logo
Наиболее популярные продукты
Введение компании
China SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD
China SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD

SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD

КО. ТОРГОВЛЕЙ ШАНХАЯ ИЗВЕСТНОЕ, ЛТД. размещает в городе Шанхая, который самый лучший город Китая, и наша фабрика основана в городе Укси в 2014. Мы специализируем в обработке разнообразие материалов в вафли, субстраты и кустиомизед оптически стекло парц.компоненц широко используемые в электронике, оптике, оптической электронике и много других полей. Мы также работали близко с много отечественных и международные университеты, научно-исследовательские институты и компании, обеспечивают подгонянные ...
новости компании
последние новости компании о Технологии очистки пластин и обмен данными
2025/09/03
Технологии очистки пластин и обмен данными       Технология очистки пластин является критически важным процессом в производстве полупроводников, поскольку даже загрязнения на атомном уровне могут повлиять на производительность или выход годных изделий. Процесс очистки обычно включает в себя несколько этапов для удаления различных типов загрязнений, таких как органические остатки, металлы, частицы и естественные оксиды.             1. Цель очистки пластин: Удаление органических загрязнений (например, фоторезиста, отпечатков пальцев) Удаление металлических примесей (например, Fe, Cu, Ni) Удаление частиц (например, пыли, фрагментов кремния) Удаление естественных оксидов (например, слоев SiO₂, образующихся при воздействии воздуха)     2. Строгая очистка пластин обеспечивает: Высокий выход годных изделий и производительность устройств Снижение дефектов и процента брака пластин Улучшенное качество и однородность поверхности   Перед тем, как подвергнуть кремниевые пластины интенсивным процессам очистки, необходимо оценить существующее загрязнение поверхности. Понимание типов, диапазонов размеров и распределения частиц на поверхности пластины помогает оптимизировать химический состав очистки и ввод механической энергии.             3. Передовые аналитические методы оценки загрязнений:     3.1 Анализ частиц на поверхности   Специальные счетчики частиц используют рассеяние лазерного излучения или компьютерное зрение для подсчета, определения размера и отображения поверхностного мусора. Интенсивность рассеяния света тесно коррелирует с размерами частиц, начиная с десятков нанометров, и плотностями до 0,1 частицы/см². Тщательная калибровка с использованием стандартов обеспечивает надежную работу оборудования. Сканирование поверхности пластины до и после очистки четко подтверждает эффективность удаления, способствуя улучшению процесса при необходимости.     3.2 Элементный анализ поверхности   Поверхностно-чувствительные аналитические методы идентифицируют элементный состав загрязнений. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS или ESCA) исследует химические состояния элементов на поверхности, облучая пластину рентгеновскими лучами и измеряя испускаемые электроны. Спектроскопия оптического излучения в тлеющем разряде (GD-OES) последовательно распыляет ультратонкие поверхностные слои, в то время как эмиссионная спектроскопия определяет элементный состав по глубине. Этот анализ состава с пределами обнаружения до долей миллиона направляет оптимальную химию очистки.     3.3 Морфологический анализ загрязнений   Сканирующая электронная микроскопия обеспечивает детальное изображение поверхностных загрязнений, выявляя тенденции химической и механической адгезии на основе формы и соотношения площади/периметра. Атомно-силовая микроскопия отображает топологические профили в наномасштабе, количественно определяя высоту частиц и механические свойства. Фокусированный ионный пучок в сочетании с просвечивающей электронной микроскопией предлагает внутренние виды захороненных загрязнений.             4. Другие передовые методы очистки   Хотя очистка растворителем является отличным первым шагом для удаления органических загрязнений с кремниевых пластин, иногда требуется дополнительная передовая очистка для удаления неорганических частиц, следов металлов и ионных остатков.   Несколько методов обеспечивают необходимую глубокую очистку, сводя к минимуму повреждение поверхности или потерю материала для прецизионных кремниевых пластин:     4.1 Очистка RCA Разработанная лабораториями RCA, очистка RCA использует специализированный двухванный процесс для удаления загрязнений на основе полярности.   Последовательное погружение: SC-1 (Standard Clean-1) – Удаление органики SC-2 (Standard Clean-2) – Удаление кислотной неорганики   Обеспечивает исключительную сбалансированную очистку пластин, защищая при этом пластину.             4.2 Очистка озоном Включает погружение пластин в насыщенную озоном деионизированную воду Мощное удаление органики без причинения вреда Оставляет ультрачистую, химически пассивированную поверхность             4.3 Мегазвуковая очистка Использует высокочастотную ультразвуковую энергию в сочетании с чистящими растворами Кавитационные пузырьки вытесняют загрязнения Проникает в сложные геометрии Специальные системы позволяют избежать повреждения хрупких пластин             4.4 Криогенная очистка Быстрое охлаждение до криогенных температур делает загрязнения хрупкими Последующее ополаскивание или мягкое протирание щеткой приводит к отслаиванию частиц Предотвращает прилипание примесей к поверхности или их диффузию в нее Очень быстрый, сухой процесс без добавления химикатов               Заключение   Как ваш надежный партнер, ZMSH не только поставляет и продает ведущее в мире оборудование для производства полупроводников, но и обладает передовыми возможностями обработки и очистки пластин. Мы глубоко понимаем строгие требования к чистоте поверхности в передовых процессах и, опираясь на профессиональную команду инженеров и передовые решения, стремимся повысить выход годных изделий, обеспечить производительность и ускорить инновации для наших клиентов. От основного оборудования до критических процессов мы обеспечиваем исключительную техническую поддержку и обслуживание на протяжении всего процесса, позиционируя себя как незаменимого партнера в вашей цепочке создания стоимости.                
Подробнее
последние новости компании о Ключевые сырьевые материалы в полупроводниковом производстве: виды подложки для пластин
2025/08/20
Основные сырьевые материалы в производстве полупроводников: типы подложек для пластин             Подложки для пластин служат физическими носителями полупроводниковых приборов, а их материальные свойства напрямую влияют на производительность, стоимость и область применения устройств. Ниже приведены основные типы подложек для пластин и их соответствующие преимущества и недостатки:     1. Кремний (Si)   Доля рынка: Доминирует на более чем 95% мирового рынка полупроводников.   Керамическая подложка из оксида алюминия ZMSH Низкая стоимость: Обильное сырье (диоксид кремния) и зрелые производственные процессы обеспечивают значительную экономию за счет масштаба. Высокая технологическая совместимость: Высокоразвитая технология CMOS поддерживает наноразмерное производство (например, узлы 3 нм). Отличное качество кристаллов: Способность производить крупногабаритные (основные 12-дюймовые, 18-дюймовые в разработке) монокристаллы с низким уровнем дефектов. Стабильные механические свойства: Легко резать, полировать и обрабатывать. Недостатки: Узкая запрещенная зона (1,12 эВ): Высокий ток утечки при повышенных температурах, что ограничивает эффективность в силовых приборах. Непрямая запрещенная зона: Чрезвычайно низкая эффективность светоизлучения, не подходит для оптоэлектронных устройств (например, светодиодов, лазеров). Ограниченная подвижность электронов: Уступает по высокочастотным характеристикам полупроводникам с соединениями.   Кремниевые пластины ZMSH       2. Арсенид галлия (GaAs)   Применение: Высокочастотные радиочастотные устройства (5G/6G), оптоэлектронные устройства (лазеры, солнечные элементы).   Керамическая подложка из оксида алюминия ZMSH Высокая подвижность электронов (в 5–6 раз выше, чем у кремния): Идеально подходит для высокоскоростных, высокочастотных приложений (миллиметровые волны). Прямая запрещенная зона (1,42 эВ): Эффективное преобразование фотоэлектричества, составляющее основу инфракрасных лазеров и светодиодов. Термостойкость/радиационная стойкость: Подходит для аэрокосмической и высокотемпературной среды.   SOI (кремний на изоляторе): Высокая стоимость: Дефицитный материал со сложным выращиванием кристаллов (склонен к дислокациям); размеры пластин небольшие (основные 6 дюймов). Механическая хрупкость: Склонен к фрагментации, что приводит к низкому выходу продукции. Токсичность: Требуется строгий контроль при работе с мышьяком.   Пластины GaAs от ZMSH       3. Карбид кремния (SiC)   Применение: Высокотемпературные/высоковольтные силовые приборы (инверторы электромобилей, зарядные сваи), аэрокосмос.   Керамическая подложка из оксида алюминия ZMSH Широкая запрещенная зона (3,26 эВ): Выдерживает высокое напряжение (прочность на пробой в 10 раз выше, чем у кремния) и работает при температуре >200°C. Высокая теплопроводность (в 3 раза выше, чем у кремния): Эффективный отвод тепла повышает удельную мощность системы. Низкие потери при переключении: Повышает эффективность преобразования энергии.   SOI (кремний на изоляторе): Сложная подготовка подложки: Медленный рост кристаллов (более 1 недели) и сложный контроль дефектов (микротрубки, дислокации); стоимость в 5–10 раз выше, чем у кремния. Небольшие размеры пластин: Основные 4–6 дюймов; разработка 8 дюймов продолжается. Сложная обработка: Высокая твердость (9,5 по шкале Мооса) делает резку и полировку трудоемкими.   Пластины SiC от ZMSH       4. Нитрид галлия (GaN)   Применение: Высокочастотные силовые приборы (быстрые зарядные устройства, базовые станции 5G), синие светодиоды/лазеры.   Керамическая подложка из оксида алюминия ZMSH Сверхвысокая подвижность электронов + широкая запрещенная зона (3,4 эВ): Сочетает в себе высокочастотные (>100 ГГц) и высоковольтные характеристики. Низкое сопротивление включения: Снижает энергопотребление устройства. Совместимость с гетерогенной эпитаксией: Часто выращивается на подложках из кремния, сапфира или SiC для снижения затрат. Недостатки: Сложность выращивания объемных кристаллов: Основной метод основан на гетерогенной эпитаксии с дефектами, вызванными несоответствием решетки. Высокая стоимость: Самонесущие подложки из GaN дороги (2-дюймовые пластины могут стоить тысячи долларов). Проблемы надежности: Эффект коллапса тока требует оптимизации.   Пластины GaN от ZMSH       5. Фосфид индия (InP)   Применение: Высокоскоростная оптоэлектроника (лазеры, детекторы), терагерцовые устройства.   Керамическая подложка из оксида алюминия ZMSH Сверхвысокая подвижность электронов: Поддерживает высокочастотную работу >100 ГГц (превосходит GaAs). Прямая запрещенная зона с соответствием длины волны: Критически важна для волоконно-оптической связи 1,3–1,55 мкм.   SOI (кремний на изоляторе): Хрупкость и высокая стоимость: Цены на подложки более чем в 100 раз выше, чем на кремний; размеры пластин небольшие (4–6 дюймов). Применение: Подложки для отвода тепла для мощных модулей.4-6 дюймовИзоляция + высокая теплопроводность (AlN: 170–230 Вт/м·К): Идеально подходит для упаковки высокой плотности.       Преимущества:   Низкая стоимость: Дешевле, чем подложки SiC/GaN.   Керамическая подложка из оксида алюминия ZMSH Прозрачность: Подходит для светодиодов вертикальной структуры. Недостатки: Несоответствие решетки с GaN (>13%): Требуются буферные слои для уменьшения эпитаксиальных дефектов.   SOI (кремний на изоляторе): Пластины из сапфира от ZMSH 7. Оксид алюминия/керамические подложки (например, AlN, BeO)   Применение: Подложки для отвода тепла для мощных модулей.Преимущества:Изоляция + высокая теплопроводность (AlN: 170–230 Вт/м·К): Идеально подходит для упаковки высокой плотности.       Недостатки:   Не монокристалл: Нельзя напрямую выращивать устройства; используется только в качестве подложек для упаковки.   Керамическая подложка из оксида алюминия ZMSH 8. Специализированные подложки   SOI (кремний на изоляторе): Структура: Кремний/диоксид кремния/кремниевый сэндвич.           Преимущества: Уменьшает паразитарную емкость, радиационную стойкость и ток утечки (используется в RF, MEMS).   Недостатки: На 30–50% дороже, чем объемный кремний. Кварц (SiO₂):Используется в фотомасках, MEMS; термостойкий, но хрупкий. Алмаз: Наивысшая теплопроводность (>2000 Вт/м·К) находится в разработке для экстремального отвода тепла. Подложка SOI, кварцевая пластина, алмазная подложка ZMSHСводная сравнительная таблица ПодложкаЭнергия запрещенной зоны (эВ)   Подвижность электронов (см²/Вс)       Теплопроводность (Вт/мК)     Основной размер Основные области применения Стоимость Si 1,12 1500 150 12 дюймов Логические/запоминающие чипы Самая низкая GaAs 1,42 8500 55 4-6 дюймов РЧ/оптоэлектронные устройства Высокая SiC 9,9 (изолятор) 900 490 6 дюймов (НИОКР 8 дюймов) Силовые приборы/электромобили Чрезвычайно высокая GaN 3,4 2000 40 4-6 дюймов (гетероэпитаксия) Быстрая зарядка/РЧ/Светодиоды Высокая (гетероэпитаксия и т. д.) InP 1,35 5400 70 4-6 дюймов Оптическая связь/терагерцовая Чрезвычайно высокая Сапфир 9,9 (изолятор) - 40 4-8 дюймов Подложка для светодиодов Низкая Ключевые факторы выбора Требования к производительности: Высокочастотные приложения предпочитают GaAs/InP; высоковольтные/высокотемпературные приложения требуют SiC; оптоэлектроника предпочитает GaAs/InP/GaN. Ограничения по стоимости: Потребительская электроника отдает предпочтение кремнию; высокотехнологичные области принимают премиальные цены на SiC/GaN. Сложность интеграции: Совместимость с кремниевой CMOS остается непревзойденной.     Терморегулирование: Силовые приборы высокой мощности отдают предпочтение SiC или GaN на основе алмаза.   Зрелость цепочки поставок: Кремний > Сапфир > GaAs > SiC > GaN > InP. Будущие тенденции Гетерогенная интеграция (например, GaN на кремнии, SiC на GaN) уравновесит производительность и стоимость, стимулируя достижения в области 5G, электромобилей и квантовых вычислений. Услуги ZMSH     Являясь комплексным поставщиком комплексных услуг по производству и торговле полупроводниковыми материалами, мы предоставляем решения для цепочки поставок продукции полного цикла — от подложек для пластин (Si/GaAs/SiC/GaN и т. д.) до фоторезистов и материалов для полировки CMP.   Используя собственные производственные базы и глобальную сеть поставок, мы сочетаем возможности быстрого реагирования с профессиональной технической поддержкой, чтобы помочь клиентам в достижении стабильных операций в цепочке поставок и взаимовыгодных результатов технологических инноваций.          
Подробнее
последние новости компании о Устройства для лазерного резки большого формата: основные технологии для будущего производства 8-дюймовых SiC-вафель
2025/08/13
Устройства для лазерного резки большого формата: основные технологии для будущего производства 8-дюймовых SiC-вафель       Силиконовый карбид (SiC) представляет собой не только критически важную технологию для национальной безопасности обороны, но и ключевое направление для глобальной автомобильной и энергетической промышленности.В качестве начального этапа обработки для монокристаллических материалов SiC, качество нарезки вафли в основном определяет эффективность последующей тонкости и полировки, а обычные процессы нарезки, как правило, создают трещины поверхности/подповерхности,увеличение скорости разрыва и затрат на производствоСледовательно, контроль повреждений поверхностных трещин имеет решающее значение для продвижения технологии производства SiC-устройств.     Оборудование ZMSH для разжижения пластин     Нынешнее вырезка слитков SiC сталкивается с двумя основными проблемами:   Высокий уровень потерь материала при традиционной многопроводной пиле.Из-за чрезвычайной твердости и ломкости SiC, процессы резки / шлифования / полировки сталкиваются с серьезными проблемами с искривлением и трещинами.Данные Infineon показывают, что традиционная диамантовая проволока пила достигает только 50% использования материала во время нарезания, с общими потерями, достигающими 75% (∼ 250 мкм на пластину) после полировки. Продолжительные циклы обработки и низкая пропускная способность.Международная статистика производства показывает, что 10 000 пластинок требуют ∼ 273 дней непрерывной работы.Удовлетворение спроса на рынке требует массового развертывания проволочных пил, в то время как страдает от высокой шероховатости поверхности и сильного загрязнения (сплав отходов), сточных вод).   Чтобы решить эти проблемы, команда профессора Сянцзяна Сюй в Нанкинском университете разработала оборудование для лазерного резки большого формата, которое значительно снижает потерю материала и повышает производительность.Для 20-миллиметрового слитка SiCКроме того, лазерно-резанные пластины обладают превосходными геометрическими характеристиками, что позволяет увеличить мощность до 200 мкм.         К конкурентным преимуществам данного проекта относятся: Завершенная разработка прототипа для полуизоляции вафли SiC размером 4-6 дюймов Достигнуто нарезка 6 "проводящих слитков SiC Продолжающаяся проверка пробивки слитков 8" Обладает 50%-ным сокращением времени обработки, более высокой годовой пропускной способностью и потерями материала
Подробнее