Введение

ZMSH постоянно находится на переднем крае инноваций в области карбида кремния (SiC), известных своей высокой производительностью6H-SiCи4H-SiCВ ответ на растущий спрос на более мощные материалы в высокомощных и высокочастотных приложениях,ZMSH расширила свое предложение продуктов с введением4H/6H-P 3C-N SiCЭтот новый продукт представляет собой значительный технологический скачок, объединяя традиционные4H/6H политип SiCсубстраты с инновационными3C-N SiCфильмы, предлагающие новый уровень производительности и эффективности для устройств следующего поколения.

Существующий обзор продукции: 6H-SiC и 4H-SiC субстраты

Ключевые особенности

• Структура кристалла: как 6H-SiC, так и 4H-SiC обладают шестиугольной кристаллической структурой.В то время как 4H-SiC обладает более высокой мобильностью электронов и более широким диапазоном 3.2 eV, что делает его подходящим для высокочастотных, высокомощных применений.
• Электрическая проводимость: Доступен как в вариантах N-типа, так и в полуизоляционных вариантах, что позволяет гибко подходить к различным потребностям устройства.
• Теплопроводность: Эти субстраты обладают теплопроводностью от 3,2 до 4,9 Вт/см·К, что необходимо для рассеивания тепла в условиях высокой температуры.
• Механическая прочность: Субстраты имеют твердость Моха 9.2, обеспечивая прочность и долговечность для использования в требовательных приложениях.
• Типичное применение: обычно используется в силовой электронике, высокочастотных устройствах и средах, требующих устойчивости к высоким температурам и излучению.

ПроблемыПока6H-SiCи4H-SiCОни имеют определенные ограничения в конкретных сценариях высокой мощности, высокой температуры и высокой частоты.и более узкий диапазон ограничивают их эффективность для приложений следующего поколенияРынок все больше требует материалов с улучшенными характеристиками и меньшим количеством дефектов, чтобы обеспечить более высокую эффективность работы.

Инновации в новых продуктах: 4H/6H-P 3C-N SiC субстраты

Чтобы преодолеть ограничения своих более ранних SiC-субстратов, ZMSH разработала4H/6H-P 3C-N SiCЭтот новый продукт используетэпитаксиальный ростиз 3C-N SiC пленок на4H/6H политипные субстраты, обеспечивая улучшенные электронные и механические свойства.

Ключевые технологические достижения

• Политип и интеграция фильма:3C-SiCФильмы выращиваются эпитаксиально с использованиемХимическое отложение паров (CVD)наСубстраты 4H/6H, значительно уменьшая несоответствие решетки и плотность дефектов, что приводит к улучшению целостности материала.
• Улучшенная мобильность электронов:3C-SiCФильм предлагает превосходную мобильность электронов по сравнению с традиционнымСубстраты 4H/6H, что делает его идеальным для высокочастотных приложений.
• Улучшенное разрывное напряжение: Испытания показывают, что новый субстрат предлагает значительно более высокое разрывное напряжение, что делает его более подходящим для энергоемких приложений.
• Уменьшение дефектов: Оптимизированные методы роста минимизируют дефекты и вывих кристаллов, обеспечивая долгосрочную стабильность в сложных условиях.
• Оптоэлектронные возможности: 3C-SiC пленка также вводит уникальные оптоэлектронные функции, особенно полезные для ультрафиолетовых детекторов и различных других оптоэлектронных приложений.

Преимущества нового 4H/6H-P 3C-N SiC субстрата

• Более высокая мобильность электронов и прочность распада:3C-N SiCПленка обеспечивает превосходную стабильность и эффективность в высокомощных устройствах высокой частоты, что приводит к более длительному эксплуатационному сроку и более высокой производительности.
• Улучшенная теплопроводность и стабильность: Благодаря усовершенствованным возможностям рассеивания тепла и стабильности при высоких температурах (свыше 1000°C), субстрат хорошо подходит для применения при высоких температурах.
• Расширенные оптоэлектронные приложения: оптоэлектронные свойства субстрата расширяют его область применения, что делает его идеальным для ультрафиолетовых датчиков и других передовых оптоэлектронных устройств.
• Увеличение химической долговечности: Новый субстрат обладает большей устойчивостью к химической коррозии и окислению, что жизненно важно для использования в суровых промышленных условиях.

Области применения

В4H/6H-P 3C-N SiCСубстрат идеально подходит для широкого спектра передовых приложений благодаря своим передовым электрическим, тепловым и оптоэлектронным свойствам:

• Электротехника: Его превосходное разрывное напряжение и тепловое управление делают его предпочтительным подложкой для высокомощных устройств, таких как:MOSFET,IGBT, иДиоды Schottky.
• РЧ и микроволновые устройства: высокая мобильность электронов обеспечивает исключительную производительность на высоких частотахRFимикроволновые устройства.
• Ультрафиолетовые детекторы и оптоэлектроника: Оптоэлектронные свойства3C-SiCсделать его особенно подходящим дляУльтрафиолетовое обнаружениеи различные оптико-электронные датчики.

Заключение и рекомендация по продукту

Запуск ZMSH4H/6H-P 3C-N SiCкристаллический субстрат знаменует собой значительный технологический прогресс в материалах для SiC. Этот инновационный продукт, с его повышенной мобильностью электронов, уменьшенной плотностью дефектов,и улучшенное разрывное напряжение, хорошо подходит для удовлетворения растущих потребностей рынков мощности, частоты и оптоэлектроники.Его долгосрочная стабильность в экстремальных условиях также делает его очень надежным выбором для широкого спектра приложений.

ZMSH поощряет своих клиентов использовать4H/6H-P 3C-N SiCдля подложки, чтобы использовать преимущества ее передовых возможностей.Этот продукт не только отвечает строгим требованиям устройств следующего поколения, но и помогает клиентам получить конкурентное преимущество на быстро развивающемся рынке.

Рекомендация продукта

4 дюйма 3C N-тип SiC субстрат Кремниевый карбид субстрат толщиной 350um Prime Grade Dummy Grade

- поддерживать индивидуальные с дизайном рисунков

- кубический кристалл (3C SiC), изготовленный из монокристалла SiC

- Высокая твердость, твердость Моха достигает 9.2Второй только после бриллианта.

- отличная теплопроводность, подходящая для высокотемпературных условий.

- широкие пропускные способы, подходящие для высокочастотных, мощных электронных устройств.