромобили последнего системой сбора электроэнергии на основе кремниевого углерода eWorX.   Система Zf eWorX оснащена электродвигателем мощностью 50 кВт, инвертором и блоком управления с специальным программным обеспечением, а также системой охлаждения и гидравлическим насосом.     Принцип работы движущей силы и анализ рыночного пространства электрической силовой комбайны   ПОВЕТНОЕ ПОЗВОРО (PTO) является важной частью грузовых автомобилей, коммерческих транспортных средств, автомобилей-комнатов, строительной техники, сельскохозяйственной техники и строительной техники.в основном используется для привода гидравлической системы и других вспомогательных функций специального оборудования, таких как:краны, мусоровозы и бетон смесители.   В настоящее время более 70% ПТО на рынке работают надвигатели внутреннего сгоранияВозьмем гидравлический экскаватор в качестве примера, его процесс работы заключается в том, чтобы управлять гидравлическим насосом через двигатель, гидравлический насос будет производить жидкость высокого давления,и затем управлять гидравлический цилиндр, чтобы соответствующее исполнительное устройство работало.   Схема силового экстрактора двигателя внутреннего сгорания     Как мы все знаем, традиционные грузовики, недорожное мобильное оборудование (строительные машины, сельскохозяйственные машины, лесные машины, промышленные транспортные средства и т.д.) потребляют много топлива.загрязнение окружающей среды и другие проблемы, Министерство транспорта, Министерство экологической окружающей среды и другие страны мира ввели строгие правила для продвиженияэлектрификацияДля удовлетворения требований энергосбережения, сокращения выбросов и экологического развития.   Это также делает силовой приемник также перейдет от режима управления двигателями внутреннего сгорания к электрификации,и использование электрического силового приемника на батареях (ePTO) станет основным.   В настоящее время на рынке существует две схемы извлечения электрической энергии (ePTO):чисто электрические и гибридные, разница заключается в том, что первая - это внешняя зарядная куча для зарядки батареи, вторая - для зарядки батареи через генерацию энергии двигателя внутреннего сгорания,Главный принцип - через инвертор преобразовать постоянный ток батареи в переменный ток, чтобы привести в движение ePTO, чтобы гидравлическая система работала.     Преимущества ePTO заключаются в том, что он соответствует тенденции охраны окружающей среды и электрификации, энергоэффективности, более тихой и гибкой конструкции.     Согласно анализу профессора Сюй Бинга из университета Чжэцзян в 2022 году,Нынешняя недорожная мобильная машина является простой заменой электрической системы привода двигателя внутреннего сгорания, и гидравлические компоненты и системы не изменились, и технические преимущества двигателя не были в полной мере использованы, в эпоху электрификации,Конфигурация гидравлической системы недорожных мобильных машин будет иметь много инноваций и изменений.   С развитием электрических технологий для специальных транспортных средств, таких как санитарные грузовики, самосвалы, пожарные машины общественной безопасности, грузовики для смешивания строительных материалов и грузовики для опасных химикатов,ePTO станет новым рынком голубого океана в будущемПо словам Леандро Жирарди, вице-президента по вторичному рынку Eaton в Северной Америке, в будущем темпы роста электромобилей для специальных целей составят от 35 до 50 процентов в год.Bosch считает, что между 2023 и 2025 годами, уровень проникновения электромобилей строительных машин составит около 25%.     ZMSH Раствор для пластинки SiC 2 дюйма 4 дюйма 6 дюймов 8 дюймов Силиконовый карбид Вафель СикСубстраты Исследование дубль Прайм-Грейд   Карбид кремния (SiC), также известный как карборунд, является полупроводником, содержащим кремний и углерод с химической формулой SiC.SiC используется в полупроводниковых электронных устройствах, которые работают при высоких температурах или высоких напряженияхSiC также является одним из важных компонентов светодиодов, он является популярным субстратом для выращивания GaN-устройств, а также служит распределителем тепла в высокопроизводительных светодиодах.  

2024

10/14

Силиконовый карбид AR очки дебют!

26 сентября, согласно официальному микросообщению "Вест-Лейк" by West Lake University and its incubation enterprise Mu De Wei Na led the research of the "extreme thin and thin silicon carbide AR diffraction optical waveguide" scientific and technological achievements in September 24Это выглядит так же, как и обычные солнцезащитные очки, но по сравнению с традиционными очками AR, они тоньше и легче,с единичным весом всего 20,7 грамма и толщина всего 0,55 мм.                Согласно сообщениям, в традиционных оптических очках с дифракцией,накопление тепла, генерируемое проекционной оптической машиной и сенсорным и вычислительным блоком, заставит устройство войти в защиту от перегрева.В отличие от традиционного метода рассеивания тепла на зеркальной ноге, эти кристаллические очки AR используют природу самого материала,с помощью специального дизайна, инновационно использовать линзы для рассеивания тепла, значительно повышая эффективность рассеивания тепла.     Кроме того, для достижения полноцветного дисплея традиционным AR-очкам обычно необходимо использовать несколько слоев высокообрывного стекла для провокации света,что приводит к толстым и неудобным линзамСиликоновому карбиду AR очки требуют только волновода, чтобы представить полноцветную картину с большим полем зрения.   Стоит отметить, что Meta выпустила свои первые настоящие очки AR, Orion, 25 сентября. Очки Orion AR имеют стильный черный дизайн рамы, вес всего 98 граммов,и имеют линзы из карбида кремния и микро-дисплей Micro LED.     Анализ TrendForce Consulting, оптический дизайн очков Orion AR с использованием дифракционного оптического волновода из карбида кремния, в сочетании с технологией LEDoS JBD,может достигать до 70 градусов поля зрения (FOV).        

2024

09/29

Технология выращивания SiC с одним кристаллом

Технология выращивания SiC с одним кристаллом     При нормальном давлении нет жидкой фазы SiC со стехиометрическим соотношением Si   равен 1:1Следовательно, метод, использующий расплавление в качестве сырья, обычно используемый для роста кристаллов кремния, не может быть применен к росту кристаллов SiC в сыпучих объемах.Физический паровой транспорт) используется.В этом процессе SiC порошок используется в качестве сырья, помещается в графитный кристалл вместе с SiC субстратом в качестве семенного кристалла,и устанавливается температурный градиент, причем сторона порошка SiC немного горячееЗатем общая температура сохраняется в пределах от 2000 до 2500 °C. Метод сублимации с использованием кристаллов семян SiC теперь называется модифицированным методом Lely.который широко используется для производства SiC-субстратов.   На рисунке 1 показана схематическая схема роста кристаллов SiC с использованием модифицированного метода Лелли.,Доставляемые атомы перемещаются по поверхности семенного кристалла и встраиваются в позиции, где формируется кристалл,тем самым выращивая сырьевые одиночные кристаллыИспользуется инертная атмосфера, обычно аргон низкого давления, и при допинге n-типа вводится азот.   Метод сублимации в настоящее время широко используется для приготовления однокристаллов SiC.в сравнении с методом, использующим расплавленную жидкость в качестве сырья для роста однокристаллов SiХотя качество постепенно улучшается, кристаллы все еще содержат много вывихов и других проблем. В дополнение к методу сублимации,Были также предприняты попытки изготовления крупных одиночных кристаллов SiC с использованием таких методов, как рост жидкой фазы через раствор или высокотемпературное химическое отложение паров (CVD)На рисунке 2 показана схематическая схема метода роста жидкой фазы для одиночных кристаллов SiC. Во-первых, в отношении метода роста в жидкой фазе растворимость углерода в кремниевом растворителе очень низкая.К растворителю добавляют такие элементы, как Ti и Cr, чтобы увеличить растворимость углерода.Углерод поступает из графитового тигеля, а на поверхности семенного кристалла растет однокристалл SiC при немного более низкой температуре.Температура роста обычно устанавливается между 1500 °C и 2000 °CБыло сообщено, что скорость роста может достигать нескольких сотен микрометров в час. Преимущество метода роста в жидкой фазе для SiC заключается в том, что при выращивании кристаллов в направлении [0001] вывихы, простирающиеся в направлении [0001], могут быть согнуты в вертикальном направлении,Выносит их из кристалла через боковые стены.Винтовые вывихы, простирающиеся вдоль [0001] направления, плотно присутствуют в существующих кристаллах SiC и являются источником утечки тока в устройствахПлотность винтовых вывихов значительно снижается в кристаллах SiC, приготовленных с помощью метода роста жидкой фазы. Проблемы роста раствора включают увеличение скорости роста, увеличение длины выращенных кристаллов и улучшение морфологии поверхности кристаллов. Высокотемпературное химическое отложение паров (CVD) выращивания однокристаллов SiC предполагает использование SiH4 в качестве источника кремния и C3H8 в качестве источника углерода в атмосфере водорода низкого давления,с ростом, происходящим на поверхности SiC-субстрата, поддерживаемого при высокой температуре (обычно выше 2000°C). сырые газы, введенные в печь для роста, распадаются на молекулы, такие как SiC2 и Si2C, в зоне разложения, окруженной горячей стенкой, и они транспортируются на поверхность кристалла семян,где выращивается однокристаллический СиК. Преимущества высокотемпературного метода CVD включают возможность использования высокочистых сырых газов, и путем управления скоростью потока газа соотношение C/Si в газовой фазе может быть точно контролировано,который является важным параметром роста, который влияет на плотность дефектаПри массовом росте SiC может быть достигнут относительно быстрый темп роста, превышающий 1 мм/ч.Недостатки высокотемпературного метода CVD включают значительное накопление побочных продуктов реакции внутри растительной печи и выхлопных труб.Кроме того, газофазные реакции генерируют частицы в газовом потоке, которые могут стать примесями в кристалле. Высокотемпературный метод CVD обладает большим потенциалом в качестве метода производства высококачественных сыпучих кристаллов SiC.более высокая производительность, и более низкая плотность дислокации по сравнению с методом сублимации. Кроме того, метод RAF (Repeated A-Face) описывается как метод, основанный на сублимации, который производит крупные кристаллы SiC с меньшим количеством дефектов.кристалл семян, разрезанный перпендикулярно направлению [0001], взят из кристалла, выращенного в направлении [0001]Затем другой кристалл семена разрезают перпендикулярно этому новому направлению роста, и выращиваются дальнейшие кристаллы SiC. Повторив этот цикл, мы получаем более высокую концентрацию SiC, и мы получаем более высокую концентрацию SiC.вывихы выметаются из кристалла, что приводит к массовым кристаллам SiC с меньшим количеством дефектов.Плотность дислокации кристаллов SiC, подготовленных методом RAF, сообщается на 1-2 порядка меньше, чем у стандартных кристаллов SiC..       ZMSH Раствор для пластинки SiC     2 дюйма 4 дюйма 6 дюймов 8 дюймов Кремниевые карбидные вафли Сик Вафли Фаллоимитаторы Исследования Первоклассный   SiC-вафры представляют собой полупроводниковый материал, обладающий отличными электрическими и тепловыми свойствами.В дополнение к высокой теплостойкости, он также имеет очень высокий уровень твердости.  

2024

09/20

Прорыв в производстве дефектных красных микроэлектрических ламп AlGaInP достигнут с помощью влажной химической гравировки

Технология влажной гравировки Vertical готова к массовому производству красных микро-LED AlGaInP   Американская компания Vertical объявила, что ее технология влажного гравирования готова к массовому производству красных микро-LED AlGaInP.Основным препятствием в коммерциализации высокоразрешительных микро-LED-дисплеев является уменьшение размера светодиодных чипов при сохранении эффективности, причем красные микросветодиоды особенно подвержены снижению эффективности по сравнению с их синими и зелеными аналогами.   Основной причиной этого снижения эффективности являются дефекты боковых стен, возникающие при сухом гравировании на основе плазмы.Поэтому усилия были в основном сосредоточены на смягчении ущерба с помощью методов послесухого гравирования, таких как химическая обработка.Однако эти методы обеспечивают только частичное восстановление и менее эффективны для крошечных чипов, необходимых для дисплеев с высоким разрешением,где дефекты боковой стенки могут проникать глубоко в чип, иногда превышает свой размер.   Из-за этого поиск "бездефектных" методов гравирования продолжается уже много лет.но его изотропные характеристики могут привести к нежелательному снижению цен, что делает его непригодным для гравировки небольших чипов, таких как микро-LED.   Тем не менее, Verticle, базирующаяся в Сан-Франциско фирма, специализирующаяся на светодиодных и дисплейных технологиях, недавно сделала значительный прорыв.Компания разработала бездефектный процесс влажного химического офорта для красных микро-LED AlGaInP, специально ориентированные на проблемы гравировки на поверхности.   Генеральный директор Майк Ю заявил, что Vertical готова масштабировать эту технологию влажного гравирования для массового производства,ускорение коммерческого внедрения микро-LED-дисплеев для применения от больших экранов до дисплеев ближнего зрения.     Сравнение дефектов боковых стен в влажном и сухом гравюре   Для лучшего понимания влияния дефектов боковых стен Vertical сравнила мокрые и сухие красные микро-LED AlGaInP с использованием анализа катодолюминесценции (CL).электронный луч генерирует пары электронных отверстий внутри поверхности микро-LEDНапротив, нерадиативная рекомбинация в поврежденных областях приводит к незначительному или вообще отсутствию люминесценции. Изображения и спектры CL показывают резкий контраст между двумя методами офорта.с площадью выброса более чем в три раза больше, чем у светодиодов с сухим нарезкой, по словам Майка Ю.   Наиболее примечательно, что глубина проникновения дефекта боковой стенки для сухогравированных микро-LED составляет около 7 мкм, в то время как глубина для мокрогравированных микро-LED почти отсутствует, измеряя менее 0,2 мкм.,Эффективная площадь поверхности красных микро-ЛЭД, выгравированных на сухом фоне, составляет всего 28% от площади микро-ЛЭД, выгравированных на влажном фоне.дефекты боковой стенки присутствующие в мокрогравированных красных микро светодиодах AlGaInP.         В ZMSH вы можете получить больше с помощью наших премиальных продуктов. доступны в 2, 4 и 6 дюймов,специально предназначенные для применения в газовых датчикахКроме того, мы предоставляем высококачественные эпивафры InP FP с инпи-субстратами типа n/p, доступные в 2, 3 и 4 дюймах, с толщиной от 350 до 650 мкм,идеально подходит для применения в оптической сетиНаши продукты предназначены для удовлетворения точных требований передовых технологий, обеспечивая надежную производительность и варианты настройки.     DFB вафель N-InP субстрат эпивафель активный слой InGaAlAs/InGaAsP 2 4 6 дюймов для датчика газа   Пластинка с распределенной обратной связью (DFB) на субстрате индийного фосфида n-типа (N-InP) является критическим материалом, используемым в производстве высокопроизводительных лазерных диодов DFB.Эти лазеры необходимы для приложений, требующих однорежимногоDFB лазеры обычно работают в диапазоне волн 1,3 мкм и 1,55 мкм.которые оптимальны для волоконно-оптической связи из-за низкой потери передачи в оптических волокнах.   (Кликните на картинку для получения дополнительной информации)   InP FP эпивафер InP субстрат n/p типа 2 3 4 дюйма толщиной 350-650um для работы оптической сети   Индиевый фосфид (InP) Epiwafer является ключевым материалом, используемым в передовых оптоэлектронных устройствах, особенно лазерных диодах Fabry-Perot (FP).InP Epiwafers состоят из эпитаксиально выращенных слоев на InP субстрате., предназначенные для высокопроизводительных приложений в телекоммуникациях, центрах обработки данных и технологиях зондирования. (Кликните на картинку для получения дополнительной информации)        

2024

09/06

Что такое SiC вафля? Что такое SiC полупроводник? В чем разница между Si и SiC вафлями?

  Поскольку спрос на высокоэффективную, мощную и высокотемпературную электронику продолжает расти,полупроводниковая промышленность смотрит за рамки традиционных материалов, таких как кремний (Si) для удовлетворения этих потребностейОдин из наиболее перспективных материалов, ведущих к этой инновации, это карбид кремния (SiC).чем полупроводники SiC отличаются от традиционных на основе кремния, и существенные преимущества, которые они предлагают.     Что такое SiC Wafer?     Силикокарбидный пластинка - это тонкий кусочек карбида кремния, соединение, сделанное из атомов кремния и углерода.что делает его идеальным материалом для различных электронных приложенийВ отличие от традиционных кремниевых пластин,Вафли с Си-Сипредназначены для работы в условиях высокой мощности, высокой температуры и высокой частоты.которые быстро набирают популярность в электротехнике и других высокопроизводительных приложениях.         Что такое SiC полупроводник? Полупроводник SiC - это электронный компонент, изготовленный с использованием карбида кремния в качестве основного материала.   Полупроводники имеют важное значение в современной электронике, поскольку они позволяют контролировать и манипулировать электрическими токами.высокая теплопроводностьЭти характеристики делают полупроводники SiC идеальными для использования в силовых устройствах, таких как силовые транзисторы, диоды и MOSFET, где эффективность,надежность, и производительность критически важны.     В чем разница между Si и SiC вафлями?     В то время как кремниевые (Si) пластинки были основой полупроводниковой промышленности на протяжении десятилетий, пластинки из карбида кремния (SiC) быстро становятся переломным моментом для определенных приложений.Вот подробное сравнение:   1.Материальные свойства:   Кремний (Si): Кремний является широко используемым полупроводниковым материалом из-за его широкой доступности, зрелой технологии изготовления и хороших электрических свойств.12 eV) ограничивает его производительность при высоких температурах и высоком напряжении. Силиконовый карбид (SiC): SiC имеет гораздо более широкий диапазон (около 3,26 eV), что позволяет ему работать при гораздо более высоких температурах и напряжениях, чем кремний.Это делает SiC превосходным выбором для приложений, требующих эффективного преобразования энергии и рассеивания тепла.   2.Теплопроводность:   Кремний (Si): Теплопроводность кремния умеренная, что может привести к перегреву в высокопроизводительных приложениях, если не используются обширные системы охлаждения. Силиконовый карбид (SiC)Силиконовый цилиндр имеет теплопроводность почти в три раза выше, чем кремний, что означает, что он может гораздо эффективнее рассеивать тепло.сделать SiC устройства более компактными и надежными в экстремальных условиях.   3.Сила разрыва электрического поля:   Кремний (Si): Электрическое поле распада кремния ниже, что ограничивает его способность обрабатывать высоковольтные операции без риска развала. Силиконовый карбид (SiC): Устойчивость к разрушению электрического поля SiC примерно в десять раз выше, чем у кремния. Это позволяет устройствам на основе SiC обрабатывать гораздо более высокие напряжения, что имеет решающее значение для силовой электроники.   4.Эффективность и потеря мощности:   Кремний (Si): в то время как кремниевые устройства эффективны в стандартных условиях, их производительность значительно снижается в условиях высокой частоты, высокого напряжения и высокой температуры,что приводит к увеличению потерь мощности. Силиконовый карбид (SiC): полупроводники SiC сохраняют высокую эффективность в более широком диапазоне условий, особенно в высокочастотных и высокомощных приложениях.Это приводит к снижению потерь энергии и улучшению общей производительности системы.     Особенность Си (Силиконовые) вафли Си Си (карбид кремния) вафли Энергия пробела 1.12 eV 3.26 eV Теплопроводность ~ 150 Вт/мК ~490 W/mK Сила разрыва электрического поля ~0,3 МВ/см ~3 МВ/см Максимальная рабочая температура До 150°C До 600°C Энергоэффективность Более низкая эффективность при высокой мощности и температуре Более высокая эффективность при высокой мощности и температуре Стоимость производства Более низкая стоимость благодаря зрелой технологии Более высокая стоимость из-за более сложного производственного процесса Заявления Общая электроника, интегральные схемы, микрочипы Мощная электроника, высокочастотные и высокотемпературные приложения Твердость материала Меньше жестко, легче изнашиваться Очень твердые, устойчивые к износу и химическому повреждению Рассеивание тепла Умеренный, требует систем охлаждения для высокой мощности Высокий, уменьшает потребность в обширном охлаждении       Будущее технологии полупроводников   Переход от кремния к карбиду кремния - это не просто постепенное улучшение, это значительный скачок вперед для полупроводниковой промышленности.Возобновляемая энергия, а промышленная автоматизация требует более надежной и эффективной электроники, преимущества SiC становятся все более очевидными.   Например, в автомобильной промышленности,Рост количества электромобилей (EV) создал спрос на более эффективную энергетическую электронику, которая может справиться с требованиями к высокой мощности электромоторов и систем зарядки.Полупроводники SiC в настоящее время интегрируются в инверторы и зарядные устройства для повышения эффективности и сокращения потерь энергии, в конечном итоге расширяя диапазон электромобилей. Аналогичным образом, в применении возобновляемых источников энергии, таких как солнечные инверторы и ветряные турбины, устройства SiC помогают повысить эффективность преобразования энергии, уменьшить потребности в охлаждении,и более низкие общие затраты на системуЭто не только делает возобновляемую энергию более жизнеспособной, но и более экономичной.       Заключение Появление пластин и полупроводников SiC знаменует собой новую эру в электронике, где более высокая эффективность, производительность и долговечность являются первостепенными.и по мере снижения затрат на производство материалов SiC, мы можем ожидать еще более широкого внедрения этой технологии в различных отраслях. Карбид кремния готов произвести революцию в полупроводниковой промышленности, предоставляя решения проблем, с которыми традиционный кремний просто не может справиться.С его превосходными свойствами и растущей базой примененияSiC представляет будущее высокопроизводительной электроники.     Сопутствующие рекомендации     8-дюймовый SiC Wafer Силиконовый карбид Wafer Prime Dummy Research Grade 500um 350 Um ((нажмите на картинку для большего)   Карбид кремния (SiC) изначально использовался в промышленности в качестве абразивного материала, а позже приобрел значение в технологии светодиодов.его исключительные физические свойства привели к его широкому применению в различных полупроводниковых приложениях в различных отраслях промышленностиС приближением ограничений закона Мура, многие компании полупроводников обращаются к SiC как к материалу будущего из-за его выдающихся характеристик.      

2024

08/28

В чем разница между сапфировыми и кремниевыми пластинами?

Что такое сапфировый вафли? Сапфир - это тонкий кусочек кристаллического сапфира, материала, широко известного своей исключительной твердостью и прозрачностью.является кристаллической формой корундаСапфировые пластинки широко используются в электронике и оптоэлектронике, особенно в приложениях, требующих долговечного, прозрачного и прозрачного использования.высокопроизводительный материал подложки.   Выставка сапфировых пластин Вафли из сапфира¢ информационный лист   Вафли с тандардом (на заказ)2-дюймовый C-плоскость сапфировый пластинка SSP/DSP3-дюймовый сапфировый пластинчатый пластинчатый пластинчатый пластинчатый пластинчатый SSP/DSP4-дюймовый сапфировый пластинчатый пластинчатый пластинчик SSP/DSP6-дюймовый сапфировый пластинчатый пластинчатый пластинчатый пластинчатый пластинчатый пластинчатый пластинчик Специальный разрезПластинка из сапфира (1120)Сапфировая пластина R-plane (1102)М-плоскость (1010) сапфирная пластинаН-плоскость (1123) сапфирная пластинаС-ось с отсечением 0,5°~4°, в сторону оси A или M-осьДругие индивидуальные ориентации Размер настройки10*10 мм сапфировые пластинки20*20 мм сапфировые пластинкиУльтратонкий (100um) сапфирный пластинка8-дюймовый сапфирный вафли Схемообразованный сапфирный субстрат (PSS)2-дюймовый ПСС C-плана4-дюймовый ПСС C-плана 2 дюйма. DSP C-AXIS 0.1mm/0.175mm/0.2mm/0.3mm/0.4mm/0.5mm/1.0mmt SSP С-ось 0.2/0.43mm(DSP&SSP) Ось A/ось M/ось R 0.43mm Три дюйма. DSP/SSP C-ось 0,43 мм/0,5 мм 4 дюйма dsp c-ось 0.4mm/0.5mm/1.0mmssp c-ось 0.5mm/0.65mm/1.0mmt 6 дюймов ssp c-ось 1,0mm/1,3mmm dsp c-ось 0,65mm/0,8mm/1,0mmt   Спецификация для субстратов   Ориентация Р-плоскость, С-плоскость, А-плоскость, М-плоскость или определенная ориентация Ориентация Толерантность ± 0,1° Диаметр 2, 3, 4, 5, 6, 8 или другие Толерантность диаметра 0.1 мм для 2 дюймов, 0.2 мм для 3 дюймов, 0.3 мм для 4 дюймов, 0.5 мм для 6 дюймов Толщина 00,08 мм,00,1 мм,0.175 мм,0.25 мм, 0,33 мм, 0,43 мм, 0,65 мм, 1 мм или другие; Толерантность толщины 5 мкм Первичная плоская длина 16.0±1.0 мм для 2 дюймов, 22.0±1.0 мм для 3 дюймов, 30.0±1.5 мм для 4 дюймов, 47.5/50.0±2.0 мм для 6 дюймов Первичная плоская ориентация А-плоскость (1 1-2 0) ± 0,2°; С-плоскость (0 0-0 1) ± 0,2°, Проектируемая ось С 45 +/- 2° TTV ≤7μm для 2 дюймов, ≤10μm для 3 дюймов, ≤15μm для 4 дюймов, ≤25μm для 6 дюймов ВЫБОК ≤7μm для 2 дюймов, ≤10μm для 3 дюймов, ≤15μm для 4 дюймов, ≤25μm для 6 дюймов Передняя поверхность Эпиполированный (Ra< 0,3 нм для плоскости C, 0,5 нм для других направлений) Задняя поверхность Мелко измельченный (Ra=0,6μm~1,4μm) или полированный с помощью эпиполита Опаковка Упаковано в чистых помещениях класса 100   Как делают сапфировые вафли?   Сапфировые пластинки изготавливаются с помощью процесса, называемого методом Цокральски (или методом Киропулоса), где из расплавленного оксида алюминия выращиваются большие однокристаллические шары сапфира.Затем эти шарики нарезают в пластины желаемой толщины с помощью бриллиантовой проволочной пилыПосле нарезания пластины полируются, чтобы получить гладкую, зеркальную поверхность.   Ключевые свойства сапфировых пластин   Твердость: Сапфир занимает 9-е место по шкале твердости минералов Моха, что делает его вторым самым твердым материалом после алмаза.Благодаря своей исключительной твердости сапфир не поддается царапинам и повреждениям. Тепловая устойчивость: сапфир выдерживает высокие температуры с температурой плавления около 2030 ° C. Это делает его идеальным для применения при высоких температурах, когда другие материалы могут потерпеть неудачу. Оптическая прозрачность: сапфир очень прозрачен для широкого диапазона длин волн, включая видимый, ультрафиолетовый (УФ) и инфракрасный (ИФ) свет.Это свойство делает сапфировые пластинки идеальными для использования в оптических устройствах, окна и датчики. Электрическая изоляция: сапфир является отличным электрическим изолятором с высокой диэлектрической постоянной.такие как в некоторых типах микроэлектроники. Устойчивость к химическим веществам: Сапфир химически инертен и очень устойчив к коррозии кислот, оснований и других химических веществ, что делает его долговечным в суровой среде.     Применение сапфировых пластин   Светоизлучающие диоды (LED): сапфировые пластинки обычно используются в качестве подложки при производстве светодиодов из нитрида галлия (GaN), особенно синих и белых светодиодов.Структура решетки сапфира хорошо совпадает с GaN, способствуя эффективной эмиссии света. Полупроводниковые устройства: в дополнение к светодиодам, сапфировые пластинки используются в радиочастотных (RF) устройствах, силовой электронике,и другие полупроводниковые приложения, где требуется прочный и изоляционный субстрат. Оптические окна и линзы: прозрачность и твердость сапфира делают его отличным материалом для оптических окон, линз и крышек датчиков камер,часто используется в суровых условиях, таких как аэрокосмическая и оборонная промышленность. Носящиеся устройства и электроника: сапфир используется в качестве прочного покрытия для носящих устройств, экранов смартфонов и другой потребительской электроники благодаря своей устойчивости к царапинам и оптической прозрачности. Сапфировые пластинки против кремниевых пластин Хотя сапфировые пластинки имеют отличительные преимущества в определенных приложениях, их часто сравнивают с кремниевыми пластинками, которые являются наиболее распространенным материалом субстрата в полупроводниковой промышленности.   Кремниевые пластинки Кремниевые пластины - это тонкие ломтики кристаллического кремния, полупроводникового материала.транзисторыКремниевые пластинки известны своей электрической проводимостью и способностью к допированию с примесями для повышения их полупроводниковых свойств.     Электрическая проводимость: в отличие от сапфира, кремний является полупроводником, что означает, что он может проводить электричество при определенных условиях.Это свойство делает кремний идеальным для изготовления электронных устройств, таких как транзисторы, диоды и интерфейсы. Стоимость: производство кремниевых пластин обычно дешевле, чем сапфировых.и процессы для производства кремниевых пластинок более устоявшиеся и эффективные. Теплопроводность: Кремний обладает хорошей теплопроводностью, что важно для рассеивания тепла в электронных устройствах.он не так теплоустойчив, как сапфир в условиях экстремальной температуры. Гибкость допинга: Кремний можно легко допировать такими элементами, как бор или фосфор, чтобы изменить его электрические свойства.который является ключевым фактором его широкого использования в полупроводниковой промышленности. Сравнение: сапфировые пластинки против кремниевых пластин Недвижимость Сапфировая вафель Кремниевые пластинки Материал Кристаллический оксид алюминия (Al2O3) Кристаллический кремний (Si) Твердость 9 по шкале Моха (крайне твердо) 60,5 по шкале Моха Тепловая устойчивость Чрезвычайно высокий (точка плавления ~ 2,030°C) Умеренный (точка плавления ~ 1,410°C) Электрические свойства Изолятор (непроводящий) Полупроводники (проводящие) Оптическая прозрачность Прозрачный для УФ, видимого и инфракрасного света Непрозрачный Стоимость Выше Ниже Устойчивость к химическим веществам Отлично. Умеренный Заявления Светодиоды, радиочастотные устройства, оптические окна, носимые устройства Ключевые интегралы, транзисторы, солнечные элементы Какой выбрать? Выбор между сапфировыми и кремниевыми пластинами во многом зависит от конкретного применения:     Сапфировые пластинки: идеально подходят для применений, требующих чрезвычайной долговечности, высокой температурной устойчивости, оптической прозрачности и электрической изоляции.особенно в светодиодах, и в средах, где механическая прочность и химическая устойчивость необходимы. Кремниевые пластинки: оптимальный выбор для применения в полупроводниках из-за их полупроводниковых свойств, экономичности,и хорошо зарекомендовавших себя производственных процессов в электронике промышленностиКремний является основой интегральных схем и других электронных устройств. Будущее сапфировых пластин С ростом спроса на более прочные и высокопроизводительные материалы в электронике, оптоэлектронике и носимых устройствах, ожидается, что сапфировые пластинки будут играть все более важную роль.Их уникальное сочетание твердости, тепловая стабильность и прозрачность делают их подходящими для передовых технологий, включая дисплеи следующего поколения, передовые полупроводниковые устройства и надежные оптические датчики. Поскольку стоимость производства сапфировых пластин снижается и производственные процессы улучшаются, мы можем ожидать их более широкого внедрения в различных отраслях промышленности,Дальнейшее укрепление их места как критического материала в современных технологиях.    

2024

08/26

Зачем нам делать эпитаксию на подложках кремниевых пластин?

В производственной цепочке полупроводников, особенно в производственной цепочке полупроводников третьего поколения (широкополосный полупроводник), важно различать субстрат и эпитаксиальный слой.   Какое значение имеет эпитаксиальный слой?   Во-первых, субстрат представляет собой пластинку из полупроводникового однокристаллического материала, которая может использоваться в качестве прямого ввода в процессе производства пластинки для производства полупроводниковых устройств,или может быть обработана эпитаксиальным процессом для получения эпитаксиальных пластинВ процессе производства чипов, пластинка разрезается на несколько независимых форм,и после упаковкиСубстрат - это основание внизу чипа, и сложная структура чипа построена на этой основе. Во-вторых, эпитаксия относится к росту нового однокристаллического слоя на тонко обработанном однокристаллическом субстрате.Этот новый однокристалл может быть таким же, как материал субстрата или другой материалПоскольку новый однокристаллический слой растет в соответствии с кристаллической фазой субстрата, он называется эпитаксиальным слоем.Его толщина обычно несколько микроновЕсли взять кремний в качестве примера, то значение эпитаксиального роста кремния заключается в том, чтобы вырастить один кристаллический слой с хорошей кристаллической структурой с той же кристаллической ориентацией, различной резистивностью,и толщины на кремниевом однокристаллическом подложке со специфической кристаллической ориентацией. Субстрат после эпитаксиального роста называется эпитаксиальным пластинкой, и его структура может быть выражена как эпитаксиальный слой плюс субстрат.Производственный процесс устройства осуществляется на эпитаксиальном слое.. Эпитаксию можно разделить на гомоэпитаксиальную и гетероэпитаксиальную.Важность гомоэпитаксиала заключается в улучшении стабильности и надежности продукта.Хотя гомоэпитаксиальный слой сделан из того же материала, что и субстрат, чистота материала и однородность поверхности вафлы могут быть улучшены посредством эпитаксиальной обработки.По сравнению с полированной пластиной с механической полировкой, поверхность подложки, обработанная эпитаксиальной обработкой, имеет более высокую плоскость, более высокую чистоту, меньше микродефектов и меньше поверхностных примеси, поэтому сопротивляемость более равномерна,и легче контролировать дефекты, такие как поверхностные частицы, свертывания и вывихы.   Epitaxy не только улучшает производительность продукта, но и обеспечивает стабильность и надежность продукта.эпитаксиальный рост на подложке пластины является важным этапом процесса. 1Улучшить качество кристалла: дефекты и примеси изначального субстрата могут быть улучшены за счет роста эпитаксиального слоя.В процессе производства подложка для пластинки может иметь определенные дефекты и примеси.Рост эпитаксиального слоя может создать высококачественный, низкодефектный и с концентрацией примесей однокристаллический кремниевый слой на подложке.что имеет решающее значение для последующего производства устройства. 2. Единая кристаллическая структура: эпитаксиальный рост может обеспечить единообразие кристаллической структуры и уменьшить влияние границ зерна и дефектов в материале субстрата,тем самым улучшается кристаллическое качество всей пластины. 3Улучшить электрическую производительность и оптимизировать характеристики устройства: путем выращивания эпитаксиального слоя на подложке,концентрацию допинга и тип кремния можно точно контролировать для оптимизации электрической производительности устройства;Например, допинг эпитаксиального слоя может точно регулировать пороговое напряжение и другие электрические параметры MOSFET. 4. Уменьшить утечку тока: высококачественные эпитаксиальные слои имеют более низкую плотность дефекта, что помогает уменьшить утечку тока в устройстве, тем самым повышая производительность и надежность устройства. 5. Поддержка расширенных узлов процесса и уменьшение размера функций: в более мелких узлах процесса (таких как 7 нм и 5 нм), размер функций устройства продолжает уменьшаться,требующие более изысканных и качественных материаловТехнология эпитаксиального роста может удовлетворить эти требования и поддерживать производство высокопроизводительных и высокоплотных интегральных схем. 6Улучшить напряжение разрыва: эпитаксиальный слой может быть спроектирован с более высоким напряжением разрыва, что имеет решающее значение для производства высокомощных и высоковольтных устройств.в силовых устройствах, эпитаксиальный слой может увеличить разрывное напряжение устройства и увеличить безопасный диапазон работы. 7. совместимость процесса и многослойная структура: технология эпитаксиального роста позволяет выращивать многослойные структуры на подложке,и различные слои могут иметь различные концентрации допинга и типыЭто очень полезно для производства сложных CMOS устройств и достижения трехмерной интеграции. 8Совместимость: The epitaxial growth process is highly compatible with existing CMOS manufacturing processes and can be easily integrated into existing manufacturing processes without significantly modifying the process lines.

2024

08/26

Могут ли сапфировые защитные трубы заменить алюминиевые и керамические оболочки в условиях высокой температуры и давления?

Защитные трубки термопары из сапфира и оболочки термопары из сапфира могут выдерживать высокие температуры до 2000 градусов по Цельсию и давления до 3000 бар.что делает их очень подходящими для суровой среды, такой как химическая обработка, нефтехимической нефтепереработки и стекольной промышленности. По сравнению с трубками защиты термопары из алюминия и керамическими трубками защиты термопары, трубки защиты термопары из сапфира и оболочки обеспечивают лучшую стабильность материала.Они подходят для использования в высокотемпературных областях, таких как реакторы сжигания тяжелой нефти и металлургия., что делает их идеальными заменителями труб защиты термопарой из алюминия. Дополнительная информация:https://www.galliumnitridewafer.com/ Защитные трубки с сапфировой термопарой заменили керамические трубки, которые не могут противостоять диффузии металла, например, при производстве свинцового стекла,где Pt термопарные оболочки растают в стекло, что требует воспроизводства. В настоящее время сапфировые защитные трубки и оболочки термопары успешно используются в следующих областях: Производство полупроводников: Алюминиевые сапфировые оболочки с чистотой до 99,995% гарантируют процесс производства, свободный от загрязнения. Производство в коррозионной среде: Концентрированные или кипящие минеральные кислоты, высокотемпературные реакционные оксиды. Стекло и керамика: Замена Пт-зондов для обеспечения процессов, свободных от загрязнения. Производство инструментов: микроволновые перевариватели, высокотемпературные реакционные печи, лабораторные испытательные приборы и т.д. Оптические приложенияУльтрафиолетовые лампы, автомобильные фонари. Реакторы на тяжелую нефть: используется в нефтехимической и других областях. Энергетический сектор: Для удаления NOx и других загрязняющих веществ. Термопары из сапфира, состоящие из защитного оболочки из алюминия, закрытой снаружи, и внутренней капилляры термопары, также называемые термопарами из сапфира.Из-за оптической прозрачности и непроницаемости однокристаллического материала сапфировых оболочек, эти термопары демонстрируют отличную высокотемпературную устойчивость и способность защищать воздействие температуры окружающей среды на термопару. Сапфировые оболочки могут выдерживать температуру до 2000 градусов по Цельсию и давление до 3000 бар, что делает их чрезвычайно подходящими для суровых условий, таких как химическая обработка, химические,нефтепереработка, и стекольной промышленности.Сапфировые оболочки обеспечивают превосходную устойчивость материала по сравнению с керамическими трубками из алюминия и используются во многих высокотемпературных областях, таких как реакторы сжигания тяжелой нефти и металлургия. Сапфировые оболочки уже заменили керамические трубки, которые не могут противостоять диффузии металла, например, в производстве свинцового стекла, где оболочки термопары Pt растают в стекло,что приводит к необходимости воспроизведения.      

2024

05/30

Почему существуют пластины из карбида кремния с плоскостью С и с плоскостью кремния?

SiC - это двоичное соединение, образованное элементом Si и элементом C в соотношении 1:1, то есть 50% кремния (Si) и 50% углерода (C), а его базовой структурной единицей является тетраэдр SI-C.   Например, атомы Si имеют большой диаметр, эквивалентный яблоку, а атомы C имеют маленький диаметр, эквивалентный апельсину,и равное количество апельсинов и яблок сгруппированы вместе, чтобы сформировать кристалл SiC. SiC - это двоичное соединение, в котором расстояние между атомами связи Si-Si составляет 3,89 A, как понять это расстояние?В настоящее время самая отличная литографическая машина на рынке имеет точность литографии 3 нм, что соответствует расстоянию 30 А, и точность литографии в 8 раз превышает атомное расстояние. Энергия связи Си-Си составляет 310 кДж/моль, так что вы можете понять, что энергия связи - это сила, которая разрывает эти два атома, и чем больше энергия связи,Чем больше силы, необходимой для разделения. Атомное расстояние между Si-C связями составляет 1,89 A, а размер энергии связи составляет 447 кДж/моль. По сравнению с традиционными полупроводниковыми материалами на основе кремния, можно увидеть из энергии связи, что химические свойства полупроводниковых материалов на основе кремния более стабильны. Можно увидеть, что любой атом С связан с четырьмя ближайшими атомами Си, и наоборот, любой атом Си связан с четырьмя ближайшими атомами С. Структура кристалла SiC также может быть описана методом слойной структуры.образующие сплоченный слой атомов С, в то время как атомы Si также занимают шесть мест сетки на одной плоскости и образуют сплоченный слой атомов Si. Каждый C в плотно упакованном слое атомов C соединен с ближайшим Si и наоборот.Каждые два соседних слоя атомов С и Си образуют диатомический слой углерода-кремния. Устройство и комбинация кристаллов SiC очень богаты, и было обнаружено более 200 типов кристаллов SiC. Это похоже на Тетрис, хотя самые маленькие блоки одинаковы, но когда блоки соединяются, они образуют разные формы. Пространственная структура SiC немного сложнее, чем Tetris, и ее самая маленькая единица меняется от маленького квадрата к маленькому тетраэдру, тетраэдру, состоящему из атомов C и Si. Для различения различных кристаллических форм SiC в настоящее время в основном используется метод Рамсделла для маркировки.Метод использует комбинацию букв и цифр для представления различных кристаллических форм SiC. На оборотной стороне размещены буквы, указывающие тип клетки кристалла.C означает Кубический (первая буква английского кубического), H означает Шестиугольный (первая буква английского), R означает Ромб (первая буква английского ромба).Числа помещаются в первую очередь, чтобы представить количество слоев диатомического слоя Si-C базовой повторяющейся единицы. В дополнение к 2H-SiC и 3C-SiC, другие кристаллические формы можно рассматривать как смесь сфалэритовой и уртзитовой структуры, то есть сплоченной шестиугольной структуры. C-плоскость относится к кристаллической поверхности (000-1) пластины карбида кремния, то есть поверхности, на которой кристалл разрезан в отрицательном направлении оси C,и завершающий атом поверхности - это атом углерода. Кремниевая поверхность относится к кристаллической поверхности (0001) пластины карбида кремния, то есть поверхности, на которой кристалл разрезан в положительном направлении оси С,и завершающий атом поверхности - это атом кремния. Разница между плоскостью C и плоскостью кремния повлияет на физические и электрические свойства пластины карбида кремния, такие как теплопроводность, электрическая проводимость, мобильность носителя,плотность межповерхностного состояния и так далее. Выбор C-плоскости и кремниевой плоскости также повлияет на процесс производства и производительность устройств с карбидом кремния, таких как эпитаксиальный рост, имплантация ионов, окисление, осаждение металла,контактное сопротивление, и т.д.                                

2024

05/24

1 2 3 4 5