Сапфировые окна: Высокочистый монокристаллический оксид алюминия α-Al₂O₃ Полностью настраиваемые, высокопрозрачные

Обзор продукции

Сапфировые окна представляют собой высокоточные оптические элементы передачи, изготовленные из высокочистых монокристаллических слитков алюминиевого диоксида (α-Al2O3), выращенных методом Киропулоса.с помощью нескольких процессов, включая ориентированное нарезаниеВ качестве основного материала для высококачественных промышленных витрин, он наследует все внутренние преимущества однокристаллического сапфира,сочетает в себе отличную оптическую однородность, ультравысокотемпературная стойкость, превосходная механическая твердость, сильная плазменная коррозионная стойкость и выдающаяся электрическая изоляция.Он служит высококлассной модернизационной альтернативой традиционным материалам витрины, таким как расплавленный кремний и боросиликатное стекло.

Продукт обеспечивает высокую проницаемость в широкой полосе от ультрафиолетового до среднего инфракрасного диапазона и поддерживает полномерную настройку.множественные кристаллические ориентации и различные оптические покрытия для удовлетворения оптических потребностейОн широко используется в полупроводниковом производстве, высокотемпературной промышленности, лазерной оптике, химических исследованиях,аэрокосмическая и национальная оборона, и может работать стабильно в течение длительного времени в экстремальных условиях, таких как плазменная бомбардировка, высокая температура и давление, сильная коррозия и высокий вакуум.

Основные технические характеристики

1Система однокристаллического материала высокой чистоты
Изготовленный из высокочистого монокристалла глинозема 4N5 (≥99,995%) выращенного методом Киропулоса, все окно представляет собой полный монокристалл без границ зерна, пор и сегрегации примесей.С низкой плотностью внутренних дефектов и равномерным напряжением, его оптическая консистенция намного превосходит поликристаллические керамические и стеклянные материалы, обеспечивая долгосрочную стабильность производительности в экстремальных условиях работы.

2.Оптические характеристики высокой передачи в широком спектре

    Он обеспечивает отличную проницаемость в широкой полосе от 190 нм ультрафиолетового излучения до 4,5 мкм среднего инфракрасного.Дизайн резки C-плоскости передает вдоль оптической оси, эффективно уменьшая влияние кристаллической двусмыслицы и обеспечивая оптическую точность изображения и обнаружения.Функциональные покрытия, такие как антиотражающие и высокоотражающие покрытия, доступны по запросу для дальнейшего повышения оптической эффективности.

3Ультравысокая температура и термоупорная стойкость

    Материал имеет температуру плавления до 2050 °C и продолжительную непрерывную рабочую температуру до 1600 °C в окислительной атмосфере.7×10−6/°C (в зависимости от кристаллической ориентации), гораздо ниже обычного стекла, он может выдерживать сильный тепловой удар без трещин.что делает его подходящим для экстремальных термических сценариев, таких как трубные печи, реакторы высокой температуры и плазменные камеры.

4Ультравысокая механическая прочность и износостойкость
Он имеет твердость Моха 9 (вторая только после алмаза), прочность на изгиб примерно 400 МПа и прочность на сжатие примерно 2000 МПа.Поверхность окна износостойкая и не подвержена царапинам, и выдерживает эрозию высокого давления воздушного потока, трение частиц и механическое воздействие.и его срок службы в 3-5 раз превышает срок службы расплавленных стеклянных окон., что значительно снижает затраты на эксплуатацию и обслуживание оборудования.

5Сильная химическая инертность и плазменная устойчивость
Он практически нерастворим во всех сильных кислотах, щелочах и органических растворителях при комнатной температуре и медленно подвергается коррозии гидрофторной кислотой и горячей фосфорной кислотой.Он также имеет отличную устойчивость к бомбардировке плазмой, без осадков частиц и старения материала во время процессов офорта и осаждения полупроводников.эффективное обеспечение чистоты камеры и урожайности продукции.

6Отличная электрическая изоляция и диэлектрические свойства.
  Внутренний высокочистый сапфир имеет сопротивляемость при комнатной температуре выше 1014 Ω·cm, с отличной электрической изоляцией, стабильной диэлектрической постоянной и сверхнизкой диэлектрической потерью.Он обеспечивает надежную электрическую изоляцию в условиях высокого напряжения и высокой частоты без утечки, искровые и сигнальные помехи, подходящие для специальных сценариев, таких как радиочастотная плазма, высоковольтное питание и микроволновые устройства.

7.Полная настройка параметров и высокоточная обработка
   Поддерживается полномерная настройка формы, размера, толщины, кристаллической ориентации и точности поверхности.можно обрабатывать шаговые и специальные формыВторичная обработка, такая как точное разделение, резка, бурение,Слоттинг и металлизация уплотнения могут быть завершены, чтобы точно соответствовать установке интерфейсов и процесса требований различного оборудования.

8Контроль чистоты полупроводников
    Продукты полупроводникового класса используют несколько ультрачистых процессов очистки и проверяются и вакуумно упаковываются в чистых помещениях класса 100/класса 1000.Поверхностные частицы и остатки ионов металлов строго контролируются.Они могут быть непосредственно использованы в высокочистых процессах, таких как производство пластин и плазменное офортание, с предоставлением полного сертификата анализа (COA).

Стандартные спецификации

Типичные применения

1. Производство полупроводников: камерные витрины, вакуумные окна и плазменные защитные окна для гравировщиков, оборудование для осаждения ПВД/СВД, устойчивое к коррозии плазмы и обеспечивающее чистоту процесса
2. Высокотемпературная промышленность: Обзорные окна трубных печей, высокотемпературных печей для спекания и реакторов высокого давления,выдерживающий высокую температуру 1600°C и тепловой удар для длительной работы
3. Оптическое лазерное поле: защитные окна высокомощного лазерного выхода, окна обнаружения спектрометра, окна УФ/ИФ оптических приборов, защитные линзы датчиков
4. Химические и научные исследования: светопередающие витрины для реакционных камер с высоким уровнем коррозии, окна для наблюдения за жидкостями под высоким давлением, окна реакторов с высокой температурой в лабораториях
5. Аэрокосмическая промышленность и специальные отрасли: окна для обнаружения инфракрасного излучения, оптические защитные компоненты, устойчивые к радиации, глубоководные смотровые точки для обнаружения давления

Контроль качества
Установлена система контроля качества, охватывающая весь процесс от отбора слитков до поставки готовой продукции, и каждое окно подвергается строгой многомерной проверке.К основным пунктам инспекции относятся:: XRD-проверка отклонения кристаллической ориентации, проверка единообразия размеров и толщины вафры, испытания плоскости и параллелизма, поверхностная шероховатость и скрининг дефектов,полный осмотр визуальных дефектовДля всех классов продукции может быть предоставлен полный сертификат анализа (COA).Полупроводниковые изделия строго следуют требованиям чистого упаковки, обеспечивая точные параметры продукта и стабильную производительность для удовлетворения строгих требований высокотехнологичных сценариев промышленного и научного исследования.

Сопутствующие продукты

定制石英光学窗 融 板 JGS1 / JGS2 级别

AL2O3蓝宝石管抛光定制尺寸, высокая твердость прозрачность