Это оборудование позволяет точное утолщение 4"-12" хрупких полупроводниковых материалов, включая кремний (Si), карбид кремния (SiC), галлиевый арсенид (GaAs) и сапфировые субстраты,достижение точности контроля толщины ±1 мкм и общей колебания толщины (TTV) ≤2 мкм для удовлетворения строгих требований передовой упаковки и производства силовых устройств.
Сводка: Откройте для себя систему прецизионного утонения пластин Wafer Thinning System, совместимую с SiC, Si, GaAs и сапфировыми пластинами размером 4-12 дюймов. Достигайте контроля толщины ±1 мкм и TTV ≤2 мкм для передовой упаковки и производства силовых приборов. Оптимизировано для широкозонных полупроводников, таких как SiC.
Сопутствующие характеристики продукции:
Precision thinning for 4-12inch brittle semiconductor materials including Si, SiC, GaAs, and sapphire.
Обеспечивает точность контроля толщины ±1 мкм и TTV ≤2 мкм.
Оптимизированные параметры шлифования и процессы полировки для различных свойств материалов.
Интегрированный автоматизированный мониторинг толщины в реальном времени для стабильной производительности.
Настраиваемые решения вакуумных захватов для изделий неправильной формы.
Высокоточная внутрипоточная шлифовка шпинделя с превосходной точностью обработки.
Удобная для пользователя работа с эргономичным интерфейсом управления и точным управлением оси Z.
Поддерживает полный автоматический и полуавтоматический режим работы с измерением толщины в режиме реального времени.
Вопросы:
Поддерживает ли оборудование для утоньшения пластин кастомизацию?
Да, мы предлагаем полностью индивидуальные решения, включая специализированные патроны для неровных пластин и разработку индивидуальных технологических рецептов.
Какую точность контроля толщины могут достичь машины для разжижения вафли?
Модели премиум-класса достигают однородности толщины ± 0,5 мкм при TTV≤1 мкм (система мониторинга толщины лазерной интерферометрии).
What materials are compatible with the Wafer Thinning System?
The system is compatible with 4-12inch brittle semiconductor materials including silicon (Si), silicon carbide (SiC), gallium arsenide (GaAs), and sapphire substrates.